潔凈室用特殊光譜（黃光）論述-江蘇泊蘇系統(tǒng)集成有限公司

隨著現代社會生物及半導體等高新技術及實驗科技的大發(fā)展，國家“十三五”期間及“十四五”期間基因生物，生物制藥及半導體，精密電子等相關領域快速發(fā)展，對潔凈空間場所的需求越來越多，與此同時根據潔凈場所內工作內容和實驗，檢驗對像的不一樣產生了多種特殊照明需求，今天我就重點和大家來一起交流和探討在蝕刻和暴光等區(qū)域為什么需要采用特殊黃光照明？需要何種的黃光照明燈具？

一段時間以來我們在市場或銷售人員處反復聽到一個名詞，抗UV紫外線黃光燈，甚至我們在圖紙或技術資料看到電氣工程設計師在在選型設計時，一些燈具供應商在做產品指標特性及宣傳資料時亦用無紫外線黃光類來標識或描述產品，這讓我很是困惑。是對相關技術的不了解還是對宣稱的內容有各自的理解？做為業(yè)內的一名從業(yè)人員，我認為推動行業(yè)正確認知產品及技術參數指標選型，糾偏及準確定義和表述一個產品（包括產品名稱）是每一個從業(yè)者的責任和任務。

黃光照照明部分場所圖片

要回答上面的問題，我們需要知道那些場所才需要特定黃光光譜的光；？特定黃光譜對作用對象的化學及物理機理作用？人造特定黃光譜的特性等，了解了這些我們就可以準確的表述，設計和選擇合適的特殊光源及光譜類型，包括產品的結構及電氣控制方式等 首先我們來了解需要特定黃光譜的場所有那些，分別有那些具體或細微的要求。 一是曝光及顯影類場所為什么需要采用制制黃光照明？曝光就是通過光照射光阻，使其感光，是將涂布在Wafer表面的光阻感光的過程，同時將光罩上的圖形傳遞到Wafer上的過程；顯影就是將曝光完成后的圖形處理，類似于洗照片，是將曝光完成的Wafer進行成象的過程，通過這個過程，成象在光阻上的圖形被顯現出來。

二是光刻和蝕刻類車間為什么要采用特制黃光照明？因為光刻車間旋涂光刻膠的厚度與曝光的光源波長有關（不同級別的曝光波長對應不同的光刻膠種類和分辨率）：I-line最厚，約0.7～3μm；KrF的厚度約0.4～0.9μm；Arf的厚度約0.2～0.5μm。非敏感光源如（黃光照明）避免了光輻照后可能產生酸或產生交聯。照明光的光譜決定光刻膠涂膠厚度的關鍵參數：光刻膠的黏度（Viscosity），黏度越低，光刻膠的厚度越薄；旋轉速度，速度越快，厚度越薄。

綜上我們得到三個對于選擇黃光照明的技術維度重點。 1：黃光還是屬于照明光而裝飾光或者叫顏色光，所以正確是要采用黃光而非黃色光； 2：特制光譜是要與光刻膠化學反應不敏感光源（光譜），只要滿足了這點也是可以用在有以上特定照明要求的場所的，重點是要不產生強化學關系的非敏感光源，如不敏感光紅光，綠光也可以用在此類場所，對作業(yè)對象亦可達到要求。 3：無紫外線照明光源（光譜）。含有≤405nm紫外線或 ≤ 500nmr的藍紫可見光則屬敏感光源，這里重點為無紫外光譜的光源即可運用于黃光照明車間（如今的LED人造照明光源已基本不含有紫外光譜，藍光芯片激發(fā)的光400nmn以下光譜幾乎完全沒有）。

不同技術代照明光的光譜圖 基于以三點技術歸類，我們即可清楚的設計和選型所需特殊照明光譜，但此處有一個大家需要重視的誤區(qū)，首先我們需要對產品和稱呼定義，原來的熒光燈時代黃光燈表述為抗UV紫外線黃光燈這個稱呼或表述是不正確，環(huán)境空間內并沒有紫外光產生源何來的抗UV紫外一說？至少應表述為漏或無紫外線照明光這個稱呼，筆者認為最準確的稱呼應為“無敏感光譜黃光照明燈具”，因為紫外光也是敏感光譜，

同時不敏感光譜也并非只有黃光，如紅光，綠光也是屬不敏感光譜。其次在以LED固體照明為主流人造光照明時代，我們的人造可光譜中很少有紫外線，特別是強化學敏感的365nm光譜，同時新型的LED照明我們是可以通過對色粉的控制來實驗精準的光譜控制，所以現如今我們對特定場所用的不敏感黃光及其他特殊場景用照明應當以當下的技術和產品來重新定義和表述，把老舊落后或錯誤的技術和理念更正為最新的正確的產品名稱和技術方案等 。

為什么大家或主流都是選擇黃光而非紅光或綠光等其他不敏感光源來做照明呢？這主要是基于以下二個原因；一是人因照明的需要，我們視神經及光照顏色反射回饋習慣里人眼最能適應和接受在黃光下的視覺采納及作業(yè)；二是同時大多數的感光膠(光阻、光刻膠)的光敏感范圍皆在450nm以下，故原則上無塵室的光線波長只要在500nm以上就算是安全，不會造成提早感光及誤曝的情況，則紅光、黃光、綠光、藍光皆可以被采用於無塵室的照明，但因其下列原因光與環(huán)境，情緒的關系而選擇“黃光”作為該無塵室的主要照明。

?紅光無塵室，若長期待上8個小時，心情較會變得心浮氣躁。

?綠光無塵室，在綠光的投射下，見到無塵室內的同事，會變成"看到鬼"。

?藍光無塵室，因藍光波長太靠近紫外光，導致較長波長(436nm)敏感之光阻，可能造成誤曝光。

?黃光無塵室，是物理及人性方面最能被為接受的。

綜合以上原因，故一般都采用不敏感黃光照明 以此同時我們在搞清楚了黃光燈的機理及使用原則后，對產品我們也應該有其對應的定義，只要符合其不含紫外，不含敏感光譜（500nmn以內的光譜）的燈具就可以應用在需要不敏感光源照明的場所。在光譜滿足這一要求的情況下燈具的結構，材料及電氣并不需要特殊的規(guī)定或表述，以減少一些企業(yè)或人為對產品的復雜設計和宣傳，對整個行業(yè)的成本及發(fā)展是非常有益處的。特殊光譜及光品質照明環(huán)境中，基于光學與生物學，化學的的功能性要求是選型及檢驗產品是否合格及適用的最重要指標要求。