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上海伯東半導(dǎo)體器件檢漏

伯東企業(yè)(上海)有限公司 ? 2022-08-09 16:02 ? 次閱讀
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半導(dǎo)體器件 semiconductor device 通常利用不同的半導(dǎo)體材料, 采用不同的工藝和幾何結(jié)構(gòu), 已研制出種類繁多, 功能用途各異的多種晶體二極管, 晶體二極管的頻率覆蓋范圍可從低頻, 高頻, 微波, 毫米波, 紅外直至光波. 三端器件一般是有源器件, 典型代表是各種晶體管 ( 又稱晶體三極管 ). 晶體管又可以分為雙極型晶體管和場效應(yīng)晶體管兩類.

半導(dǎo)體特殊器件檢漏原因
半導(dǎo)體器件是導(dǎo)電性介于良導(dǎo)電體與絕緣體之間, 利用半導(dǎo)體材料特殊電特性來完成特定功能的電子器件, 可用來產(chǎn)生, 控制, 接收, 變換, 放大信號和進(jìn)行能量轉(zhuǎn)換, 對密封性的要求極高, 如果存在泄漏會影響其使用性能和精度, 通信行業(yè)的漏率標(biāo)準(zhǔn)是小于 5×10-8mbar.l/s, 因此需要進(jìn)行檢漏.

半導(dǎo)體器件



半導(dǎo)體特殊器件檢漏客戶案例:知名半導(dǎo)體公司, 通過上海伯東推薦采購氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340

半導(dǎo)體特殊器件檢漏方法
由于器件體積小, 且無法抽真空或直接充入氦氣, 而氦檢漏又離不開氦氣作為示蹤氣體, 所以上海伯東推薦采用”背壓法”檢漏, 具體做法如下:
1. 將被檢器件放入真空保壓罐, 壓力和時間根據(jù)漏率大小設(shè)定
2. 取出器件, 使用空氣或氮?dú)獯祾弑砻婧?br />3. 將器件放入真空測試罐, 測試罐連接氦質(zhì)譜檢漏儀
4. 啟動氦質(zhì)譜檢漏儀, 開始檢測

背壓法圖示


”背壓法”圖示
氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 優(yōu)點(diǎn)
1. 前級泵配備旋片泵(油泵)Adixen Pascal 1015I 抽速高達(dá)15 m3/h
2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 對氦氣抽速 2.5 l/s
3. 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 對氦氣的最小檢測漏率:
真空模式: 5E-13 Pa m3/s
吸槍模式: 5E-10 Pa m3/s 目前業(yè)界公認(rèn)最小漏律
4. 移動式操作面板(有線, 無線)
5. 集成 SD卡, 方便資料處理
6. 抗破大氣, 抗震動, 降低由操作失誤帶來的風(fēng)險性
7. 豐富的可選配件, 如吸槍, 遙控器, 小推車, 旁路裝置, 標(biāo)準(zhǔn)漏孔等
8. 檢測時間短

氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340



氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 技術(shù)參數(shù):

型號

ASM 340 WASM 340 DASM 340 I
對氦氣的最小檢測漏率5E-13 Pa m3/s5E-13 Pa m3/s5E-13 Pa m3/s
檢測模式真空模式和吸槍模式真空模式和吸槍模式真空模式和吸槍模式
檢測氣體4He, 3He, H24He, 3He, H24He, 3He, H2
啟動時間 min333
對氦氣的抽氣速度 l/s2.52.52.5
進(jìn)氣口最大壓力 hPa25255
前級泵抽速 m3/h油泵 15隔膜泵 3.4不含前級泵
重量 kg564532


若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)信息或討論, 請聯(lián)絡(luò)上海伯東葉女士

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