日本在EUV光刻領(lǐng)域保留著對(duì)供應(yīng)鏈關(guān)鍵部分的控制，例如半導(dǎo)體材料。

據(jù)了解，芯片制造涉及19種關(guān)鍵材料，且多數(shù)都具有較高技術(shù)壁壘，而日本企業(yè)在其中14種關(guān)鍵材料中占據(jù)全球超過(guò)50%的市場(chǎng)份額。由于市場(chǎng)對(duì)需要EUV光刻系統(tǒng)的先進(jìn)芯片的需求不斷增長(zhǎng)，東京應(yīng)化、信越化學(xué)、三菱化學(xué)等日本公司正在增加投資并關(guān)注EUV關(guān)鍵技術(shù)所用材料的供應(yīng)。

東京應(yīng)化（TOK）正在福島縣建造一座全新的先進(jìn)光刻膠工廠，該工廠預(yù)計(jì)將于2024年底開(kāi)工，2026年完工。工廠致力于提高KrF（氟化氪）和EUV光刻系統(tǒng)的光刻膠生產(chǎn)能力和質(zhì)量，并將成為該公司最大的工廠。

信越化學(xué)將投資830億日元（5.13億美元）在群馬縣建造第四家光刻膠工廠，該工廠計(jì)劃于2026年竣工，將滿足出口需求并開(kāi)展研發(fā)活動(dòng)。信越化學(xué)的光刻膠適用于各種光刻工藝，包括EUV。

三菱化學(xué)加大了對(duì)光刻膠材料Lithomax的投入。該公司正在其九州工廠安裝量產(chǎn)設(shè)備，目標(biāo)是將ArF光刻膠產(chǎn)量提高一倍以上，并在2025年9月之前實(shí)現(xiàn)EUV光刻膠的首次量產(chǎn)。

三井化學(xué)正在開(kāi)發(fā)下一代掩模防護(hù)膜，即用于EUV光刻的保護(hù)膜。其山口工廠計(jì)劃2026年開(kāi)始生產(chǎn)，年產(chǎn)量為5000片。

AGC通過(guò)其子公司AGC Electronics加大了對(duì)EUV掩模版設(shè)備的投資，旨在將產(chǎn)能提高30%。這些用于芯片圖案化的掩模版由AGC內(nèi)部生產(chǎn)并供應(yīng)給主要芯片制造商。AGC的目標(biāo)是到2025年EUV掩模版的銷售額超過(guò)400億日元。

審核編輯 黃宇