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二維材料作為一種極具潛力的氣敏材料，在氣體傳感器領(lǐng)域受到廣泛關(guān)注并取得快速發(fā)展。目前研究較多的二維材料有石墨烯、二維過渡金屬硫化物（TMDs）、MXenes等。由于二維材料具有納米尺寸的層狀結(jié)構(gòu)、優(yōu)異的半導(dǎo)體性能、大比表面積，因此，在氣體傳感器領(lǐng)域具有其它材料不可比擬的優(yōu)勢。

據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，針對二維氣敏材料及其復(fù)合材料在氣體傳感器領(lǐng)域的研究進(jìn)展，杭州電子科技大學(xué)和西安微電子技術(shù)研究所的研究人員進(jìn)行了綜述分析，系統(tǒng)闡述了石墨烯、TMDs、MXenes的傳感機(jī)理、最新研究進(jìn)展及其在氣體傳感器領(lǐng)域的研究現(xiàn)狀，并對其未來發(fā)展趨勢進(jìn)行了展望。相關(guān)研究內(nèi)容以“基于二維材料的氣體傳感器研究進(jìn)展”為題發(fā)表在《傳感器與微系統(tǒng)》期刊。

以石墨烯為代表的二維納米材料具有獨(dú)特的物理化學(xué)性質(zhì)，在氣體傳感領(lǐng)域具有光明的應(yīng)用前景。此外，與石墨烯具有類似層狀結(jié)構(gòu)的TMDs和MXenes等二維材料因具有比表面積和禁帶寬度大等特性，也被認(rèn)為是氣體傳感方向具有潛力的候選材料。

基于石墨烯的氣體傳感器

用于氣體傳感器的石墨烯可分為本征石墨烯、石墨烯衍生物和石墨烯復(fù)合材料等。本征石墨烯作為氣敏材料能夠?qū)崿F(xiàn)在室溫下高靈敏度檢測目標(biāo)氣體，但其需要較長的恢復(fù)時(shí)間并且導(dǎo)電率欠佳。目前，提升石墨烯傳感性能的措施包括對其表面功能化以及與其他材料復(fù)合?，F(xiàn)有研究已經(jīng)證明，石墨烯與金屬、金屬氧化物復(fù)合有利于提高材料的氣敏性能。Yi J等人通過在底部金屬電極上垂直生長ZnO納米棒，石墨烯在頂部作為導(dǎo)電電極得到高靈敏度傳感器，步驟如圖1所示。該傳感器對10 × 10??乙醇靈敏度高達(dá)9。

基于TMDs的氣體傳感器

繼石墨烯在氣體傳感領(lǐng)域應(yīng)用成功之后，二維TMDs因其半導(dǎo)體特性、高比表面積、高吸收系數(shù)等優(yōu)異的性能，受到研究者們的廣泛關(guān)注。目前文獻(xiàn)中以二硫化鉬（MoS?）、二硫化鎢（WS?）在氣體傳感領(lǐng)域的應(yīng)用研究居多。

二維TMDs在氣體傳感領(lǐng)域應(yīng)用前景廣闊，但其在形成導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)過程中容易形成堆積，阻礙了氣敏材料與待測氣體的接觸，使得氣體吸附活性位點(diǎn)減少，限制了傳感器氣敏性能的提升。為制備室溫下高靈敏度氣敏元件，目前常用的方法有與其他納米材料復(fù)合，如金屬納米粒子、金屬氧化物納米粒子等，可在一定程度上克服二維片層結(jié)構(gòu)團(tuán)聚的缺陷。

基于MXenes的氣體傳感器

2011年，Naguib M團(tuán)隊(duì)首次合成一種新型二維材料，稱為MXenes，該材料是一類具有二維層狀結(jié)構(gòu)的金屬碳化物和金屬氮化物材料。MXenes憑借其表面性質(zhì)可調(diào)、帶隙可調(diào)等優(yōu)異性能，在儲能、傳感、電催化等領(lǐng)域均有廣泛的應(yīng)用。目前，Ti?C?TX是氣體傳感領(lǐng)域應(yīng)用最為廣泛的MXenes材料，該系列其他材料性能研究還處于發(fā)展階段，例如，Ti?CO?是MXenes家族中最薄的薄膜之一，具有很大的應(yīng)用潛力。此外，已有研究證明，V?CTX傳感器在檢測非極性氣體方面的性能超過了基于其它二維材料的氣體傳感器。

當(dāng)下，二維材料在氣體傳感領(lǐng)域已取得很大進(jìn)展，但仍面臨一些挑戰(zhàn)。一方面，進(jìn)一步提高傳感器對目標(biāo)氣體的選擇性是科研人員需要解決的首要難題。通過將二維材料與其它材料復(fù)合的方法對其進(jìn)行改性或?qū)崿F(xiàn)協(xié)同作用，可以顯著改善傳感器選擇性。另一方面，氣體傳感器如何實(shí)現(xiàn)更低檢測下限也是目前需要面對的挑戰(zhàn)。通過使用紫外光對氣敏材料進(jìn)行清洗處理，可以使檢測下限達(dá)到1/1012級別。此外，現(xiàn)有的傳感器制備工藝尚不成熟，在一定程度上限制了其商業(yè)化應(yīng)用發(fā)展，因此，簡易、低耗和產(chǎn)業(yè)化的制備技術(shù)開發(fā)也是眼下需要直面的挑戰(zhàn)。隨著對二維材料的深入研究，未來將會制備出高選擇性、低檢測限的氣敏元件并在制備工藝上實(shí)現(xiàn)突破，推動氣體傳感器實(shí)現(xiàn)商業(yè)化、大規(guī)模、多領(lǐng)域應(yīng)用。

論文信息：

DOI: 10.13873/J.1000-9787(2023)06-0008-05

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審核編輯 黃宇