Phasics波前傳感器以其獨有的橫向四波剪切技術(shù)聞名，其推出的SID4系列波前傳感器以高靈敏度、高分辨率、高重復(fù)性的特點更受市場青睞，以下為SID4在透鏡/鏡頭檢測方面的具體案例應(yīng)用。

一、對復(fù)雜超表面進(jìn)行精確表征的一種方法-超透鏡

1.1 針對超表面測量Phasics具備的優(yōu)勢

傳統(tǒng)的低分辨率技術(shù)很難準(zhǔn)確測量超透鏡的復(fù)雜特征，Phasics針對超透鏡提出了高效的解決方案，并具備以下4點優(yōu)勢:

Phasics sC8搭載顯微鏡測量場景

1.亞波長空間尺度下的高精度測量：Phasics的波前傳感器不僅具備優(yōu)于2nm RMS的光程差測量精度，還采用了便捷的C端接口設(shè)計，能夠直接連接顯微鏡，實現(xiàn)即插即用的快速安裝和亞波長級別的空間分辨率。2.偏振無關(guān)性：Phasics的波前傳感器支持全面的偏振測量，能夠精確分析超表面在不同偏振狀態(tài)下的光學(xué)響應(yīng)，從而更好地評估器件的實際性能。3.多光譜測量能力：其產(chǎn)品能夠在多個波長范圍內(nèi)進(jìn)行高精度測量，確保超透鏡在多光譜應(yīng)用中的性能表現(xiàn)。4.環(huán)境穩(wěn)定性：Phasics的傳感器能夠在不穩(wěn)定的環(huán)境條件下保持精確測量，消除環(huán)境影響對測量結(jié)果干擾，確保數(shù)據(jù)可靠性。

1.2Phasics超表面測量光路搭建

在下圖1這個例子中，超表面的簡單相位偏移得到了測量。Phasics的高精度波前傳感器，能夠檢測到因生產(chǎn)誤差所引起的局部相位缺陷，從而可以幫助制造工藝的評估和調(diào)整，保證超表面的生產(chǎn)質(zhì)量。

圖1: 基于四波橫向剪切干涉法的超表面光學(xué)表征法國CNRS CRHEA 實驗室,S. Khadir- arXiv:2008.11369v1

下圖2描述了對一個Pancharatnam-Berry (PB) 超透鏡使用了兩種不同的圓偏振態(tài)進(jìn)行測量：右旋和左旋。根據(jù)設(shè)計，當(dāng)改變偏振狀態(tài)時，該超透鏡會生該超透鏡會生成正透鏡或負(fù)透鏡。

圖2: 左側(cè)顯示波前曲率的相位圖，右側(cè)是其相應(yīng)的曲線輪廓。中間相位圖譜展示在濾掉波前曲率后殘余的波前誤差。

Phasics的QWLSI技術(shù)不會受到偏振的影響，因此在從右旋圓偏振切換到左旋圓偏振時，我們的設(shè)備仍然可以對波前進(jìn)行詳細(xì)表征。圖2展示了波前曲率的變化。此外，可以通過濾掉主要的波前曲率來揭示殘余波前誤差，這些誤差反映了更高空間頻率的缺陷（見圖2中間的左側(cè)相位圖）。

圖3：左側(cè)為在設(shè)計波長544nm下測量的PB超透鏡，右側(cè)為在633nm下測量的相同超透鏡。在減去波前曲率后，顯示出在設(shè)計波長下測量的殘余誤差較低。

在圖3中，我們對同一個PB超透鏡在兩種不同的波長下進(jìn)行了測量：544nm（其設(shè)計波長）和633nm。Phasics技術(shù)具有自消色差的特性，可以在傳感器模型的靈敏度范圍內(nèi)對任意波長進(jìn)行測量。

測量結(jié)果顯示，當(dāng)超透鏡在其設(shè)計的波長下使用時，產(chǎn)生的高空間頻率波前誤差較少。

圖4：PB金屬透鏡的測量。左側(cè)為強(qiáng)度圖像和總波前圖，右側(cè)通過濾波波前曲率（或澤尼克離焦項）揭示了其他光學(xué)像差。底部的柱狀圖顯示了主要的低階澤尼克像差。根據(jù)強(qiáng)度圖和波前圖生成了超透鏡的點擴(kuò)散函數(shù)（PSF），并計算了調(diào)制傳遞函數(shù)（MTF）（右下角的圖像和圖表）

