激光快速掃描系統(tǒng)在半導(dǎo)體技術(shù)、航空航天、生物醫(yī)學(xué)、納米科學(xué)研究等領(lǐng)域得到了越來越多的應(yīng)用，同時對其性能要求也越來越高，受其體積，掃描頻率，掃描精度、掃描分辨率等諸多因素的影響，出現(xiàn)更多小型化、高速化、精準化的掃描應(yīng)用場景，壓電偏轉(zhuǎn)鏡以其小體積、高精度、高諧振頻率等優(yōu)勢成為激光快速掃描系統(tǒng)中核心部件。

激光掃描是利用激光束的能量通過反射鏡或透鏡進行光路的精確定位和控制，以保證激光束的穩(wěn)定，可大致分為激光成像與激光加工兩種用途。

例如，激光成像，是當激光束照射到被掃描物體表面時，會被物體表面反射或散射，反射光經(jīng)過透鏡或反射鏡的聚焦，然后再次反射回掃描裝置的接收器，將物體表面反射或散射的光信號進行收集，然后對接收的光信號進行檢測和處理，獲得物體的一些物理特性比如大小、形狀、空間位置、空間方向、顏色、顏色變化、表面紋理、化學(xué)成分等等。

而激光加工，是加工用的激光束通過單個或多個透射、反射鏡后，最終落在待加工物的表面，隨著調(diào)節(jié)反射鏡的角度，從而加工不同的位置。

激光掃描原理圖

其中壓電偏轉(zhuǎn)鏡可在掃描裝置中裝載鏡片進行光路的精確定位和控制，壓電偏轉(zhuǎn)鏡具有更高的頻率、精度和響應(yīng)速度，且其采用閉環(huán)控制系統(tǒng)具有更高的定位精度，可大幅度提高掃描效率和精度。

芯明天壓電偏轉(zhuǎn)鏡

芯明天壓電偏轉(zhuǎn)鏡是以壓電陶瓷作為驅(qū)動元件，內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計，外部機械結(jié)構(gòu)通過內(nèi)部多支壓電陶瓷的伸縮來實現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉(zhuǎn)運動，補償量小，確保偏轉(zhuǎn)鏡具有很高的運動精度和穩(wěn)定性，通過內(nèi)置高精度傳感器進行閉環(huán)控制，實現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。廣泛應(yīng)用于光路調(diào)節(jié)、衛(wèi)星激光通信、激光穩(wěn)定、變形鏡、圖像處理與穩(wěn)定、激光掃描、光束偏轉(zhuǎn)等。

適用于激光快速掃描系統(tǒng)控制的芯明天壓電偏轉(zhuǎn)鏡系列

配套控制器

高性能的壓電偏轉(zhuǎn)鏡需要匹配高性能的壓電控制器使用。芯明天根據(jù)不同使用場景可為客戶提供多種結(jié)構(gòu)形式、多種控制方式以及多種型號的壓電控制器，以解決不同應(yīng)用場景精密定位控制的難題。

E70系列壓電控制器

E70系列壓電控制器是一款小體積、大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的壓電陶瓷控制器，可通過串口、USB或網(wǎng)口進行數(shù)字通信的三通道壓電控制器。

E80.D3-O壓電控制器

E80.D3-O壓電控制器主要為驅(qū)動壓電偏轉(zhuǎn)鏡而研發(fā)設(shè)計，具有3個輸出通道，其中第3路為恒壓輸出，適于差分驅(qū)動。它具有兩種形式，可選機箱封裝式或卡板式。

E80.B3K-I壓電控制器

E80.B3K-I壓電控制器是專為驅(qū)動壓電偏轉(zhuǎn)鏡而設(shè)計，具有3個輸出通道，其中1通道輸出恒壓，適于差分驅(qū)動。此外，該控制器配備有傳感信號監(jiān)測部分，可反饋體現(xiàn)壓電偏轉(zhuǎn)鏡偏轉(zhuǎn)角度的電壓信號，適于外部閉環(huán)控制。

E80.B3K-J系列板卡式壓電控制器

E80.B3K-J板卡式壓電控制器是一款通過模擬信號控制的、具有恒壓輸出的三通道壓電控制器，它配備有傳感監(jiān)測模塊。

E80.B5S板卡式控制器

它是一款五通道輸出的壓電控制器，專為同時驅(qū)動兩臺壓電偏轉(zhuǎn)鏡而研發(fā)設(shè)計。它采用DC28V供電，輸出電壓為-20V~120V（可選 -20V~100V/150V），尺寸僅有222×180×40mm^3，它以板卡式小體積的特點解決了應(yīng)用空間受限的問題，并且E80.B5S使用特殊的元器件，并進行多項處理，使其適用于宇航級應(yīng)用。

審核編輯 黃宇