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重慶大學微系統(tǒng)研究中心課件!《MEMS工藝集成》

傳感器專家網(wǎng) ? 來源:傳感器專家網(wǎng) ? 作者:傳感器專家網(wǎng) ? 2023-11-14 08:40 ? 次閱讀
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重慶大學微系統(tǒng)中心依托于重慶大學,主要合作單位有中國電子科技集團公司第二十四研究所等。中心主要從事MEMS設計、研發(fā)及加工關鍵技術研究、產(chǎn)業(yè)化轉(zhuǎn)化和人才培養(yǎng)。

MEMS傳感器主要優(yōu)點是體積小、重量輕、功耗低、可靠性高、靈敏度高、易于集成等,是微型傳感器的主力軍,正在逐漸取代傳統(tǒng)機械傳感器,在各個領域幾乎都有研究,不論是消費電子產(chǎn)品、汽車工業(yè)、甚至航空航天、機械、化工及醫(yī)藥等各領域。

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審核編輯 黃宇

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