在圖4中，我們對一個PB金屬透鏡進(jìn)行了測量。Phasics的SID4-HR波前傳感器的高動態(tài)范圍能夠同時捕捉主要波前曲率，并通過像差過濾顯示所需要的光學(xué)像差。

該樣品表現(xiàn)出45度的散光作為主要的澤尼克光學(xué)像差。通過使用強(qiáng)度圖和波前圖，Phasics技術(shù)能夠?qū)崟r計算超透鏡的點擴(kuò)散函數(shù)（PSF）、二維光學(xué)傳遞函數(shù)（OTF）以及調(diào)制傳遞函數(shù)（MTF）。

通過精確測量波前并將其與制造樣品的設(shè)計理論進(jìn)行比較，Phasics能夠幫助表征制造過程，確保實現(xiàn)預(yù)期的光學(xué)功能。此外，Phasics的計量解決方案能夠通過經(jīng)典的光學(xué)像差（如澤尼克系數(shù)）、調(diào)制傳遞函數(shù)（MTF）、點擴(kuò)散函數(shù)（PSF）以及總波前誤差圖提供對超透鏡的全面光學(xué)性能表征。重要的是，這些測量均能實時進(jìn)行，且僅需單次測量即可完成。

二、Phasics助力自動駕駛車載鏡頭光學(xué)性能優(yōu)化-Kaleo MTF測量儀/傳函儀解決方案

2.1 車載光學(xué)超寬視場與高性能需求

基于視覺成像方向的自動駕駛領(lǐng)域，從倒車輔助到全自動駕駛，鏡頭不僅需要滿足超寬視場（超過180°，如超廣角鏡頭，魚眼鏡頭等）和高數(shù)值孔徑（F/2）的需求，還需在400-1100 nm光譜范圍內(nèi)實現(xiàn)高質(zhì)量成像，以適應(yīng)更小的傳感器像素和復(fù)雜的圖像處理鏈。

傳統(tǒng)的光學(xué)測試方法面臨諸多挑戰(zhàn)：

低效的 MTF 傳函儀：效率低下，更換視場位置要進(jìn)行復(fù)雜且耗時的重新對準(zhǔn)。并且普通傳函儀不能提供MTF以外的光學(xué)缺陷信息，例如離焦、失準(zhǔn)或非球面加工誤差等，并將缺陷類型與MTF結(jié)果關(guān)聯(lián)掛鉤。

繁瑣的傳統(tǒng)干涉法：需要雙程測量，并在切換視場位置時重新校準(zhǔn)參考球體，無法實現(xiàn)測量自動化。

這些限制使得傳統(tǒng)方法難以滿足高效生產(chǎn)對精密測量的需求。

針對這一挑戰(zhàn)，Phasics為雷諾（Renault）研發(fā)了一種專為車載鏡頭提供自動化且高精度的質(zhì)量檢測計量平臺。該平臺能夠測量調(diào)制傳遞函數(shù)（MTF）、光學(xué)像差系數(shù)以及光輻射數(shù)據(jù)，并涵蓋多個波長和視場點的測試。該算法還能夠推導(dǎo)出光闌透過率，以精確考慮視場邊緣出現(xiàn)的漸暈效應(yīng)（vignetting effects）。整個平臺實現(xiàn)了完全自動化，能夠自動生成大量數(shù)據(jù)集，全面而詳盡地描述鏡頭的光學(xué)性能。這些數(shù)據(jù)集隨后通過仿真工具進(jìn)一步處理，從場景到顯示圖像，成功幫助雷諾評估車載攝像頭的性能。

Kaleo MTF 全自動測試工作站

2.2 Kaleo MTF測量儀/傳函儀解決方案核心優(yōu)勢-雷諾汽車（Renault）

Phasics為雷諾提供的基于Kaleo MTF技術(shù)的解決方案通過四波橫向剪切干涉儀（QWLSI）技術(shù)，徹底革新傳統(tǒng)測量方式。通過單程光路配置即可實現(xiàn)鏡頭的快速實時表征。該平臺的測量方式非常簡單并且滿足:

