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維易科(VEECO)和ALLOS展示行業(yè)領(lǐng)先的200MM硅基氮化鎵性能,推動(dòng)micro-LED的應(yīng)用

西西 ? 作者:廠商供稿 ? 2018-02-26 10:24 ? 次閱讀
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紐約普萊恩維尤(Plainview),2017年11月1日– Veeco 公司 (Nasdaq: VECO)今日宣布和ALLOS Semiconductors (ALLOS)達(dá)成了一項(xiàng)戰(zhàn)略舉措,展示了200mm硅基氮化鎵晶圓用于藍(lán)/綠光micro-LED的生產(chǎn)。維易科和ALLOS合作將其專有外延技術(shù)轉(zhuǎn)移到Propel? 單晶圓MOCVD系統(tǒng),從而在現(xiàn)有的硅生產(chǎn)線上實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)micro-LED。

“使用Propel反應(yīng)腔,我們就擁有了一項(xiàng)MOCVD 技術(shù),這項(xiàng)技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)高產(chǎn)量的GaN外延,滿足在200毫米硅生產(chǎn)線上生產(chǎn)micro-LED器件的所有要求,”ALLOS Semiconductors的首席執(zhí)行官Burkhard Slischka這樣說?!安坏揭粋€(gè)月時(shí)間我們就已經(jīng)在Propel上對(duì)我們的技術(shù)進(jìn)行了驗(yàn)證,并且獲得了無裂紋、無回熔的晶圓,翹曲度低于30微米,晶體質(zhì)量高,厚度均勻性優(yōu)異,波長(zhǎng)均勻性小于1納米。同Veeco攜手,ALLOS期待著將該技術(shù)在micro-LED產(chǎn)業(yè)中更為推廣。”

Micro-LED顯示技術(shù)由《30x30平方微米的紅、綠和藍(lán)(RGB)無機(jī)LED組成,這些LED被轉(zhuǎn)化為顯示屏背板,以形成亞像素。與有機(jī)LED(OLED)和液晶顯示(LCD)相比,這些高效的LED直接發(fā)射功耗更低,卻可以為移動(dòng)顯示器、電視和可穿戴式計(jì)算機(jī)提供優(yōu)異的亮度和對(duì)比度。Micro-LED的制造要求優(yōu)質(zhì)、均勻的外延晶圓,以滿足顯示屏的產(chǎn)量和成本控制的要求。

“和競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的MOCVD平臺(tái)相比, Veeco的TurboDisc?技術(shù)提供的制程窗口更大,因此Propel能提一流的均勻性同時(shí)還能獲得優(yōu)良的膜品質(zhì),”維易科高級(jí)副總裁兼MOCVD運(yùn)營(yíng)總經(jīng)理Peo Hansson博士這樣說?!皩eeco領(lǐng)先的MOCVD專業(yè)技術(shù)和ALLOS的硅基氮化鎵外延晶片技術(shù)相結(jié)合,使我們客戶能夠開發(fā)出低成本的micro-LED,以便于在新的市場(chǎng)中開拓新的應(yīng)用?!?/p>

關(guān)于Veeco

Veeco(NASDAQ: VECO)是一家創(chuàng)新半導(dǎo)體工藝設(shè)備的領(lǐng)先制造商。我們成熟的MOCVD、光刻、激光退火、離子束和單晶片蝕刻與清潔技術(shù)在制造固態(tài)照明和顯示器LED以及先進(jìn)半導(dǎo)體器件的制造中起著不可或缺的作用。憑借旨在最大限度地提高性能、產(chǎn)量和擁有成本的設(shè)備,維易科在所有這些服務(wù)的市場(chǎng)中擁有技術(shù)領(lǐng)先地位。要了解更多關(guān)于維易科創(chuàng)新設(shè)備和服務(wù)方面的信息,請(qǐng)?jiān)L問www.veeco.com。

關(guān)于ALLOS Semiconductors

ALLOS是一家知識(shí)產(chǎn)權(quán)授權(quán)和科技工程公司,幫助全世界半導(dǎo)體行業(yè)的客戶掌握硅基氮化鎵技術(shù)并充分發(fā)揮其優(yōu)勢(shì)。ALLOS正在向提供其專有技術(shù)和專利授權(quán),并將其技術(shù)轉(zhuǎn)移到客戶的MOCVD反應(yīng)腔中。此外,ALLOS也正在提供針對(duì)具體客戶的解決方案和下一代硅基氮化鎵開發(fā)中所面臨的挑戰(zhàn)的咨詢服務(wù)。

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