來源：TOKYO ELECTRON

前言

近日，Tokyo Electron(TEL)、富士金株式會社和TMEIC株式會社共同開發(fā)出一款調(diào)控半導體制造的沉積工藝中臭氧濃度的新型監(jiān)測儀，并對該監(jiān)測儀與臭氧發(fā)生器的兼容性進行全面測試。此次的聯(lián)合開發(fā)也是TEL發(fā)起并推動的供應鏈倡議E-COMPASS的一部分。

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背景BACKGROUND半導體制造過程的沉積步驟需要使用臭氧來形成各種氧化物薄膜，并通過可靠的臭氧濃度檢測儀實時監(jiān)測臭氧發(fā)生器的狀態(tài)和性能。傳統(tǒng)的臭氧濃度測量技術之一是紫外吸收法，該方法利用的是臭氧對不同波長的紫外線吸收程度不同的原理，而缺點是，因汞是有害物質(zhì)，需要對使用了汞紫外的燈源進行定期更換*1。TEL、富士金和TMEIC共同研發(fā)的無汞且免維保的臭氧濃度監(jiān)測儀和臭氧發(fā)生器，可以解決這一問題。

02臭氧濃度監(jiān)測儀的特點FEATURES

不含汞、免維保、低功耗

■ LED紫外光源，保持并優(yōu)于傳統(tǒng)檢測儀的性能可靠性。

■ 不含汞，對環(huán)境不產(chǎn)生有害物質(zhì)。

■ 與傳統(tǒng)的兩年更換一次燈源的頻率相比，LED燈源具有超過10年的經(jīng)久耐用程度，免去維保的后顧之憂。

■ 配置LED的監(jiān)測儀，實現(xiàn)耗電量從25W降至3W（降低88%）。這相當于每臺監(jiān)測儀每年減少77.1千克的CO2e*2的排放量。

圖：新型臭氧濃度監(jiān)測儀

03環(huán)境價值ENVIRONMENTAL VALUE

減少CO2e排放量和運行成本

此次開發(fā)的新型臭氧濃度監(jiān)測儀適用于半導體制造設備和臭氧發(fā)生器。未來五年，臭氧發(fā)生器的需求規(guī)模將翻一番，采用新型臭氧監(jiān)測儀有望幫助工廠減少310噸CO2e排放量和約1億日元的燈源更換費用。

04技術共創(chuàng)TECHNOLOGY CO-CREATION

在此次環(huán)境技術合作中，富士金與TEL共同開發(fā)了臭氧濃度監(jiān)測器，由TMEIC在其臭氧發(fā)生器上對該監(jiān)測儀進行測試和性能驗證， 從而確保該監(jiān)測儀適用于多個領域，其中也包括TEL的半導體制造設備和配套設施。

05企業(yè)理念CORPORATE PHILOSOPHY

為應對數(shù)字化和綠色社會的未來全球趨勢的到來，今后，TEL將一如既往與業(yè)務伙伴保持緊密合作，積極提供友好環(huán)境的設備并為設備開發(fā)環(huán)保技術。在這些業(yè)務開展過程中，努力踐行"通過先進的技術和可靠的服務，為創(chuàng)造富有夢想的社會做貢獻"的企業(yè)理念。