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長鑫存儲“半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)效率的評估方法及裝置”專利獲授權(quán)

微云疏影 ? 來源:綜合整理 ? 作者:綜合整理 ? 2023-09-12 09:39 ? 次閱讀
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長鑫存儲技術(shù)有限公司申請了“半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)效率的評估方法及裝置”的專利。申請公告日為9月8日,申請公告號為cn113673812b。

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根據(jù)專利摘要,本申請?zhí)峁┤缦略u價(jià)半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)效率的方法及裝置:評價(jià)半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)效率的方法是:提供1個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備,半導(dǎo)體設(shè)備至少包括1個(gè)制造單元。半導(dǎo)體設(shè)備獲得按順序生產(chǎn)多個(gè)晶圓的生產(chǎn)參數(shù),并根據(jù)生產(chǎn)參數(shù)決定連續(xù)批次生產(chǎn)結(jié)束時(shí)間之間的時(shí)間間隔。每片配置的每片晶圓獲得進(jìn)入每片生產(chǎn)單位的時(shí)間,每片配置的所有晶片決定每片生產(chǎn)單位的時(shí)間。為了測定半導(dǎo)體設(shè)備的生產(chǎn)效率,測定存在時(shí)間和存在時(shí)間之間的比率。

即,迅速找出瓶頸單元,并將限制設(shè)備生產(chǎn)效率的單元和其他單元能夠提高的范圍一眼就能反映出來。

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