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6.3.3 熱氧化氧化硅的結(jié)構(gòu)和物理特性∈《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應(yīng)用》

深圳市致知行科技有限公司 ? 2022-01-04 14:10 ? 次閱讀
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6.3.3 熱氧化氧化硅的結(jié)構(gòu)和物理特性

6.3 氧化及氧化硅/SiC 界面特性

第6章碳化硅器件工藝

《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應(yīng)用》

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