晶圓鍵合機(jī)主要用于將晶圓通過(guò)真空環(huán)境, 加熱, 加壓等指定的工藝過(guò)程鍵合在一起, 滿足微電子材料, 光電材料及其納米等級(jí)微機(jī)電元件的制作和封裝需求. 晶圓鍵合機(jī)需要清潔干燥的高真空工藝環(huán)境, 真空度一般要求 5E-4 mbar 至 5E-8 mbar, 因?yàn)槿绻麉㈦s了其他氣體雜雜質(zhì), 會(huì)影響到器件的性能. 無(wú)油干式真空泵搭配分子泵是晶圓鍵合機(jī)真空系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)配置.

上海伯東推薦適用于晶圓鍵合機(jī)真空系統(tǒng)的無(wú)油渦旋干泵, 抽速 6-20 m3/h, 低振動(dòng), 低噪音, 低能耗, 方便系統(tǒng)集成.

	型號(hào)	HiScroll 6	HiScroll 12	HiScroll 18
	進(jìn)氣口	DN 25 ISO-KF	DN 25 ISO-KF	DN 25 ISO-KF
	抽速 m3/h	6.1	12.1	18.1
	極限真空度 hPa 氣鎮(zhèn)閥關(guān)閉	1.5 X 10-2	6 X 10-3	6 X 10-3
	功耗 W	170	210…280	210…280
	噪音 dB(A)	48	47	47
	轉(zhuǎn)速 RPM	42Hz / 2,500 min-1	26Hz / 1,560 min-1	26Hz / 1,560 min-1
	Gasballast-flow (stage1/2)	8,000 sccm 11,000 sccm	12,000 sccm 20,000 sccm	12,000 sccm 20,000 sccm
	尺寸 mm	380 x 227 x 257	419 x 265 x 304	419 x 265 x 304
	重量 kg	19	24	23

適用于晶圓鍵合機(jī)真空系統(tǒng)的渦輪分子泵, 抽速 10-1900 l/s, 高氣流量, 高抽速, 占用空間小, 方便系統(tǒng)集成.

	型號(hào)	HiPace 80	HiPace 300	HiPace 700
	進(jìn)氣口	DN 63 ISO-K DN 63 CF-F DN 40 ISO-K	DN 100 ISO-K DN 100 CF-F DN 100 ISO-F	DN 160 ISO-K DN 160 CF-F DN 160 ISO-F
	氮?dú)獬樗?l/s	67	260	685
	最大極限真空度 hPa	＜5X10-10	＜5X10-10	＜5X10-10
	電壓 ± 5 %, VDC	24	24	48
	噪音 dB(A)	≤48	≤50	≤50
	轉(zhuǎn)速 RPM ± 2 %	90000	60000	49200
	最大預(yù)抽真空 hPa	22	15-22	11
	重量 kg	2.4-3.8	5.8-8.7	10.6-16.5

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