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我國成功研制新型光學(xué)晶體滿足半導(dǎo)體晶圓檢測等需求

旺材芯片 ? 來源:旺材芯片 ? 2023-08-09 17:31 ? 次閱讀
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激光是二十世紀(jì)人類最重大的發(fā)明之一。

最近,中國科學(xué)院科研團(tuán)隊成功研制出一種新型非線性光學(xué)晶體全波段相位匹配晶體,實現(xiàn)了整個透光范圍內(nèi)的激光輸出,它可以滿足我國半導(dǎo)體晶圓檢測等領(lǐng)域的重大需求。

非線性光學(xué)晶體是獲得不同波長激光的物質(zhì)條件和源頭。

在晶體中實現(xiàn)應(yīng)用波段相位匹配被普遍認(rèn)為是重要的技術(shù)挑戰(zhàn)之一,決定最終激光輸出的功率和效率。

其中,利用晶體各向異性的雙折射相位匹配技術(shù)是應(yīng)用最廣泛的彌補(bǔ)相位失配的有效途徑。

中科院新疆理化所晶體材料研究中心潘世烈科研團(tuán)隊,在提出非線性光學(xué)晶理想狀態(tài)假設(shè)的理論基礎(chǔ)上,經(jīng)過不斷實踐,成功創(chuàng)制出新非線性光學(xué)晶體,即全波段相位匹配晶體。

該研究揭示了全波段相位匹配晶體的物理機(jī)制,并指導(dǎo)獲得一例非線性光學(xué)晶體(GFB)。

它首次通過全波段雙折射相位匹配技術(shù),對晶體材料透過范圍內(nèi)任意波長的相位匹配,實現(xiàn)了深紫外激光輸出,可以滿足半導(dǎo)體晶圓檢測等領(lǐng)域的重大需求。

中科院科研團(tuán)隊介紹,該類晶體可采用水溶液法生長出高質(zhì)量、超大尺寸晶體,使其有望成為應(yīng)用于我國大科學(xué)裝置的新晶體材料。

此項成果已于近日在國際學(xué)術(shù)期刊《自然·光子學(xué)》在線發(fā)表。






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原文標(biāo)題:我國成功研制新型光學(xué)晶體,可滿足半導(dǎo)體晶圓檢測等領(lǐng)域重大需求

文章出處:【微信號:wc_ysj,微信公眾號:旺材芯片】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請注明出處。

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