半導(dǎo)體晶圓切割機(jī)主軸采用空氣靜壓支承的電主軸?，F(xiàn)在所使用的主軸有兩類(lèi)：分別是交流主軸，及直流主軸。

兩類(lèi)主軸從結(jié)構(gòu)上有以下區(qū)別：直流主軸電動(dòng)機(jī)的結(jié)構(gòu)和普通直流電動(dòng)機(jī)的結(jié)構(gòu)基本相同。

其主要區(qū)別是：在主磁極上除了繞有主磁極繞組外，還繞有補(bǔ)償繞組，以便抵消轉(zhuǎn)子反應(yīng)磁動(dòng)勢(shì)對(duì)氣隙主磁通的影響，改善電動(dòng)機(jī)的調(diào)速性能;直流主軸電動(dòng)機(jī)都采用軸向強(qiáng)迫通風(fēng)冷卻或熱管冷卻，以改善冷卻效果。直流主軸電動(dòng)機(jī)在基本速度以下為恒轉(zhuǎn)矩范圍，在基本速度以上為恒功率范圍，直流主軸主要采用晶體管脈寬調(diào)制調(diào)速系統(tǒng)調(diào)速，一般會(huì)裝有用于反饋的檢測(cè)元件。

而交流主軸電動(dòng)機(jī)是經(jīng)過(guò)專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)的鼠籠三相異步電動(dòng)機(jī)。與直流主軸電動(dòng)機(jī)相類(lèi)似，在基本速度以下為恒轉(zhuǎn)矩區(qū)，在基本速度以上為恒功率區(qū)。當(dāng)速度超過(guò)一定值后，功率-速度特性曲線(xiàn)會(huì)向下傾斜。交流主軸電動(dòng)機(jī)廣泛采用矢量控制調(diào)速方法進(jìn)行速度控制。由于結(jié)構(gòu)上的差別造成直流主軸的轉(zhuǎn)速控制精度較高（通過(guò)反饋補(bǔ)償轉(zhuǎn)速），主軸工作時(shí)震動(dòng)量較小，劃切效果較好，但其扭矩相對(duì)同功率交流主軸偏小，對(duì)較厚、硬的玻璃、陶瓷和鍵和材料劃切，切削力不足。

其切割領(lǐng)域主要針對(duì)硅晶圓，砷化鎵，氧化物晶圓等。交流主軸扭矩較大，震動(dòng)偏大，主要針對(duì)LED基板、生陶瓷、新型電子封裝等較硬，精度要求不高的產(chǎn)品加工。