實(shí)驗(yàn)名稱：正弦加三角波復(fù)合相位調(diào)制雙零差干涉儀位移測量相關(guān)實(shí)驗(yàn)

實(shí)驗(yàn)?zāi)康模悍€(wěn)定性實(shí)驗(yàn)中，測試雙零差干涉儀在測量鏡M2靜止時(shí)，進(jìn)行長時(shí)間的測量時(shí)，環(huán)境參數(shù)變化引起的兩路干涉信號(hào)相位差的漂移情況。

測試設(shè)備：電壓放大器、He?Ne激光器、測量鏡、干涉儀、信號(hào)發(fā)生器等。

圖1：雙零差干涉儀位移測量系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)裝置

實(shí)驗(yàn)過程：

雙零差干涉儀位移測量系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)裝置如圖1所示。調(diào)好光路后，測量鏡M2靜止不動(dòng)，EOM采用線性相位調(diào)制，調(diào)制信號(hào)由信號(hào)發(fā)生器產(chǎn)生，鋸齒波頻率設(shè)置為500Hz，幅值起初設(shè)置為7.5V左右，再通過微調(diào)幅值使得干涉信號(hào)是一個(gè)完整的余弦信號(hào)。一直測量PD1和PD2檢測到的干涉信號(hào)相位差，并長時(shí)間記錄相位差的變化情況。實(shí)驗(yàn)時(shí)要確保實(shí)驗(yàn)環(huán)境的穩(wěn)定，減少其他因素的干擾，因此實(shí)驗(yàn)在夜晚進(jìn)行，實(shí)驗(yàn)結(jié)果如圖2所示。

實(shí)驗(yàn)結(jié)果：

圖2：小時(shí)相位差穩(wěn)定性測試實(shí)驗(yàn)結(jié)果

從圖2中可以看出：在6個(gè)小時(shí)內(nèi)相位差變化約為80o，每分鐘約變化0.2o，對于位移測量實(shí)驗(yàn)，一般測量速度為毫米級(jí)每秒，實(shí)驗(yàn)全程能夠在幾分鐘內(nèi)完成。因此在環(huán)境較好的情況下，在一次位移測量過程中相位差漂移較小。

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審核編輯 黃宇