EDS分析元素的基本原理
EDS對元素定性分析
高能電子束入射到樣品表面部分區(qū)域，這部分區(qū)域表層中的原子，其殼層（K、L層等）的電子被激發(fā)到較高能量的外殼層（L、M層等）或者原子外成為二次電子，該原子處于激發(fā)態(tài)（高能量），為使系統(tǒng)總能量最低，外層電子躍遷到有空位的內(nèi)殼層，多余的能量以特征X射線或俄歇電子的形式放出。每個元素的特征X射線能量不同，大小取決于原子中電子的能級躍遷過程中釋放出的特征能量△E。只要測得激發(fā)出的特征X射線能量，就可以確定對應(yīng)的元素種類，EDS就是根據(jù)這個原理對元素進行定性分析。
EDS元素定量分析
EDS元素定量分析一般采用的是無標樣定量，即采用EDS的標準數(shù)據(jù)庫進行定量分析，不需要在分析時測量標樣，用特定標樣對數(shù)據(jù)庫進行校正。
EDS譜圖形成原理
樣品被激發(fā)出的特征X射線通過EDS探測器的窗口后，照射到半導(dǎo)體（Si）探測器上，Si原子電離后產(chǎn)生電子-空穴對，數(shù)量和特征X射線能量E/Kev成正比，
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