近期，小編接到一位來自半導(dǎo)體行業(yè)的咨詢，對方正在尋找一款適合晶圓焊點推力測試的推拉力測試機。在半導(dǎo)體制造中，晶圓焊點的可靠性是保障電子設(shè)備性能和使用壽命的核心要素。通過晶圓焊點推力測試，可以精準評估焊點的機械強度，并模擬其在實際使用中可能面臨的應(yīng)力情況，進而預(yù)測焊點在長期運行中的穩(wěn)定性和耐久性表現(xiàn)。

Beta S100推拉力測試機憑借其高精度、多功能性和出色的靈活性，已成為半導(dǎo)體行業(yè)進行焊點推力測試的首選設(shè)備。接下來，科準測控小編將為您詳細介紹晶圓焊點推力測試的具體方法和操作流程。

一、檢測原理

晶圓焊點推力測試是一種用于評估半導(dǎo)體晶圓焊點機械強度和可靠性的檢測方法。其檢測原理基于力學(xué)原理，通過模擬實際使用中焊點可能承受的應(yīng)力，測量焊點在受力過程中的表現(xiàn)。以下是晶圓焊點推力測試的檢測原理總結(jié)：

1. 力學(xué)原理

晶圓焊點推力測試的核心是通過施加一個逐漸增加的推力（或拉力）到焊點上，直到焊點發(fā)生破壞或達到預(yù)設(shè)的測試條件。測試過程中，設(shè)備會實時記錄施加的力值和焊點的位移變化。當(dāng)焊點被破壞時，設(shè)備捕捉到的最大力值即為焊點的極限強度。

2. 測試目標

評估焊點的機械強度：通過測量焊點在受力過程中的最大承受力，判斷焊點是否滿足設(shè)計和使用要求。

模擬實際使用中的應(yīng)力：測試過程中施加的力模擬了焊點在實際使用中可能遇到的機械應(yīng)力，如熱應(yīng)力、機械沖擊等。

預(yù)測焊點的可靠性：通過分析焊點在測試過程中的表現(xiàn)，預(yù)測其在長期運行中的穩(wěn)定性和耐久性。

二、常用檢測設(shè)備

1、Beta S100推拉力測試機

1、設(shè)備特點

Beta S100推拉力測試機專為微電子領(lǐng)域設(shè)計，具備以下顯著特點：

多功能性：支持多種測試模式，包括推力、拉力、剪切力等，適用于多種封裝形式。

高精度：采用24Bit超高分辨率數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，確保測試數(shù)據(jù)的高精度、高重復(fù)性和高再現(xiàn)性。

靈活性：用戶可以根據(jù)具體的測試需求更換相應(yīng)的測試模塊，系統(tǒng)會自動識別并調(diào)整到合適的量程。

安全性：每個測試工位都設(shè)有獨立的安全高度和限速，防止誤操作損壞測試針頭。

數(shù)據(jù)精準：配備高速力值采集系統(tǒng)，確保測試結(jié)果的精確性。

2、常用推刀

3、工裝夾具

4、實測案例展示

三、測試流程

步驟1. 設(shè)備與配件檢查

檢查Beta S100推拉力測試機及其所有配件是否完整且功能正常。

確認推刀、夾具等關(guān)鍵部件已完成校準，以確保測試結(jié)果的精確性。

步驟2. 模塊安裝與電源連接

將待測試的晶圓模塊正確安裝到測試機上。

連接電源并啟動設(shè)備，等待系統(tǒng)自檢和模塊初始化完成。

檢查所有指示燈和顯示屏是否正常工作，確保系統(tǒng)準備就緒。

步驟3. 推刀與夾具安裝

根據(jù)晶圓焊點的測試需求，選擇合適的推刀。

將推刀安裝到測試機的指定位置，并牢固鎖定。

使用夾具將晶圓精確地固定在測試平臺上，確保其位置正確。

步驟4. 測試參數(shù)設(shè)置

在測試機的軟件界面輸入必要的測試參數(shù)，包括測試方法、傳感器選擇、測試速度、目標力值、剪切高度和測試次數(shù)等。

設(shè)置完畢后，保存并應(yīng)用這些參數(shù)，確保測試按預(yù)定條件進行。

步驟5. 測試執(zhí)行

在顯微鏡輔助下確認晶圓焊點和推刀的相對位置正確。

啟動測試程序，監(jiān)控測試過程中的動態(tài)，確保一切按設(shè)定參數(shù)進行。

若發(fā)現(xiàn)任何異常，立即中止測試以防止進一步損壞。

步驟6. 結(jié)果觀察與分析

測試結(jié)束后，觀察晶圓焊點的損壞情況，并進行失效分析。

根據(jù)測試結(jié)果，對測試參數(shù)進行調(diào)整，并重新進行測試以驗證調(diào)整的效果。

步驟7、測試流程中的注意事項

逐漸加力：測試時必須逐漸加力，避免猛加力或加猛力，以防止對焊點造成不必要的損傷。

防靜電措施：測試人員必須佩戴防靜電手套和防靜電手環(huán)，以防止靜電對晶圓造成損害。

環(huán)境條件：測試應(yīng)在標準環(huán)境條件下進行，如環(huán)境溫度23±5℃，相對濕度50±10%。

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審核編輯 黃宇