5.3.1.2 雜質(zhì)∈《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》
5.3.1.2 雜質(zhì)
5.3.1 SiC中的主要深能級缺陷
5.3 SiC中的點缺陷
第５章碳化硅的缺陷及表征技術(shù)
《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》
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