高效測量：無需在不同視場點之間進(jìn)行多次對準(zhǔn)或復(fù)雜配置，快速完成光程差（OPD）和調(diào)制傳遞函數(shù)（MTF）的全視場測量。

精準(zhǔn)校正：借助光線追蹤算法，回溯波前至出瞳面，精準(zhǔn)計算漸暈效應(yīng)和孔徑傳輸。

廣譜兼容：適用于多波長環(huán)境，自動切換波長且無需額外校準(zhǔn)，覆蓋從可見光到近紅外的應(yīng)用需求。

通過Kaleo MTF的自動化操作，平臺在2.5秒內(nèi)即可完成一個視場點的數(shù)據(jù)采集，大幅提升產(chǎn)線檢測的效率和一致性。同時，系統(tǒng)的測量誤差在整個視場內(nèi)保持在1%以下，為汽車鏡頭性能評價提供了可靠的數(shù)據(jù)支撐。

我們利用該計量平臺對兩款來自不同廠商的汽車魚眼鏡頭進(jìn)行了測試，測試結(jié)果如下圖。

鏡頭#1 的 MTF 和低階像差性能表現(xiàn)

鏡頭#2的 MTF 和低階像差性能表現(xiàn)

分析顯示，盡管兩款鏡頭在整體光學(xué)質(zhì)量上表現(xiàn)相近，但在無漸暈視場范圍方面存在顯著差異，該測試為鏡頭性能優(yōu)化提供了可靠的依據(jù)。且該測試平臺具有極高的效率，每個視場點的測量時間僅為2.5秒，同時在自動化數(shù)據(jù)采集流程的支持下，具備優(yōu)異的重復(fù)性和可靠性。

2.3 Kaleo MTF-技術(shù)優(yōu)勢

Kaleo MTF可測試光譜范圍覆蓋紫外,可見光,近紅外以及短波紅外，且支持:

超寬視場（最高可達(dá) ±90°）和高主光線角（CRA 高達(dá) 50°）的鏡頭測試(超廣角鏡頭，魚眼鏡頭等)

單次拍攝即可實現(xiàn)高精度MTF和波前誤差（TWE）的同步測量

滿足在軸/離軸情況下有限/無限共軛光學(xué)配置

該系統(tǒng)完全自動化，可快速完成大批量鏡頭的完整視場測量，測量精度符合ISO 5725標(biāo)準(zhǔn)。

Kaleo MTF平臺的設(shè)計具有高度的適應(yīng)性，可進(jìn)一步擴(kuò)展以滿足更大口徑鏡頭的完整MTF表征需求，從而實現(xiàn)快速、高精度的測量。通過引入適用于紫外（UV）及紅外（SWIR、MWIR、LWIR）波段的波前傳感器，該平臺可滿足多光譜范圍的光學(xué)系統(tǒng)測試需求，為更復(fù)雜的光學(xué)應(yīng)用場景提供靈活且可靠的解決方案。

三、Phasics變焦電影鏡頭/手機(jī)鏡頭的精準(zhǔn)波前測量

3.1 Phasics變焦電影鏡頭/手機(jī)鏡頭的精準(zhǔn)波前測量-Angénieux(安琴)

在電影行業(yè)，頂級鏡頭制造商如Angénieux（安琴）、Arri（阿萊）、Cooke（庫克）和Zeiss（蔡司）為許多經(jīng)典電影作品得以呈現(xiàn)卓越的視覺效果。

在電影和手機(jī)鏡頭的生產(chǎn)過程中，光學(xué)子組件（即鏡群組）的測量和校準(zhǔn)是確保成像質(zhì)量的關(guān)鍵步驟之一。鏡頭通常由可移動的光學(xué)子組件組成，需對這些組件進(jìn)行微米級的精確控制，以檢測對準(zhǔn)偏差、拋光誤差或材料中微小的折射率不均勻性。此外，由于鏡群組在未完全裝配時無法實現(xiàn)成像效果，其成像質(zhì)量難以直接測量，且鏡群組普遍具有高球差，這給測量帶來了很大的難度。

