被美國要求限制對華出售半導體設備后，ASML進退兩難。

此前據(jù)DigiTimes報道，ASML正在考慮發(fā)布其深紫外光刻（DUV）設備的特殊版本，該設備將符合最新的美國出口規(guī)則，并且可以在沒有許可證的情況下出售給中國大陸客戶。該設備將使中芯國際和華虹等公司能夠在28nm節(jié)點上制造芯片，但不允許他們使用更先進的制程節(jié)點。

7 月 6 日午后，ASML 辟謠稱：一直以來 ASML 都遵守所適用的法律條例，公司并沒有面向中國市場推出特別版的***。

有問題的光刻設備是Twinscan NXT：1980Di，目前這是臺積電仍在使用的最先進的浸入式掃描儀。該機器具有1.35數(shù)值孔徑光學組件，能夠?qū)崿F(xiàn)<38 nm的分辨率，這對于7nm甚至更高級的節(jié)點來說已經(jīng)足夠了。事實上，這款掃描儀最初于2016年發(fā)布，臺積電曾使用它來開發(fā)其7nm制程工藝技術(shù)。

從理論上講，削減該設備并提高其最低支持分辨率以防止中芯國際和其它中國大陸芯片制造商創(chuàng)造28nm以下的工藝技術(shù)是可能的。中芯國際的大部分收入來自超過28nm的制程節(jié)點，中國大陸公司可能仍然有興趣采購此類工具。

最新的出口法規(guī)要求美國公司和個人獲得出口設備和技術(shù)的許可證，這些設備和技術(shù)能夠制造14nm/ 16nm節(jié)點上的非平面晶體管邏輯芯片，3層或更多層的128DNAND閃存，以及18nm半間距或更小的DRAM存儲芯片。同樣的規(guī)則也適用于從美國出口組件的非美國公司，ASML及其Twinscan NXT：1980Di就是這種情況。

荷蘭最新的出口規(guī)則要求ASML獲得出口許可證才能向中國大陸公司出售其Twinscan NXT：2000i掃描儀。ASML尚未正式創(chuàng)建限量版Twinscan NXT，但如果出口法規(guī)繼續(xù)限制向中國大陸銷售先進技術(shù)，此舉似乎很有可能。

受限制的DUV有哪些？

6月30日，荷蘭政府頒布關于半導體設備出口管制的最新條例，部分媒體將此理解為針對中國的***管制再次升級至所有DUV，實際上這些新的出口管制條例針對對象為先進的45nm及以下芯片制造技術(shù)，包括最先進的ALD原子沉積設備、外延生長設備、等離子體沉積設備和浸潤式光刻系統(tǒng)，以及用于使用和開發(fā)這類先進設備的技術(shù)、軟件。

ASML表示，荷蘭政府新頒布的出口管制條例只涉及部分最新DUV型號，包括 TWINSCAN NXT:2000i 及后續(xù)推出的浸潤式光刻系統(tǒng)。EUV***在此前已經(jīng)受到限制，其它系統(tǒng)的發(fā)運未受荷蘭政府管控。根據(jù)ASML官網(wǎng)信息，DUV浸潤式光刻系統(tǒng)，包含：TWINSCAN NXT:2050i、NXT:2050i、NXT:1980Di 三種***，這些能夠進行38nm~45nm制程的晶圓加工。

此外，能夠進行45nm以上晶圓加工，如65nm~220nm制程的干式DUV***如：TWINSCAN XT:400L、XT:1460K、NXT:870等，均不在荷蘭制裁清單內(nèi)。

荷蘭外貿(mào)和發(fā)展合作部部長頒布的MinBuza.2023.15246-27 號條例規(guī)定，對此前第2021/821 號條例附件一中未提及的半導體先進生產(chǎn)設備的出口實行許可要求（有關先進半導體制造設備）

第二條：本條例規(guī)定，未經(jīng)部長許可，禁止從荷蘭出口先進的半導體生產(chǎn)設備。

第三條：

1、第二條所述的許可申請，應由出口商提出并向檢察官提交。

2、在任何情況下，申請均應包含：

a出口商名稱和地址

b先進半導體制造設備的收貨人和最終用戶名稱和地址

c先進半導體制造設備的接受者和最終用戶名稱和地址

3、在任何情況下，檢察官都有權(quán)要求出口商提供有關出口的合同，和有關最終使用用途的聲明。

第四條：

第二條所述的許可證，可以附加條件和規(guī)定

第二條所述許可的授予，可以存在限定條件。

第五條：

第二條中提到的許可證，可以在以下情況下被撤銷：

a許可證是根據(jù)不正確或不完整信息頒發(fā)的；

b未遵循許可證的規(guī)定、條件和限制；

c出于國家外交和安全政策的考慮。

中國回應

6月30日，對于ASML出臺的對華半導體設備銷售新規(guī)，中國外交部發(fā)言人毛寧在例行記者會上表示，中方堅決反對美方泛化國家安全概念，濫用出口管制，以各種借口拉攏脅迫其他國家對華搞科技封鎖，以行政手段干預企業(yè)之間的正常經(jīng)貿(mào)往來，嚴重破壞市場規(guī)則和國際經(jīng)貿(mào)秩序，沖擊全球產(chǎn)供鏈的穩(wěn)定，不符合任何一方的利益。中方將密切關注有關動向，堅決維護自身的合法權(quán)益。

不止于此，今年1月31日，針對ASML停止向中國大陸企業(yè)銷售EUV***一事，毛寧就表示，1月30日，秦剛外長同荷蘭副首相兼外交大臣胡克斯特拉通電話，就雙邊關系等問題深入交換了意見。秦剛外長指出，開放務實是中荷關系的最大特色，雙方要共同維護國際產(chǎn)業(yè)鏈供應鏈穩(wěn)定，維護開放而非分裂、有序而非混亂的國際貿(mào)易環(huán)境。

胡克斯特拉副首相兼外交大臣表示，荷方愿推動兩國開放務實的全面合作伙伴關系不斷發(fā)展，將繼續(xù)以負責任的方式處理對華經(jīng)貿(mào)事宜。

“我想再次強調(diào)的是，個別國家出于一己私利，不惜損友自肥，惡意封鎖和打壓中國企業(yè)，人為推動產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移脫鉤，有關霸凌霸道行徑嚴重破壞市場規(guī)則和國際經(jīng)貿(mào)秩序，不僅損害中國企業(yè)的合法權(quán)益，也沖擊全球產(chǎn)供應鏈的穩(wěn)定?！泵珜幷f，我們希望各方秉持客觀公正立場，從自身長遠利益和公平公正市場原則出發(fā)，獨立自主地作出決定。





審核編輯：劉清