測量需求

檢查床CT滑軌運行的定位精度、重復精度、直線度，旋轉(zhuǎn)架的旋轉(zhuǎn)精度和旋轉(zhuǎn)定位精度。

激光干涉儀測量方案

SJ6000激光干涉儀搭配線性鏡組+角度鏡組+直線度鏡組+WR50自動精密轉(zhuǎn)臺。

1、測量優(yōu)勢

測長精度0.5ppm，分辨率 1nm，最長支持80m測長距離；支持360°任意角度測量，旋轉(zhuǎn)精度±1″；
配備溫度補償模塊，可實時采集現(xiàn)場環(huán)境溫濕度對激光波長和測量材料進行補償，使測量結(jié)果更準確；
測試結(jié)果可生成數(shù)據(jù)圖表和報告，并自動分析生成補償數(shù)據(jù)從而補償?shù)较到y(tǒng)，提高運行精度。

2、測試步驟

（1）安裝調(diào)試
把三腳架調(diào)整到合適高度，激光干涉儀放置在三腳架上，調(diào)整至與CT滑軌同高。線性反射鏡放置于滑軌上，隨測量軸一起移動，通過調(diào)整主機和線性鏡組，確保光路與檢測軸平行，此時光路搭建完成。

（2）數(shù)據(jù)采集
測量行程0-650mm，間隔25mm，往返1次，越程1mm，激光干涉儀暫停時間2S，設備運行暫停3S（注意設備暫停時間大于激光干涉儀設定時間1S）。設備和激光干涉儀設置程序一致即可開始運行測量。

（3）數(shù)據(jù)補償
測量結(jié)束后，軟件可通過算法自動生成補償數(shù)據(jù)。

補償前：定位精度81.173um,重復定位精度2.683um。檢測出的“實際位置數(shù)據(jù)”和“理論位置數(shù)據(jù)”存在顯著差異，未滿足出廠標準。

補償后：定位精度7.037um，重復定位精度1.328um，補償精度后大大提升了CT掃描儀的診斷準確性。