中科微感MEMS氣體傳感器量產(chǎn)技術(shù)再次突破瓶頸，良品率接近98%
中科微感金屬氧化物基MEMS氣體傳感器量產(chǎn)技術(shù)再次突破瓶頸。以CM-A107S氫氣傳感器為例，晶圓級萬顆批量生產(chǎn)，單顆LGA封裝的MEMS氫氣傳感器初始阻值和響應值一致性偏差逼近5%，良品率接近98%。本量產(chǎn)技術(shù)的突破，為人工智能嗅覺傳感器的普遍應用推廣打下堅實基礎(chǔ)，為未來氣味數(shù)字化應用提供了標準化和低成本的硬件解決方案。
隨機抽取70顆CM-A107S氫氣傳感器（LGA封裝），進行空氣中每顆阻值和500 ppm氫氣響應值測試統(tǒng)計，結(jié)果如下圖所示。
審核編輯：劉清
聲明：本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點僅代表作者本人，不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用，如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題，請聯(lián)系本站處理。
舉報投訴
-
氣體傳感器
+關(guān)注
關(guān)注
14文章
599瀏覽量
39037 -
MEMS技術(shù)
+關(guān)注
關(guān)注
0文章
144瀏覽量
21859 -
LGA封裝
+關(guān)注
關(guān)注
0文章
14瀏覽量
3408
原文標題：中科微感MEMS氣體傳感器量產(chǎn)技術(shù)再次突破瓶頸，批量一致性偏差逼近5%，良品率接近98%
文章出處：【微信號：MEMSensor，微信公眾號：MEMS】歡迎添加關(guān)注！文章轉(zhuǎn)載請注明出處。
發(fā)布評論請先 登錄
相關(guān)推薦
熱點推薦
博世MEMS傳感器的主要應用及明星產(chǎn)品
博世全面覆蓋汽車領(lǐng)域 MEMS 傳感器的各個環(huán)節(jié)，從研發(fā)設(shè)計到量產(chǎn)制造，均具備深厚實力。迄今為止，博世已累計生產(chǎn)超過 230 億顆MEMS傳感器
氣體傳感器：原理、技術(shù)與實用指南
? 在環(huán)境監(jiān)測、工業(yè)生產(chǎn)、安防等眾多領(lǐng)域，氣體傳感器發(fā)揮著至關(guān)重要的作用，為及時準確地檢測各種氣體成分和濃度提供了關(guān)鍵手段。 工 作 原 理? 半導體氣體
奧迪威MEMS能量表方案：氫氣檢測技術(shù)的革新突破
MEMS傳感器技術(shù)仍在不斷發(fā)展演進。未來，隨著人工智能技術(shù)的融合，MEMS傳感器將具備更強大的信
MEMS慣性傳感器?都有哪些種類？MEMS慣性傳感器有哪些特點
MEMS慣性傳感器都有哪些種類？MEMS慣性傳感器有哪些特點，下面火豐精密小編為你講解一下：
MEMS慣性
瑞之辰MEMS壓力傳感器：“小而精”技術(shù)引領(lǐng)國產(chǎn)替代
“小而精”，已經(jīng)成為工業(yè)傳感器的研發(fā)趨勢，瑞之辰用MEMS技術(shù)打破了“尺寸小等于性能弱”的固有認知。尺寸為10mm×2.6mm的金屬封裝壓力傳感器，不僅是
瑞之辰多樣化MEMS傳感器，打造工業(yè)級智能打氣泵解決方案
在智能制造2025戰(zhàn)略推動下，中國工業(yè)裝備領(lǐng)域正迎來傳感器技術(shù)升級的“黃金窗口期”。深圳市瑞之辰科技有限公司依托自主MEMS核心技術(shù)矩陣，推出面向智能打氣泵領(lǐng)域的全場景
微著科技 致力于成為中國高性能MEMS傳感器及解決方案領(lǐng)域的領(lǐng)航者
高校，并在傳感器領(lǐng)域擁有超過十年的技術(shù)積累。微著科技致力于成為中國高性能MEMS傳感器及解決方案領(lǐng)域的領(lǐng)航者，推動國產(chǎn)化、自主化和可控化的進
創(chuàng)飛芯0.13μm eFuse OTP IP量產(chǎn)突破1.5萬片
一站式NVM存儲IP供應商珠海創(chuàng)飛芯（CFX）宣布，憑借自主研發(fā)采用 eFuse 結(jié)構(gòu)的OTP IP，在基于0.13μm 平臺的 CMOS 圖像傳感器量產(chǎn)方面取得重大突破，晶圓量產(chǎn)數(shù)量成功突破
MEMS聲敏傳感器分類與應用
等多個領(lǐng)域展現(xiàn)出了廣闊的應用前景。本文將帶您深入了解MEMS聲敏傳感器的分類與應用，探索這個微型化聲音世界的奧秘。 ? 一、MEMS聲敏傳感器的分類
微型傳感革命：國產(chǎn)CMOS-MEMS單片集成技術(shù)、MEMS Speaker破局
=（電子發(fā)燒友網(wǎng)綜合報道）在萬物互聯(lián)與智能硬件的浪潮下，傳感器微型化、高精度化正成為產(chǎn)業(yè)升級的核心驅(qū)動力。MEMS（微機電系統(tǒng)）與CMOS（互補金屬氧化物半導體）技術(shù)的深度融合，被視為突破
發(fā)表于 03-18 00:05
?2345次閱讀
國產(chǎn)電容式MEMS壓力傳感器得到實現(xiàn)
? ? ? ?MEMS壓力傳感器是技術(shù)與資本密集型產(chǎn)業(yè),國內(nèi)缺乏從事MEMS壓力芯片研發(fā)與量產(chǎn)的企業(yè)，M
午芯芯科技國產(chǎn)電容式MEMS壓力傳感器芯片突破卡脖子技術(shù)
從設(shè)計到生產(chǎn)，包括原材料，全部國產(chǎn)化，無任何外資，不受國外技術(shù)或價格影響，供應穩(wěn)定。3.后續(xù)會推出加速度計、陀螺儀、硅麥等產(chǎn)品午芯芯科技WXP380 是電容式 MEMS 壓力傳感器芯片，具有低功耗、低
發(fā)表于 02-19 12:19
中科曙光助力浙江精準醫(yī)療實驗室突破算力瓶頸
水平具有重要意義。 然而，在冷凍電鏡等應用場景中，算力瓶頸一直是制約科研進展的關(guān)鍵因素之一。為了突破這一瓶頸，實驗室引入了中科曙光的高端計算解決方案。
中科微感發(fā)布MEMS硫化氫傳感器CM-B111S，精準高效保障
近日，中科微感正式推出了其最新研發(fā)的MEMS硫化氫氣體傳感器——CM-B111S。該
工商網(wǎng)監(jiān)
評論