本文通過對比國產(chǎn)與進口碳化硅襯底 TTV 厚度測量儀在性能、價格、維護成本等方面的差異，深入分析兩者的性價比，旨在為半導體制造企業(yè)及科研機構(gòu)選購測量設(shè)備提供科學依據(jù)，助力優(yōu)化資源配置。

引言

在第三代半導體產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展的背景下，碳化硅襯底的質(zhì)量把控至關(guān)重要，晶圓總厚度變化（TTV）作為衡量碳化硅襯底質(zhì)量的關(guān)鍵指標，其精確測量依賴專業(yè)的測量儀器。目前市場上，國產(chǎn)與進口碳化硅襯底 TTV 厚度測量儀并存，兩者在性能、價格、維護等方面存在諸多差異。開展性價比分析，有助于用戶結(jié)合自身需求與預算，合理選擇測量設(shè)備，提升資源利用效率。

性能參數(shù)對比

測量精度

進口測量儀憑借長期的技術(shù)積累，在測量精度上普遍具有優(yōu)勢。部分高端進口型號的測量精度可達納米級，能夠滿足超精密測量需求，尤其適用于對精度要求極高的科研實驗與高端器件制造 。相比之下，國產(chǎn)測量儀近年來雖在精度上取得顯著進步，但多數(shù)產(chǎn)品的測量精度處于微米級水平，在超精密測量場景中與進口產(chǎn)品仍存在一定差距。

測量速度

在測量速度方面，進口測量儀通常配備先進的自動化控制系統(tǒng)與高效的數(shù)據(jù)處理算法，能夠快速完成大面積碳化硅襯底的 TTV 測量，大幅提升檢測效率 。國產(chǎn)測量儀在自動化程度和數(shù)據(jù)處理能力上稍顯遜色，測量速度相對較慢，在大規(guī)模生產(chǎn)的快速抽檢環(huán)節(jié)中，可能難以滿足高效檢測的需求。

功能多樣性

進口測量儀功能豐富，除基本的 TTV 測量外，還集成了表面形貌分析、應力檢測等多種功能模塊，可為用戶提供全面的襯底質(zhì)量評估 。國產(chǎn)測量儀功能相對單一，以基礎(chǔ) TTV 測量為主，在功能拓展性上與進口產(chǎn)品存在差距，難以滿足用戶多樣化的檢測需求。

價格與成本對比

設(shè)備采購價格

國產(chǎn)碳化硅襯底 TTV 厚度測量儀在價格上具有明顯優(yōu)勢。由于研發(fā)成本、生產(chǎn)規(guī)模及市場定位等因素，國產(chǎn)設(shè)備的采購價格通常僅為進口設(shè)備的三分之一至二分之一 ，這對于預算有限的中小企業(yè)和科研機構(gòu)極具吸引力，能夠有效降低設(shè)備采購成本。

維護與運營成本

進口測量儀因零部件多依賴進口，且維修技術(shù)掌握在國外廠商手中，導致維護成本高昂，不僅零部件更換價格高，而且設(shè)備出現(xiàn)故障時，國外工程師的上門維修費用及時間成本也不容忽視 。國產(chǎn)測量儀在維護成本上優(yōu)勢顯著，零部件供應充足且價格較低，國內(nèi)技術(shù)團隊能夠快速響應維修需求，大幅降低設(shè)備停機時間和維護費用，有效控制運營成本。

性價比綜合分析

從性能角度，進口測量儀在精度、速度和功能上占據(jù)優(yōu)勢，但價格和維護成本較高；國產(chǎn)測量儀雖然在性能上稍遜一籌，但其較低的采購和維護成本，使其在滿足一般精度要求的生產(chǎn)和檢測場景中，展現(xiàn)出良好的性價比 。對于追求極致精度和功能多樣性的高端應用場景，進口測量儀更具價值；而對于預算有限、對精度要求適中的用戶，國產(chǎn)測量儀則是更經(jīng)濟實惠的選擇。

高通量晶圓測厚系統(tǒng)運用第三代掃頻OCT技術(shù)，精準攻克晶圓/晶片厚度TTV重復精度不穩(wěn)定難題，重復精度達3nm以下。針對行業(yè)厚度測量結(jié)果不一致的痛點，經(jīng)不同時段測量驗證，保障再現(xiàn)精度可靠。?

我們的數(shù)據(jù)和WAFERSIGHT2的數(shù)據(jù)測量對比,進一步驗證了真值的再現(xiàn)性：

（以上為新啟航實測樣品數(shù)據(jù)結(jié)果）

該系統(tǒng)基于第三代可調(diào)諧掃頻激光技術(shù)，相較傳統(tǒng)雙探頭對射掃描，可一次完成所有平面度及厚度參數(shù)測量。其創(chuàng)新掃描原理極大提升材料兼容性，從輕摻到重摻P型硅，到碳化硅、藍寶石、玻璃等多種晶圓材料均適用：?

對重摻型硅，可精準探測強吸收晶圓前后表面；?

點掃描第三代掃頻激光技術(shù)，有效抵御光譜串擾，勝任粗糙晶圓表面測量；?

通過偏振效應補償，增強低反射碳化硅、鈮酸鋰晶圓測量信噪比；

（以上為新啟航實測樣品數(shù)據(jù)結(jié)果）

支持絕緣體上硅和MEMS多層結(jié)構(gòu)測量，覆蓋μm級到數(shù)百μm級厚度范圍，還可測量薄至4μm、精度達1nm的薄膜。

（以上為新啟航實測樣品數(shù)據(jù)結(jié)果）

此外，可調(diào)諧掃頻激光具備出色的“溫漂”處理能力，在極端環(huán)境中抗干擾性強，顯著提升重復測量穩(wěn)定性。

（以上為新啟航實測樣品數(shù)據(jù)結(jié)果）

系統(tǒng)采用第三代高速掃頻可調(diào)諧激光器，擺脫傳統(tǒng)SLD光源對“主動式減震平臺”的依賴，憑借卓越抗干擾性實現(xiàn)小型化設(shè)計，還能與EFEM系統(tǒng)集成，滿足產(chǎn)線自動化測量需求。運動控制靈活，適配2-12英寸方片和圓片測量。