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可調(diào)諧紅外雙波段光電探測(cè)器助力多光譜探測(cè)發(fā)展

MEMS ? 來(lái)源:紅外芯聞 ? 2023-06-19 09:47 ? 次閱讀
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紅外雙波段光電探測(cè)器是重要的多光譜探測(cè)器件,特別是近紅外/短波紅外區(qū)域,相較于可見(jiàn)光有更強(qiáng)的穿透能力,相較于中波紅外可以以較低的損耗識(shí)別冷背景的物體,因此廣泛應(yīng)用于民用和軍事領(lǐng)域。當(dāng)前紅外雙波段探測(cè)器主要面臨光譜不可調(diào)諧,器件結(jié)構(gòu)復(fù)雜而不易與讀出集成電路相結(jié)合的挑戰(zhàn)。

據(jù)麥姆斯咨詢(xún)報(bào)道,近日,合肥工業(yè)大學(xué)先進(jìn)半導(dǎo)體器件與光電集成團(tuán)隊(duì)在光電子器件領(lǐng)域取得重要進(jìn)展,研究團(tuán)隊(duì)研發(fā)了一種光譜可調(diào)諧的近紅外/短波紅外雙波段探測(cè)器,相關(guān)研究成果以“Bias-Selectable Si Nanowires/PbS Nanocrystalline Film n–n Heterojunction for NIR/SWIR Dual-Band Photodetection”為題,發(fā)表于《先進(jìn)功能材料》(Advanced Functional Materials, 2023: 2214996.)。第一作者為許晨鎬,通訊作者為羅林保教授,主要從事新型高性能半導(dǎo)體光電子器件及相關(guān)光電集成技術(shù)方面的研究工作。

該研究使用溶液法制備了硅納米線(xiàn)/硫化鉛異質(zhì)結(jié)光電探測(cè)器(如圖1(a)),工藝簡(jiǎn)單,成功將硅基探測(cè)器的光譜響應(yīng)拓寬到2000 nm。基于有限元分析法的COMSOL軟件分析表明,一方面,有序的硅納米線(xiàn)陣列具有較大的器件面積,提升了載流子的輸運(yùn)能力,且納米線(xiàn)陣列具有較好的周期性,入射光可以在納米線(xiàn)結(jié)構(gòu)之間連續(xù)反射,產(chǎn)生典型的陷光效應(yīng)。另一方面,小尺寸的納米線(xiàn)陣列可以看作是微型諧振器,可以形成HE??諧振模式,增強(qiáng)特定入射光的光吸收。

通過(guò)調(diào)制外加偏壓的極性,器件可以實(shí)現(xiàn)近紅外/短波紅外雙波段探測(cè)、近紅外單波段探測(cè)、短波紅外單波段探測(cè)三種探測(cè)模式的切換。器件還具有較高的靈敏度,在2000 nm光照下的探測(cè)率高達(dá)2.4 × 101? Jones,高于多數(shù)短波紅外探測(cè)器。

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圖1 雙波段紅外探測(cè)器結(jié)構(gòu)圖及相關(guān)仿真和實(shí)驗(yàn)結(jié)果

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圖2 偏壓可調(diào)的近紅外/短波紅外雙波段探測(cè)及探測(cè)率隨光強(qiáng)的變化曲線(xiàn)

此外,該研究還搭建了單像素光電成像系統(tǒng)(如圖3(a)),在2000 nm光照下,當(dāng)施加-0.15 V和0.15 V偏壓時(shí),該器件能對(duì)一個(gè)簡(jiǎn)單的英文字母實(shí)現(xiàn)成像。但是不施加偏壓時(shí),缺無(wú)法清晰成像。這表明只需要對(duì)器件施加一個(gè)小的偏置電壓時(shí),就可以將成像系統(tǒng)的工作區(qū)域從近紅外調(diào)整到短波紅外,具有較高的靈活性。

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圖3 光電成像系統(tǒng)及成像結(jié)果





審核編輯:劉清

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原文標(biāo)題:可調(diào)諧紅外雙波段光電探測(cè)器,助力多光譜探測(cè)發(fā)展

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