大家好，我是【廣州工控傳感★科技】4515DO-DS3BK004DP壓差傳感器事業(yè)部，張工。

4515DO-DS3BK004DP測(cè)量超低空氣或氣體壓力從25 Pa（水中0.1）到滿(mǎn)量程。這些傳感器基于一種創(chuàng)新MEMS技術(shù)，該技術(shù)將微流通道集成在硅傳感器芯片中。

同時(shí)，傳感器使用經(jīng)驗(yàn)證的原理，通過(guò)熱質(zhì)量流量測(cè)量推斷壓差（圖1）。加熱元件位于兩個(gè)溫度敏感電阻器之間。氣流將熱量從上游傳輸?shù)较掠?a target="_blank">電阻器，導(dǎo)致它們之間的溫差，從而產(chǎn)生與質(zhì)量流量成比例的電壓信號(hào)。由于流量是由兩個(gè)傳感器端口之間的壓差引起的，因此輸出信號(hào)也是所施加壓差的測(cè)量值。

圖2顯示了作為壓差函數(shù)的基本4515DO-DS3BK004DP傳感元件的未放大輸出。具有高動(dòng)態(tài)范圍和對(duì)低壓（尤其是零下）的高靈敏度。傳感器為校準(zhǔn)、溫度補(bǔ)償和放大提供數(shù)字信號(hào)調(diào)節(jié)。根據(jù)是否需要高靈敏度、高動(dòng)態(tài)范圍或線性輸出信號(hào)，壓力傳感器可以根據(jù)不同的應(yīng)用要求進(jìn)行優(yōu)化。

2、傳感器結(jié)構(gòu)

4515DO傳感器基于硅傳感器芯片，尺寸僅為4 mm（0.006 in），其中包含微流道和傳感元件。通過(guò)將微型流道集成到傳感器芯片級(jí)（圖3），4515DO壓力傳感器可以實(shí)現(xiàn)高達(dá)200000 Pa/(ml/s)的極高氣動(dòng)阻抗，比同類(lèi)傳感器高1000倍。這將通過(guò)傳感器的氣體流量降至絕對(duì)最小，并在多塵和潮濕環(huán)境中以及使用長(zhǎng)連接管或過(guò)濾器時(shí)提供獨(dú)特的應(yīng)用優(yōu)勢(shì)。在傳統(tǒng)的基于流量的差壓傳感器中，通過(guò)傳感器的流道和氣流由塑料外殼的幾何形狀決定。相比之下，4515DO-DS3BK004DP器件的微流道是在硅芯片級(jí)定義的。

3、使用差壓傳感器進(jìn)行流量測(cè)量

差壓傳感器的極低壓力范圍僅為幾毫巴（幾英寸水柱），通常用于管道中的體積流量測(cè)量。例如，醫(yī)療設(shè)備中的呼吸流量測(cè)量以及HVAC應(yīng)用中的空氣流量測(cè)量或過(guò)濾器控制。人工流量限制，例如通過(guò)擋板、孔板或?qū)恿髟?，?huì)導(dǎo)致流量壓降，該壓降是體積流量（V）的測(cè)量值，可通過(guò)差壓傳感器檢測(cè)

來(lái)自MEAS精量的基于流量的4515DO傳感器被校準(zhǔn)為壓差，可以檢測(cè)旁通配置中流過(guò)流量元件的壓降。由于其非常高的氣動(dòng)阻抗，通過(guò)傳感器的流量限制在最大120-180μl/min。這意味著傳感器的行為幾乎類(lèi)似于基于膜的差壓傳感器，不允許任何流量通過(guò)。然而，它仍然顯示出對(duì)低壓的高測(cè)量靈敏度，這是熱質(zhì)量流量傳感原理的典型特征。