襯底量測(cè)電流從最大值，變小至無(wú)或極小值

▲圖3

在周期性脈沖作用下可測(cè)得飽和泵電流Icpmax，飽和泵電流Icpmax的表達(dá)式如下：

Icpmax=qAGfDit

在上式中：f為脈沖頻率;AG為溝道有效面積，是溝道源漏區(qū)摻雜狀態(tài)的函數(shù)；q為電子電荷；Dit為溝道平均界面態(tài)密度。

其中前三項(xiàng)均為已知量，因此，通過(guò)測(cè)試電荷泵電流Icpmax就可以得到界面態(tài)密度Dit這個(gè)反應(yīng)溝道微觀性質(zhì)的參數(shù)。而界面態(tài)是氧化層和襯底體硅因?yàn)榫Ц袷浠蛉毕輰?dǎo)致的非理想的結(jié)合狀態(tài)，對(duì)器件溝道載流子的運(yùn)動(dòng)有影響，限制載流子遷移率的提高，降低器件驅(qū)動(dòng)電流的能力。

以下展示兩個(gè)電荷泵（Charge Pumping）測(cè)試應(yīng)用在工藝開(kāi)發(fā)和可靠性測(cè)試中應(yīng)用的示例。

1用電荷泵測(cè)試對(duì)比柵極氧化層工藝的不同

2.用電荷泵測(cè)試表征PMOS器件在負(fù)偏壓不穩(wěn)定性NBTI加壓條件下的界面態(tài)退化

特別聲明，以上提供的測(cè)試服務(wù)均是季豐自有設(shè)備和能力進(jìn)行的測(cè)試。具體機(jī)臺(tái)型號(hào)性能參數(shù)信息參見(jiàn)點(diǎn)擊文末相關(guān)鏈接的推文查看。

最后，再次歡迎新老客戶提問(wèn)咨詢、下單測(cè)試。季豐電子愿竭誠(chéng)為您服務(wù)，提供您所需的各種助力。

季豐電子

季豐電子成立于2008年，是一家聚焦半導(dǎo)體領(lǐng)域，深耕集成電路檢測(cè)相關(guān)的軟硬件研發(fā)及技術(shù)服務(wù)的賦能型平臺(tái)科技公司。公司業(yè)務(wù)分為四大板塊，分別為基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)室、軟硬件開(kāi)發(fā)、測(cè)試封裝和儀器設(shè)備，可為芯片設(shè)計(jì)、晶圓制造、封裝測(cè)試、材料裝備等半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈和新能源領(lǐng)域公司提供一站式的檢測(cè)分析解決方案。

季豐電子通過(guò)國(guó)家級(jí)專精特新“小巨人”、國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)、上海市“科技小巨人”、上海市企業(yè)技術(shù)中心、研發(fā)機(jī)構(gòu)、公共服務(wù)平臺(tái)等企業(yè)資質(zhì)認(rèn)定，通過(guò)了ISO9001、 ISO/IEC17025、CMA、CNAS、IATF16949、ISO/IEC27001、ISO14001、ISO45001、ANSI/ESD S20.20等認(rèn)證。公司員工超1000人，總部位于上海，在浙江、北京、深圳、成都等地設(shè)有子公司。