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晶盛機電:8英寸碳化硅襯底片處于下游企業(yè)驗證階段

微云疏影 ? 來源:綜合整理 ? 作者:綜合整理 ? 2023-11-23 11:00 ? 次閱讀
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11月22日,晶盛機電公司公布最新調查機要,2017年開始碳化硅晶體生長設備和技術的研發(fā),連續(xù)成功開發(fā)出6英寸、8英寸碳化硅晶體和襯底片。晶盛機電公司是中國為數不多的能供應8英寸襯底片的企業(yè)。在此之前,公司已建成6-8英寸碳化硅晶體生長、切片、拋光中試線,6英寸襯底片已通過許多下游企業(yè)的檢驗,實現大量銷售,8英寸襯底片正處于下游企業(yè)檢驗階段。

晶盛機電指出,最近在公司舉行的每年25萬6、5為8英寸碳化硅襯底片項目合同及啟動儀式為半導體材料方向,加快關鍵核心技術攻關,國產化替代這一措施標志著晶盛機電半導體材料的技術實力和市場競爭力得到了進一步提高。

半導體設備工作,晶盛機電公司基本上是8 - 12英寸大型設備的芯片實現了全體覆蓋及統(tǒng)一銷售,6英寸碳化硅外延設備的一次性銷售和快速實現訂單量增長了單曲,成功8英寸芯片碳化硅外延增長國際先進水平的研究開發(fā)了設備。實現了成熟穩(wěn)定的8英寸硅電石外延工程。此外,他還開發(fā)了用于8至12英寸晶圓及封裝端的減薄設備、外延設備、LPCVD 設備、ALD 設備。

到2023年第三季度末為止,晶盛機電的設備訂單余額為287億50萬元人民幣,其中半導體設備訂單余額為33億300萬元人民幣。

在光伏裝備領域,晶盛機電產品包括硅晶片、電池和配件,并為顧客提供太陽能綜合解決方案。在電池方面,開發(fā)了兼用多種電池技術的管型裝置(PECVD、LPCVD、硼擴散爐、退火爐等)。在零部件方面,公司開發(fā)了包括板機,板機,邊框自動供應機,粘合檢驗機等多個工序的零部件設備生產線。

針對公司第五代單晶爐超導磁場產品優(yōu)勢,晶盛機電公司表示,公司推出的第五代單晶路將大幅改善n型硅晶片質量,提高生產能力。公司將大力引進在半導體領域超導磁場中的應用技術在太陽能領域徹底進行熱低氧n型晶體生長工藝窗口5ppm以下的超低氧制造,徹底消除穩(wěn)定增長,提高同心圓;少子壽命;擴大有效的電阻率范圍,使n型電池效率達到極限,再根據理論進一步為顧客減少資本,分配能量,創(chuàng)造更高的價值。

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