在批量生產(chǎn)中實現(xiàn)超高精度，Coherent HyperRapid NXT 是一款綠光 USP 激光器，可進行大批量精密材料加工。新型 Coherent HyperRapid NXT 532-100 是一款工業(yè)超短脈沖 (USP) 激光器，可提供高功率 (100 W) 綠光輸出和始終如一的光束質(zhì)量組合。因此它能夠支持需要高吞吐量的要求嚴格的高精度材料加工應用。

高通量太陽能電池劃片

Coherent HyperRapid NXT 的一個主要用途是對由鈣鈦礦等薄膜材料或背電極交叉接觸太陽能電池板等創(chuàng)新技術制成的下一代太陽能電池進行劃線和開槽。該過程需要高功率、綠色、超短脈沖來提供必要的精度和所需的材料去除率(以及總體產(chǎn)量)。但這不僅僅關乎功率，還關乎制造商能否擴大生產(chǎn)規(guī)模，同時仍確保無可挑剔的質(zhì)量和成本效益。實現(xiàn)這一目標的一個關鍵因素是光束質(zhì)量。

光束質(zhì)量在該應用中起著如此關鍵的作用，是因為光學系統(tǒng)中經(jīng)常使用 衍射光學元件 (DOE)來轉(zhuǎn)換激光束。DOE 可以將輸入的激光束分成多束，從而可以同時處理太陽能電池上的幾個不同區(qū)域。這種并行處理極大地提高了吞吐量。其他工藝使用 DOE 將圓形高斯強度分布激光束轉(zhuǎn)換為強度均勻的方形光束，以優(yōu)化燒蝕工藝本身。

這里的挑戰(zhàn)是 DOE 需要非常圓形的輸入光束才能達到理想性能。此外，光束特性必須隨時間保持穩(wěn)定。如果它們不穩(wěn)定，則系統(tǒng)的光學對準將會發(fā)生改變，從而導致工藝不一致。

然而，很難從高功率綠色 USP 激光器獲得隨時間保持完全穩(wěn)定的高質(zhì)量光束。這是因為這些固體激光器使用非線性晶體將其紅外輸出轉(zhuǎn)換(頻率倍增)為綠光。但是高功率 USP 激光器的高脈沖能量可能會損壞或影響晶體，從而降低輸出光束質(zhì)量。

通過內(nèi)部生產(chǎn)我們自己的高質(zhì)量非線性晶體，相干公司能夠持續(xù)提供具有無與倫比穩(wěn)定性和壽命的綠色和紫外線高功率激光器。

相干公司制造了我們自己的非線性晶體，并且在為綠色和紫外線高功率激光器批量生產(chǎn)非線性晶體方面擁有豐富的經(jīng)驗。簡而言之，我們制造質(zhì)量更好的晶體，可以承受高功率綠色超短脈沖激光的極端操作環(huán)境，并且不會扭曲光束形狀。這是實現(xiàn) HyperRapid NXT 長期輸出穩(wěn)定性的關鍵因素。

面向高級應用的高級功能

這種新型激光器不僅僅具有高功率。而且涉及智能功率。通過穩(wěn)定的功率調(diào)制、按需脈沖和可變重復率，它旨在提供超精密加工任務所需的精細度和控制力。

相干公司長期以來一直通過多種產(chǎn)品支持超精密材料加工應用。這些包括 USP 激光器，例如 Coherent HyperRapid 和 Monaco、我們的多種準分子激光器，以及納秒脈沖寬度工業(yè)激光器，例如 AVIA LX 和 AVIA?NX。

Coherent HyperRapid NXT 532-100 是一款 100 W 綠色 USP 激光器，具有良好的性能和可靠性。

現(xiàn)在，我們正在幫助推動這些應用中的許多應用進入更大批量生產(chǎn)，同時又不犧牲這些激光器最初得到廣泛使用的優(yōu)勢，例如更平滑、更清潔的特色生產(chǎn)以及在去除材料的同時大限度減小熱影響區(qū)。特別是，Coherent HyperRapid NXT 532-100 有望提高薄膜太陽能電池圖案化、電池箔切割、硅晶片劃線等具有挑戰(zhàn)性的應用的生產(chǎn)效率。

審核編輯 黃宇