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廣州增芯12英寸MEMS芯片量產(chǎn)線搬入光刻機(jī),順利進(jìn)入調(diào)試投產(chǎn)準(zhǔn)備階段

傳感器專家網(wǎng) ? 來源:傳感器專家網(wǎng) ? 作者:傳感器專家網(wǎng) ? 2024-03-22 18:10 ? 次閱讀
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據(jù)傳感器專家網(wǎng)獲悉,3月11日,廣州增芯科技有限公司12英寸先進(jìn)智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線項(xiàng)目在廣州增城開發(fā)區(qū)舉行光刻機(jī)搬入活動(dòng),標(biāo)志著增芯項(xiàng)目順利進(jìn)入調(diào)試投產(chǎn)準(zhǔn)備階段。

據(jù)悉,增芯項(xiàng)目是省、市重點(diǎn)項(xiàng)目,打造國(guó)內(nèi)第一條12英寸智能傳感器(MEMS)及特色工藝生產(chǎn)線,對(duì)增城乃至廣州、廣東集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有重要意義。增芯項(xiàng)目占地面積達(dá)370畝,分兩期建設(shè),此前披露消息顯示,一期批復(fù)投資70億元,總投資達(dá)370億元。根據(jù)規(guī)劃,將建設(shè)月加工能力達(dá)2萬(wàn)片的12英寸MEMS制造生產(chǎn)線,預(yù)計(jì)2024年6月通線。

據(jù)羊城派報(bào)道,據(jù)了解,該項(xiàng)目預(yù)計(jì)今年6月份將完成首批設(shè)備安裝,今年12月底完成第一個(gè)有良率的產(chǎn)品下線。廣州增芯科技有限公司總經(jīng)理張亮表示,目前國(guó)產(chǎn)裝備在增芯一期項(xiàng)目里的使用占比超過了35%,希望在二期投產(chǎn)的時(shí)候能達(dá)到一半以上。

增城開發(fā)區(qū)投資促進(jìn)局消息顯示,2023年9月20日,增芯12英寸先進(jìn)智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線項(xiàng)目正式封頂。項(xiàng)目總投資達(dá)370億元,分為兩期規(guī)劃,占地面積達(dá)370畝,一期達(dá)產(chǎn)后預(yù)計(jì)產(chǎn)能2萬(wàn)片/月。項(xiàng)目由廣州增芯科技有限公司進(jìn)行投資,擬建設(shè)半導(dǎo)體晶圓制造廠,主要生產(chǎn)12英寸工藝產(chǎn)品,產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)閭鞲衅鳌?a href="http://www.brongaenegriffin.com/analog/" target="_blank">模擬芯片和汽車電子等。

據(jù)廣州日?qǐng)?bào)報(bào)道,該項(xiàng)目自2022年底動(dòng)工起,僅用9個(gè)月零6天完成自樁基啟動(dòng)至主廠房封頂建設(shè),實(shí)現(xiàn)了“開工一年裝機(jī)”,封頂至今僅5個(gè)月多月便迎來了生產(chǎn)線最核心的裝備——光刻機(jī)。

審核編輯 黃宇

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