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視覺(jué)定位引導(dǎo):芯片制造中的“精準(zhǔn)之眼”

志強(qiáng)視覺(jué)科技 ? 2025-08-14 13:53 ? 次閱讀
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工業(yè)自動(dòng)化領(lǐng)域,視覺(jué)定位引導(dǎo)技術(shù)正成為提升生產(chǎn)效率與產(chǎn)品質(zhì)量的核心驅(qū)動(dòng)力。通過(guò)將高精度機(jī)器視覺(jué)系統(tǒng)與工業(yè)機(jī)器人深度融合,該技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)微米級(jí)定位和復(fù)雜操作的自動(dòng)化執(zhí)行,廣泛應(yīng)用于物料分揀、機(jī)器人搬運(yùn)、引導(dǎo)加工等場(chǎng)景。

本案例將聚焦其在芯片制造中的典型落地案例——劈刀修磨,探討視覺(jué)定位引導(dǎo)如何賦能高精度加工。

一、視覺(jué)定位引導(dǎo)的核心優(yōu)勢(shì)

視覺(jué)定位引導(dǎo)的本質(zhì),是通過(guò)工業(yè)相機(jī)與視覺(jué)算法獲取物體的精準(zhǔn)位置、姿態(tài)及尺寸信息,并將其實(shí)時(shí)傳輸給機(jī)器人控制系統(tǒng),從而驅(qū)動(dòng)高精度作業(yè)。其核心優(yōu)勢(shì)包括:

  1. 微米級(jí)高精度定位

結(jié)合高分辨率工業(yè)相機(jī)、亞像素定位算法與精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái),可穩(wěn)定實(shí)現(xiàn)1μm(0.001mm)級(jí)檢測(cè)與定位精度。

  1. 適應(yīng)性強(qiáng)

可處理不同形狀、尺寸及材質(zhì)的工件,適應(yīng)復(fù)雜多變的生產(chǎn)環(huán)境。

  1. 效率與成本雙提升

減少人工干預(yù)與經(jīng)驗(yàn)依賴,縮短作業(yè)周期,降低人力與返工成本。

閉環(huán)質(zhì)量控制:實(shí)時(shí)檢測(cè)與誤差補(bǔ)償,確保生產(chǎn)過(guò)程持續(xù)穩(wěn)定在目標(biāo)精度內(nèi)。

二、典型應(yīng)用場(chǎng)景

1. 物料分揀

通過(guò)3D視覺(jué)系統(tǒng)識(shí)別傳送帶上不同類型的物料,并驅(qū)動(dòng)機(jī)器人以最優(yōu)路徑抓取與分揀,顯著提升物流與制造業(yè)分揀效率,降低誤差率。

2. 機(jī)器人搬運(yùn)

視覺(jué)引導(dǎo)系統(tǒng)可實(shí)時(shí)獲取物體位置與姿態(tài),動(dòng)態(tài)調(diào)整抓取姿勢(shì)與放置精度,確保在高速搬運(yùn)中保持穩(wěn)定性與準(zhǔn)確性。

3. 精密加工引導(dǎo)

機(jī)械加工領(lǐng)域,視覺(jué)定位引導(dǎo)可輔助機(jī)器人進(jìn)行亞毫米甚至微米級(jí)的精密加工。例如芯片制造中的劈刀修磨,通過(guò)多點(diǎn)標(biāo)定與自動(dòng)路徑規(guī)劃,實(shí)現(xiàn)高精度研磨。

4. 3D視覺(jué)引導(dǎo)

在焊接、噴涂、點(diǎn)膠等工藝中,3D視覺(jué)技術(shù)可采集物體三維信息并指導(dǎo)機(jī)器人精準(zhǔn)執(zhí)行復(fù)雜軌跡。

三、視覺(jué)定位引導(dǎo)在劈刀修磨中的應(yīng)用

芯片封裝過(guò)程中,劈刀是用于將金線、銅線等鍵合到芯片焊盤上的關(guān)鍵工具,其同軸度直接影響芯片的切割質(zhì)量與封裝可靠性。傳統(tǒng)加工方式在精度與效率上均存在不足,如精度依賴人工經(jīng)驗(yàn)、效率低、批次一致性差等。

