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氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340W 真空鍍膜配氣面板檢漏

伯東企業(yè)(上海)有限公司 ? 2023-06-02 15:13 ? 次閱讀
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上海伯東某客戶生產(chǎn)超高純度特種氣體不銹鋼減壓閥門, 接頭, 管件, 這些配件主要用于集成在真空鍍膜配氣面板, 實(shí)現(xiàn)工藝氣體的傳輸. 為了防止氣體外泄, 除了閥門, 接頭, 管件需要單獨(dú)檢漏外, 整個(gè)配氣面板也需要測(cè)試整體漏率, 使用上海伯東德國 Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340, 真空模式下, 漏率設(shè)置為 5.5x10-10 Pa m3/s. 組裝后的真空鍍膜配氣面板廣泛應(yīng)用于 CVD 設(shè)備.

真空鍍膜配氣面板檢漏
1. 不銹鋼減壓閥門, 接頭, 管件等單獨(dú)進(jìn)行檢漏, 真空模式下, 漏率 5.5x10-10 Pa m3/s

氦質(zhì)譜檢漏儀真空鍍膜配氣面板檢漏上海伯東氦質(zhì)譜檢漏儀


2. 組裝后的真空鍍膜配氣面板, 整體再次進(jìn)行檢漏, 真空模式下, 漏率 5.5x10-10 Pa m3/s

氦質(zhì)譜檢漏儀真空鍍膜配氣面板檢漏上海伯東氦質(zhì)譜檢漏儀


上海伯東銷售維修氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 與傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏對(duì)比, 在提供無損檢漏的同時(shí)可以檢測(cè)出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體可定位, 定量漏點(diǎn).

氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340

型號(hào)

ASM 340 W

對(duì)氦氣的最小檢測(cè)漏率

5E-13 Pa m3/s

檢測(cè)模式

真空模式和吸槍模式

檢測(cè)氣體

4He, 3He, H2

啟動(dòng)時(shí)間 min

3

對(duì)氦氣的抽氣速度 l/s

2.5

進(jìn)氣口最大壓力 hPa

25

前級(jí)泵抽速 m3/h

油泵 15

重量 kg

56


結(jié)合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家檢漏儀的技術(shù)優(yōu)勢(shì), 上海伯東德國 Pfeiffer 推出全系列新型號(hào)氦質(zhì)譜檢漏儀, 從便攜式檢漏儀到工作臺(tái)式檢漏儀滿足各種不同的應(yīng)用.氦質(zhì)譜檢漏儀替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏, 利用氦氣作為示蹤氣體可定位, 定量漏點(diǎn).氦質(zhì)譜檢漏儀滿足單機(jī)檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC.推薦氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用 >>

鑒于客戶信息保密, 若您需要進(jìn)一步的了解氦質(zhì)譜檢漏儀, 請(qǐng)聯(lián)絡(luò)上海伯東葉女士


現(xiàn)部分品牌誠招合作代理商, 有意向者歡迎聯(lián)絡(luò)上海伯東 葉女士
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