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在半導(dǎo)體與封裝行業(yè)中，相較于傳統(tǒng)的PCB，TGV（玻璃通孔）技術(shù)可有效降低信號(hào)延遲和功耗，非常適用于高性能封裝。

TGV是一種采用玻璃基板的高密度互連方法，TGV檢測(cè)主要分析的是基板中直徑僅幾十微米、厚度達(dá)數(shù)百微米的微小通孔。這一過(guò)程不僅需要高分辨率的成像技術(shù)，還需實(shí)現(xiàn)精確的深度控制。

為了滿(mǎn)足高日益精密的檢測(cè)需求，志強(qiáng)視覺(jué)聯(lián)合知名視覺(jué)品牌，推出一套高速自動(dòng)對(duì)焦（AF）系統(tǒng)與精密調(diào)控的光源，成為確保TGV檢測(cè)質(zhì)量與可靠性的重要保證。

一、TGV視覺(jué)檢測(cè)中需關(guān)注的重要因素

1、穩(wěn)定的工業(yè)相機(jī)和光源控制器成為可靠檢測(cè)的前提。

2、快速且高精度的AF系統(tǒng)對(duì)于實(shí)現(xiàn)可靠檢測(cè)尤為關(guān)鍵，不同層級(jí)的TGV孔形狀和尺寸可能有所不同，因此進(jìn)行分層精確對(duì)焦至關(guān)重要。

3、光源選擇也是比較重要，光源必須在準(zhǔn)直性和波長(zhǎng)特性方面進(jìn)行優(yōu)化，以確保圖像清晰度和檢測(cè)穩(wěn)定性。

二、光學(xué)三角測(cè)距自動(dòng)對(duì)焦（AF）在TGV中的適用性

光學(xué)三角測(cè)距方法則將激光模塊和傳感器分別置于鏡頭旁的斜角位置。激光以一定角度投射，傳感器從另一方向接收，形成三角測(cè)量幾何結(jié)構(gòu)。三角測(cè)距法在需要分層對(duì)焦或穩(wěn)定聚焦內(nèi)部孔結(jié)構(gòu)的應(yīng)用中更具優(yōu)勢(shì)。光學(xué)三角測(cè)距由于斜角投射，測(cè)量更加穩(wěn)定可靠。

-多層檢測(cè)

TGV結(jié)構(gòu)通常由多個(gè)垂直區(qū)域組成：頂部（Top）、中段（Waist，即中間區(qū)域）和底部（Bottom）。iCore基于光學(xué)三角測(cè)距的自動(dòng)對(duì)焦技術(shù)可以通過(guò)分析反射激光信號(hào)，檢測(cè)并區(qū)分這些層。用戶(hù)可以選擇對(duì)應(yīng)特定層的峰值，并自動(dòng)保持該位置的對(duì)焦。

中段（Waist）并非獨(dú)立的物理層，而是孔內(nèi)部幾何結(jié)構(gòu)的中間部分。由于該區(qū)域常缺乏明顯的激光反射峰值，檢測(cè)人員通常根據(jù)經(jīng)驗(yàn)，從頂部或底部表面應(yīng)用一個(gè)偏移值，以便視覺(jué)上定位并聚焦于中段區(qū)域。

這種靈活的架構(gòu)能夠同時(shí)應(yīng)對(duì)明確和模糊區(qū)域，結(jié)合偏移功能，使多層檢測(cè)特性成為在復(fù)雜環(huán)境中實(shí)現(xiàn)快速精準(zhǔn)檢測(cè)的強(qiáng)大解決方案。

- 實(shí)時(shí)偏移功能

在TGV檢測(cè)過(guò)程中，通常需要根據(jù)檢測(cè)目標(biāo)所在的層級(jí)調(diào)整對(duì)焦位置。如前所述，孔結(jié)構(gòu)的中段（Waist）不像頂部（Top）或底部（Bottom）那樣有清晰的界面，因此無(wú)法通過(guò)明顯的激光自動(dòng)對(duì)焦峰值直接檢測(cè)。系統(tǒng)必須依賴(lài)于從具有清晰激光峰值的參考面（如Top或Bottom）出發(fā)的相對(duì)距離來(lái)定位。

例如，檢測(cè)人員根據(jù)經(jīng)驗(yàn)知道Waist大約位于頂部表面下方300微米時(shí)，iCore基于三角測(cè)距的自動(dòng)對(duì)焦模塊允許用戶(hù)實(shí)時(shí)輸入偏移值-300微米。系統(tǒng)隨后沿Z軸根據(jù)當(dāng)前焦點(diǎn)位置立即調(diào)整焦點(diǎn)至目標(biāo)位置，無(wú)需重新搜索或重新對(duì)焦。

該功能顯著減少了反復(fù)校準(zhǔn)所浪費(fèi)的時(shí)間，提高了流程效率和檢測(cè)精度，尤其適用于需要反復(fù)檢測(cè)類(lèi)似結(jié)構(gòu)的連續(xù)生產(chǎn)線(xiàn)。

三、光源

在TGV檢測(cè)中，投影式背光通常能有效捕捉高對(duì)比度的孔輪廓。但在某些情況下，由于檢測(cè)設(shè)備結(jié)構(gòu)限制，安裝背光較為困難，或?qū)τ谔厥饨Y(jié)構(gòu)的樣品，同軸照明能更好地發(fā)現(xiàn)缺陷。有時(shí)，結(jié)合背光與同軸照明的檢測(cè)方法可在一次拍攝中同時(shí)獲得不同類(lèi)型的圖像。

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