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基于視覺(jué)定位引導(dǎo)與九點(diǎn)標(biāo)定技術(shù),我司開發(fā)了一套基于機(jī)器視覺(jué)引導(dǎo)的機(jī)器人修磨系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)了以下突破:

  1. 亞微米級(jí)對(duì)位與檢測(cè)

在恒溫、防震的生產(chǎn)環(huán)境下,系統(tǒng)利用機(jī)器視覺(jué)快速、精準(zhǔn)地定位劈刀,可以實(shí)現(xiàn)1μm級(jí)刀片位置與姿態(tài)檢測(cè)精度。

  • 通過(guò)邊緣檢測(cè)與深度學(xué)習(xí)算法,自動(dòng)識(shí)別刀刃磨損區(qū)域,生成最優(yōu)修磨路徑。

2. 九點(diǎn)標(biāo)定提升同軸度

采用九點(diǎn)標(biāo)定技術(shù),對(duì)劈刀九個(gè)關(guān)鍵點(diǎn)進(jìn)行標(biāo)定,使修磨后的同軸度公差從±0.005mm提升至±0.003mm以內(nèi),使一次加工良率提升至接近100%。

  • 這一改進(jìn)使切割應(yīng)力降低,芯片切割邊緣裂紋率顯著下降。

3. 批量良率與效率雙提升

批量加工一次合格率穩(wěn)定接近100%,廢品與返工率幾乎為零。

  • 單件修磨時(shí)間由5分鐘縮短至3分鐘,效率提升40%。
  1. 成本優(yōu)化

減少對(duì)專業(yè)人員依賴,人力成本降低約35%。

  • 設(shè)備利用率和產(chǎn)能提升,進(jìn)一步降低單位成本。

四、技術(shù)優(yōu)勢(shì)與產(chǎn)業(yè)背書

  • 超高精度微米級(jí)定位:+0.003mm級(jí)加工精度,完全滿足半導(dǎo)體制造要求。
  • 軍工級(jí)穩(wěn)定運(yùn)行:機(jī)器視覺(jué)核心部件結(jié)合成熟的視覺(jué)算法和運(yùn)動(dòng)控制軟件,可在復(fù)雜環(huán)境下實(shí)現(xiàn)24小時(shí)不間斷穩(wěn)定運(yùn)行。
  • 易用性強(qiáng):軟件設(shè)計(jì)人性化,人機(jī)界面直觀,普通操作員可在短期培訓(xùn)后獨(dú)立作業(yè)。
  • 成功率高:精準(zhǔn)的視覺(jué)引導(dǎo)、實(shí)時(shí)誤差補(bǔ)償與閉環(huán)質(zhì)量控制確保加工一次成功率接近100%,極大減少?gòu)U品與返工。
  • 產(chǎn)業(yè)驗(yàn)證:該系統(tǒng)搭載的軟件已在蘋果供應(yīng)鏈的核心制程中穩(wěn)定運(yùn)行超十年,經(jīng)過(guò)千萬(wàn)次批量生產(chǎn)驗(yàn)證,具備極高的可靠性與可復(fù)制性。

五、總結(jié)

視覺(jué)定位引導(dǎo)技術(shù)在劈刀修磨中的應(yīng)用,不僅提升了加工精度與生產(chǎn)效率,還通過(guò)智能化、標(biāo)準(zhǔn)化手段減少了對(duì)人工經(jīng)驗(yàn)的依賴,為半導(dǎo)體制造企業(yè)帶來(lái)了顯著的成本優(yōu)勢(shì)與質(zhì)量保障。隨著工業(yè)相機(jī)分辨率、視覺(jué)算法與運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)的持續(xù)發(fā)展,這一技術(shù)將在更多高精密制造領(lǐng)域落地,包括晶圓檢測(cè)、微電子封裝、精密光學(xué)加工等,為工業(yè)自動(dòng)化向更高精度、更高效率邁進(jìn)提供有力支撐。

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