中國航天科技集團 :萬分級高精度MEMS諧振式壓力傳感器轉(zhuǎn)化應(yīng)用取得新進展
傳感器專家網(wǎng)獲悉，據(jù)中國航天科技集團官微，中國航天科技集團有限公司九院704所完成了萬分級高精度MEMS諧振式壓力傳感器研制。
中國航天科技集團有限公司九院704所完成了萬分級高精度MEMS諧振式壓力傳感器研制，為新一代裝備和先進工業(yè)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)自主可控和升級換代提供核心關(guān)鍵產(chǎn)品。萬分級高精度MEMS諧振式壓力傳感器主要技術(shù)指標比傳統(tǒng)應(yīng)變式、壓阻式、電容式等原理的壓力傳感器高1~2個數(shù)量級，且具有數(shù)字化輸出、抗干擾、長壽命和抗輻照等優(yōu)點，技術(shù)指標、穩(wěn)定性、可靠性和環(huán)境適應(yīng)性均達到國際先進水平。
目前，該產(chǎn)品已應(yīng)用于航天發(fā)動機壓力監(jiān)測、航空大氣數(shù)據(jù)系統(tǒng)等領(lǐng)域。后續(xù)，704所將基于核心MEMS敏感芯片和傳感器技術(shù)，進一步開發(fā)高端儀器和感知測量系統(tǒng)，形成“芯片+傳感器+儀器+系統(tǒng)”的信息感知模式，推進產(chǎn)品譜系化、規(guī)模化、產(chǎn)業(yè)化發(fā)展。
審核編輯 黃宇
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