襯底量測電流從最大值，變小至無或極小值

▲圖3

在周期性脈沖作用下可測得飽和泵電流Icpmax，飽和泵電流Icpmax的表達式如下：

Icpmax=qAGfDit

在上式中：f為脈沖頻率;AG為溝道有效面積，是溝道源漏區(qū)摻雜狀態(tài)的函數(shù)；q為電子電荷；Dit為溝道平均界面態(tài)密度。

其中前三項均為已知量，因此，通過測試電荷泵電流Icpmax就可以得到界面態(tài)密度Dit這個反應溝道微觀性質的參數(shù)。而界面態(tài)是氧化層和襯底體硅因為晶格失配或缺陷導致的非理想的結合狀態(tài)，對器件溝道載流子的運動有影響，限制載流子遷移率的提高，降低器件驅動電流的能力。

以下展示兩個電荷泵（Charge Pumping）測試應用在工藝開發(fā)和可靠性測試中應用的示例。

1用電荷泵測試對比柵極氧化層工藝的不同

2.用電荷泵測試表征PMOS器件在負偏壓不穩(wěn)定性NBTI加壓條件下的界面態(tài)退化

特別聲明，以上提供的測試服務均是季豐自有設備和能力進行的測試。具體機臺型號性能參數(shù)信息參見點擊文末相關鏈接的推文查看。

最后，再次歡迎新老客戶提問咨詢、下單測試。季豐電子愿竭誠為您服務，提供您所需的各種助力。

季豐電子

季豐電子成立于2008年，是一家聚焦半導體領域，深耕集成電路檢測相關的軟硬件研發(fā)及技術服務的賦能型平臺科技公司。公司業(yè)務分為四大板塊，分別為基礎實驗室、軟硬件開發(fā)、測試封裝和儀器設備，可為芯片設計、晶圓制造、封裝測試、材料裝備等半導體產(chǎn)業(yè)鏈和新能源領域公司提供一站式的檢測分析解決方案。

季豐電子通過國家級專精特新“小巨人”、國家高新技術企業(yè)、上海市“科技小巨人”、上海市企業(yè)技術中心、研發(fā)機構、公共服務平臺等企業(yè)資質認定，通過了ISO9001、 ISO/IEC17025、CMA、CNAS、IATF16949、ISO/IEC27001、ISO14001、ISO45001、ANSI/ESD S20.20等認證。公司員工超1000人，總部位于上海，在浙江、北京、深圳、成都等地設有子公司。