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      中科微感MEMS氣體傳感器量產(chǎn)技術再次突破瓶頸，良品率接近98%

      MEMS ? 來源：中科微感科技有限公司 ? 2024-05-09 09:03 ? 次閱讀
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      中科微感金屬氧化物基MEMS氣體傳感器量產(chǎn)技術再次突破瓶頸。以CM-A107S氫氣傳感器為例，晶圓級萬顆批量生產(chǎn)，單顆LGA封裝的MEMS氫氣傳感器初始阻值和響應值一致性偏差逼近5%，良品率接近98%。本量產(chǎn)技術的突破，為人工智能嗅覺傳感器的普遍應用推廣打下堅實基礎，為未來氣味數(shù)字化應用提供了標準化和低成本的硬件解決方案。

      隨機抽取70顆CM-A107S氫氣傳感器（LGA封裝），進行空氣中每顆阻值和500 ppm氫氣響應值測試統(tǒng)計，結(jié)果如下圖所示。

      b27e2e20-0d69-11ef-a297-92fbcf53809c.jpgb2be3204-0d69-11ef-a297-92fbcf53809c.jpg



      審核編輯：劉清

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      原文標題：中科微感MEMS氣體傳感器量產(chǎn)技術再次突破瓶頸，批量一致性偏差逼近5%，良品率接近98%

      文章出處：【微信號：MEMSensor，微信公眾號：MEMS】歡迎添加關注！文章轉(zhuǎn)載請注明出處。

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