為了更有效地協(xié)助我們的客戶，我們特別整理了一份高頻LDLS問題合集，旨在更全面、細(xì)致地解答大家所關(guān)心的疑問。希望通過這份精心準(zhǔn)備的內(nèi)容，能夠更好地滿足大家的需求，提升問題解決的效率。

1、LDLS光源的功率和亮度可以到多少?

LDLS針對(duì)高亮度方面進(jìn)行了優(yōu)化，LDLS光源的功率從一個(gè)百微米量級(jí)左右的等離子體發(fā)出，所以LDLS光源可以利用較小的輻射功率發(fā)出高亮度(spectral radiance - mwatts/nm/mm2/sr)的光。幾種LDLS光源輻射功率和亮度選擇如下：

2、EQ-99XFC可以輸出多強(qiáng)的光功率?

EQ-99X-FC的輸出光功率受光纖纖芯直徑、光纖纖芯材料、以及光纖包殼做工質(zhì)量的影響，建議采用我司的耐熱處理的標(biāo)準(zhǔn)光纖，其輸出光功率具體如下：

3、EQ-99XFC光譜輻射強(qiáng)度可以到什么范圍?

EQ-99X-FC的輸出光功率受光纖纖芯直徑、光纖纖芯材料、以及光纖包殼做工質(zhì)量的影響，長(zhǎng)度1m的標(biāo)準(zhǔn)光纖輸出光譜輻射強(qiáng)度如下圖所示。

4、什么是LDLS光源等離子體空間穩(wěn)定性?

LDLS光源等離子體空間位置由激發(fā)激光聚焦點(diǎn)精準(zhǔn)控制，LDLS產(chǎn)品等離子體位置在x，y，z三個(gè)方向上的分布偏差均小于0.5 μm。

5、LDLS光源壽命可以到多久?

EQ-99系列和EQ-77系列光源在標(biāo)準(zhǔn)建議工作狀態(tài)下壽命均在10000小時(shí)以上。另外，光源工作1000小時(shí)以后，燈泡的輸出功率只會(huì)衰減1%~2%。

6、什么時(shí)候使用LDLS光源需要充氮?dú)?，氮?dú)獾臍鈮盒枰嗌?

LDLS光源產(chǎn)生大量深紫外光，200 nm以下的深紫外光會(huì)使氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧，同時(shí)臭氧會(huì)吸收240 nm~270 nm的深紫外光。因此，如需使用170 nm~270 nm的深紫外光，光源在使用時(shí)需要充入純凈氮?dú)狻Ｍ瑫r(shí)，充入氮?dú)庖部梢苑乐篃襞荼豢諝庵杏袡C(jī)蒸汽污染。為了保證光學(xué)器件的潔凈，氮?dú)庑枰獫M足6級(jí)潔凈度。

7、能否提供LDLS光源的光學(xué)模型供光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)?

目前LDLS系列的部分型號(hào)針支持提供外部機(jī)械結(jié)構(gòu)與光學(xué)模型參數(shù)，如有需要請(qǐng)聯(lián)系濱松相關(guān)工程師。在設(shè)計(jì)初期請(qǐng)參考各光源輸出數(shù)值孔徑參數(shù)完成光路設(shè)計(jì)：EQ-9的數(shù)值孔徑為0.5。EQ-99X的數(shù)值孔徑為0.47，EQ-77的數(shù)值孔徑為0.5，EQ-400的數(shù)值孔徑為0.5。EQ-850的數(shù)值孔徑為0.58。EQ-99X-FC為光纖耦合輸出，其中SMA光纖的數(shù)值孔徑為0.22。

8、EQ-99X能否配置SMA光纖輸出接口?

可以配置SMA光纖輸出接口。但是目前，標(biāo)準(zhǔn)的SMA光纖接口穩(wěn)定性要比FC接口差很多，需要尋找高性能SMA光纖接口，所以使用SMA光纖輸出接口的EQ-99X比EQ-99XFC成本要高很多。

9、LDLS在使用時(shí)，除了充氮?dú)猓芊癯淦渌麣怏w?

不可以。只有潔凈、干燥的氮?dú)饽茉贚DLS光源中使用。

10、LDLS能否在使用的時(shí)候放進(jìn)真空的環(huán)境?

不可以。LDLS系統(tǒng)不能支持真空的使用環(huán)境，放進(jìn)真空環(huán)境可能會(huì)對(duì)光學(xué)結(jié)構(gòu)造成損害。

11、LDLS光源的預(yù)熱時(shí)間?

建議在進(jìn)行測(cè)量之前進(jìn)行大約30分鐘的預(yù)熱，以確保LDLS光源已經(jīng)達(dá)到熱平衡。具體應(yīng)用測(cè)量的實(shí)際預(yù)熱時(shí)間可能更長(zhǎng)或更短，這取決于要進(jìn)行測(cè)量的精度。

12、EQ-99X在開機(jī)時(shí)燈室的放置方向。

EQ-99X使用時(shí)燈室只能安裝在包含序列號(hào)的標(biāo)簽朝下的位置。

13、EQ-99 Manager的功能

EQ-99 Manager可以進(jìn)行光源開關(guān)的程序控制，光源運(yùn)行時(shí)間統(tǒng)計(jì)，外部快門控制。其中，EQ-99 Manager自帶快門，快門可以通過機(jī)械轉(zhuǎn)接件與EQ-99X連接，快門周期、曝光時(shí)間均可以通過程序設(shè)置。

14、LDLS上標(biāo)的15 W、10 W是指什么?

指的是電功率。

審核編輯 黃宇