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屹立芯創(chuàng)交付晶圓級(jí)真空貼壓膜系統(tǒng):國(guó)產(chǎn)高端裝備助力先進(jìn)封裝良率躍升

先進(jìn)封裝 ? 來(lái)源:先進(jìn)封裝 ? 作者:先進(jìn)封裝 ? 2025-08-05 10:50 ? 次閱讀
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南京屹立芯創(chuàng)半導(dǎo)體科技有限公司

值此八月啟新之際,國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體封裝裝備領(lǐng)域傳來(lái)捷報(bào)——屹立芯創(chuàng)自主研發(fā)的晶圓級(jí)真空貼壓膜系統(tǒng)正式交付行業(yè)標(biāo)桿客戶!這不僅標(biāo)志著公司在“為中國(guó)芯造屹立器”道路上邁出堅(jiān)實(shí)一步,更彰顯了國(guó)產(chǎn)高端封裝設(shè)備在核心工藝環(huán)節(jié)的突破性進(jìn)展。

直擊痛點(diǎn):破解先進(jìn)封裝“氣泡”困局

在追求更高集成度、更小線寬的先進(jìn)封裝領(lǐng)域(如Fan-Out, 2.5D/3D IC, Chiplet),晶圓級(jí)貼膜是前道關(guān)鍵工藝。傳統(tǒng)常壓貼膜極易引入微小氣泡,導(dǎo)致后續(xù)工藝(如曝光、蝕刻、電鍍)缺陷,嚴(yán)重制約產(chǎn)品良率與可靠性。屹立芯創(chuàng)深諳此道,憑借在先進(jìn)封裝除泡技術(shù)領(lǐng)域的深厚積淀,精準(zhǔn)對(duì)標(biāo)國(guó)際前沿,推出革命性的真空貼壓膜解決方案。


晶圓級(jí)真空貼壓膜系統(tǒng)

技術(shù)制勝:硬核實(shí)力鑄就高良率基石

屹立芯創(chuàng)晶圓級(jí)真空貼壓膜系統(tǒng),集多項(xiàng)核心專利與創(chuàng)新設(shè)計(jì)于一身,為高良率封裝提供堅(jiān)實(shí)保障:

1.專利真空貼壓膜技術(shù): 核心突破!在高潔凈真空環(huán)境下完成貼膜,從根源上杜絕氣泡產(chǎn)生,確保極佳的填覆率,為后續(xù)工藝掃清障礙。
2.專利軟墊氣囊式壓合: 采用創(chuàng)新彈性氣囊,結(jié)合震蕩式壓合技術(shù),實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓表面(尤其是高深寬比結(jié)構(gòu),業(yè)界領(lǐng)先達(dá)1:20)的均勻、無(wú)損傷壓力施加,完美適應(yīng)復(fù)雜形貌。
3.精密獨(dú)立控制: 熱、真空、壓力三大關(guān)鍵工藝參數(shù)獨(dú)立精準(zhǔn)調(diào)控,為不同材料(PI, ABF, Dry Film等)與復(fù)雜工藝提供高度靈活性和工藝窗口。
4.高效智能集成:
?內(nèi)建自動(dòng)化:集成自動(dòng)切割、卷對(duì)卷(R2R)供收膜、撕膜系統(tǒng),大幅提升效率,減少人工干預(yù)。
?快拆設(shè)計(jì):氣囊與壓膜平臺(tái)模塊化快拆,顯著提升維護(hù)效率與生產(chǎn)連續(xù)性(UPH)。
?智能架構(gòu):智能化機(jī)臺(tái)設(shè)計(jì),無(wú)縫對(duì)接工廠MES系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)數(shù)據(jù)可追溯與工藝優(yōu)化。
5.廣泛兼容性: 成熟支持8寸/12寸硅片量產(chǎn),上下腔體獨(dú)立加熱滿足多樣化工藝需求,適用多種先進(jìn)封裝材料和制程。

wKgZPGiRcSeAcJimAAhimtPWZAc628.png半導(dǎo)體先進(jìn)封裝制程工藝

客戶價(jià)值:效率、良率、國(guó)產(chǎn)化的三重奏

屹立芯創(chuàng)真空貼壓膜系統(tǒng),不僅是一項(xiàng)技術(shù)突破,更帶來(lái)可量化的生產(chǎn)效益:

?高良率保障: 真空無(wú)泡貼膜+均勻壓合,直接提升產(chǎn)品良率與長(zhǎng)期可靠性,降低質(zhì)量成本。
?智能化高效率: 高度自動(dòng)化設(shè)計(jì)減少人工,快拆維護(hù)提升設(shè)備利用率,內(nèi)部卷對(duì)卷及切割系統(tǒng)加速生產(chǎn)節(jié)拍。
?成熟穩(wěn)定可靠: 系統(tǒng)經(jīng)過嚴(yán)格驗(yàn)證,成熟度高,整合產(chǎn)線能力強(qiáng),保障連續(xù)穩(wěn)定生產(chǎn)。
?國(guó)產(chǎn)化力量崛起: 成熟的國(guó)產(chǎn)高端裝備,提供穩(wěn)定供應(yīng)鏈保障和本土化高效服務(wù)支持。

屹立芯創(chuàng):以“屹立器”鑄就“中國(guó)芯”

此次晶圓級(jí)真空貼壓膜系統(tǒng)的成功交付,是屹立芯創(chuàng)持續(xù)深耕先進(jìn)封裝核心技術(shù)、勇攀科技高峰的縮影。公司始終秉持“為中國(guó)芯造屹立器”的初心,致力于通過自主研發(fā)的高端智能裝備,解決產(chǎn)業(yè)核心痛點(diǎn),提升國(guó)產(chǎn)芯片制造的關(guān)鍵能力與競(jìng)爭(zhēng)力。

在先進(jìn)封裝技術(shù)飛速發(fā)展、國(guó)產(chǎn)替代浪潮澎湃的今天,屹立芯創(chuàng)以其創(chuàng)新的技術(shù)、可靠的設(shè)備和對(duì)高良率的不懈追求,正成為推動(dòng)中國(guó)半導(dǎo)體封裝產(chǎn)業(yè)向更高水平邁進(jìn)的重要力量。選擇屹立芯創(chuàng),即是選擇更高良率、更高效率、更可靠的國(guó)產(chǎn)化先進(jìn)封裝解決方案。

審核編輯 黃宇

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