利用超聲諧振驅(qū)動(dòng)原理的壓電馬達(dá)，其基本工作原理就是利用壓電材料的逆壓電效應(yīng)，使其能產(chǎn)生超聲波頻率的機(jī)械振動(dòng)，再通過(guò)摩擦驅(qū)動(dòng)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，從而驅(qū)動(dòng)移動(dòng)臺(tái)做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)或直線運(yùn)動(dòng)。

超聲是一種超出人聽覺范圍外的高頻振動(dòng)，因此超聲壓電馬達(dá)具有噪聲小的特點(diǎn)。此外，它還具有結(jié)構(gòu)小，響應(yīng)速度快，可斷電自鎖等優(yōu)點(diǎn)。在精密加工測(cè)量?jī)x器、半導(dǎo)體加工設(shè)備、醫(yī)療、航空航天等高技術(shù)領(lǐng)域應(yīng)用前景廣闊。

不同壓電馬達(dá)的運(yùn)動(dòng)原理

芯明天超聲諧振驅(qū)動(dòng)壓電馬達(dá)

（1）N59系列直線壓電馬達(dá)

產(chǎn)品外觀

產(chǎn)品特點(diǎn)

? 一維X向運(yùn)動(dòng)

? 速度達(dá)25mm/s

? 分辨率達(dá)50nm

? 斷電自鎖

應(yīng)用

? 光學(xué)儀器領(lǐng)域

? 精密儀器領(lǐng)域

? 醫(yī)療器械

? 微劑量注射器

? 小負(fù)載、大行程納米定位

? 科學(xué)研究

? 光纖對(duì)接

? 微細(xì)加工

? 原子力顯微鏡

? 半導(dǎo)體的精密定位和微納操作等

技術(shù)參數(shù)

（2）N69系列旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá)

產(chǎn)品外觀

產(chǎn)品特點(diǎn)

? 360°雙向旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)

? 速度可達(dá)220rpm

? 斷電自鎖

? 真空版本可選

應(yīng)用

? 光學(xué)儀器領(lǐng)域

? 精密儀器領(lǐng)域

? 醫(yī)療器械

? 微劑量注射器

? 半導(dǎo)體技術(shù)

? 圖像處理

? 納米計(jì)量

? 光學(xué)儀器設(shè)備制造

? 干涉儀等

技術(shù)參數(shù)

配套控制器

E66.A2K-H1板卡式壓電控制器可控制N69系列和N59系列超聲壓電馬達(dá)，單通道開環(huán)驅(qū)動(dòng)，尺寸為38mm×27mm×12mm，可外部輸入PWM信號(hào)控制，操作更便捷，小體積設(shè)計(jì)更易集成。

審核編輯 黃宇