傳統(tǒng)的MTF傳函儀無法對未成像狀態(tài)的鏡群組進(jìn)行有效檢測；同時，鏡群組的品控過程中需要高動態(tài)范圍的測量能力，而非準(zhǔn)直光束的檢測也超出了普通Shack-Hartmann波前傳感器的能力。因此，迫切需要一種合適的波前測量技術(shù)，以實現(xiàn)鏡群組的精確品控并滿足:

確保鏡群組符合設(shè)計規(guī)范：在最終組裝前能夠驗證各個子組件是否符合光學(xué)設(shè)計，并支持與Zemax的模擬設(shè)計進(jìn)行對比。

適用于高數(shù)值孔徑系統(tǒng)（F值低于F/2）且具有高球差（>45 μm PV）：快速成像系統(tǒng)中的鏡頭設(shè)計通常伴隨較大的球差，需要特殊的檢測手段來保證性能。

提高生產(chǎn)率：在組裝變焦鏡頭之前識別出有缺陷的組件，確保不合格組件不進(jìn)入下一步流程，從而優(yōu)化生產(chǎn)效率。

3.2 Phasics針對安琴的解決方案

在光學(xué)檢測的高標(biāo)準(zhǔn)需求下，Phasics與安琴展開了深入合作，匯集雙方的專業(yè)技術(shù)，成功開發(fā)出一款獨特的工業(yè)檢測平臺，能夠高精度測量光學(xué)鏡群組。這一光學(xué)平臺搭載了基于四波橫向剪切技術(shù)的SID4-HR波前傳感器以及準(zhǔn)直光源，具備超高動態(tài)范圍測量能力。

Phasics測量平臺

3.3 Phasics檢測平臺的主要特點

支持與Zemax設(shè)計的比較：可以與光學(xué)設(shè)計軟件Zemax的模擬結(jié)果進(jìn)行比較分析，以確保實際組件符合設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)。

逆?zhèn)鞑ニ惴ǎ和ㄟ^逆?zhèn)鞑ニ惴z測和校正光學(xué)誤差，有效提高鏡群組的成像質(zhì)量。

高質(zhì)量的100 毫米口徑準(zhǔn)直光源：配備100毫米口徑的高質(zhì)量準(zhǔn)直光源，確保整個平臺的絕對精度優(yōu)于100nmPV。

高動態(tài)范圍下的高球差處理能力：可處理球差高達(dá)45 μm PV的情況，并具備在此高動態(tài)范圍下的50 nm PV的球差測量精度，滿足大球差鏡群組的檢測要求。

用戶友好的操作界面：操作過程簡單便捷，用戶友好，含計算機(jī)輔助檢測步驟，數(shù)據(jù)庫記錄檢測結(jié)果，對準(zhǔn)輔助工具，合格/不合格判定標(biāo)準(zhǔn)等。

Phasics的測量平臺

Phasics的測量平臺

四、Phasics助力多波長激光干涉儀解決方案-哈爾濱某大學(xué)

2019年7月17-19號，上海昊量光電在哈爾濱某大學(xué)成功安裝了一套法國Phasics公司多波長激光干涉儀系統(tǒng)，并經(jīng)過專家組驗收通過。多波長激光干涉儀在驗收過程中通過了各項指標(biāo)要求檢測，獲得了客戶團(tuán)隊的高度評價以及肯定。多波長激光干涉儀的品質(zhì)以及昊量光電優(yōu)質(zhì)的技術(shù)服務(wù)獲得了哈爾濱某大學(xué)驗收團(tuán)隊的一致認(rèn)可。

五、波前傳感器系列介紹

5.1 Kaleo MTF測量儀/傳函儀

5.2 多波長激光干涉儀

5.3 190-400nm紫外波前傳感器

5.4 400-1100nm可見光-近紅外波前傳感器

5.5 900-1700nm短波紅外波前傳感器

5.6 3-5μm＆8-14μm中紅外波前傳感器