RC銑孔作業(yè)區(qū)域潔凈等級(jí)達(dá)標(biāo)判斷方法-江蘇泊蘇系統(tǒng)集成有限公司

在半導(dǎo)體防震基座安裝的銑孔作業(yè)中，潔凈等級(jí)直接影響后續(xù)設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定性，需通過(guò)科學(xué)檢測(cè)確保符合 Class 1000 及以上標(biāo)準(zhǔn)（≥0.5μm 粒子濃度≤1000 個(gè) /ft3），具體判斷方法如下：

一、粒子濃度檢測(cè)（核心指標(biāo)）

1. 檢測(cè)工具與校準(zhǔn)

采用激光粒子計(jì)數(shù)器（需經(jīng)計(jì)量部門校準(zhǔn)，精度達(dá) 0.1μm），檢測(cè)前用異丙醇清潔計(jì)數(shù)器采樣口，避免自身污染。開機(jī)預(yù)熱 30 分鐘，確保設(shè)備處于穩(wěn)定工作狀態(tài)，采樣流量設(shè)置為 1cfm（立方英尺 / 分鐘）。

1. 采樣點(diǎn)布置

在銑孔作業(yè)區(qū)（以孔位為中心，半徑 5 米范圍）均勻布置 5 個(gè)采樣點(diǎn)：孔位正上方 1 米處、東 / 南 / 西 / 北方向各距孔位 2 米處。每個(gè)點(diǎn)連續(xù)采樣 3 次，每次采樣時(shí)間 1 分鐘，記錄≥0.5μm 和≥5μm 粒子濃度數(shù)據(jù)。

1. 達(dá)標(biāo)判定標(biāo)準(zhǔn)

1. 所有采樣點(diǎn)的≥0.5μm 粒子濃度單次測(cè)量值均≤1000 個(gè) /ft3，且 5 點(diǎn)平均值≤800 個(gè) /ft3；

1. ≥5μm 粒子濃度單次測(cè)量值≤10 個(gè) /ft3，平均值≤5 個(gè) /ft3；

1. 若任一采樣點(diǎn)超標(biāo)，需重新清潔作業(yè)區(qū)后間隔 30 分鐘再次檢測(cè)，連續(xù) 2 次達(dá)標(biāo)方可判定合格。

二、表面潔凈度檢測(cè)

1. 可視化檢查

用照度≥1000lux 的強(qiáng)光手電照射銑孔區(qū)域地面、設(shè)備表面及孔壁，在黑色背景下觀察是否有可見粉塵（粒徑≥50μm）。重點(diǎn)檢查孔口邊緣、吸塵罩內(nèi)側(cè)等易積塵部位，不允許有肉眼可見雜質(zhì)。

1. 擦拭檢測(cè)

用 Class 100 級(jí)無(wú)塵布（尺寸 10cm×10cm）蘸取超純水（電阻≥18.2MΩ），在 100cm2 面積內(nèi)以 500g 壓力往返擦拭 3 次，將布片放入 10ml 超純水中超聲清洗（40kHz，5 分鐘）。通過(guò)離子色譜儀檢測(cè)清洗液中金屬離子濃度（Na?、K?、Cl?等總含量≤0.1ppm），且顯微鏡下觀察布片無(wú)≥1μm 顆粒物。

三、環(huán)境參數(shù)協(xié)同驗(yàn)證

1. 溫濕度關(guān)聯(lián)檢測(cè)

用溫濕度記錄儀（精度 ±0.5℃、±2% RH）實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，確保作業(yè)區(qū)溫度穩(wěn)定在 22±2℃、相對(duì)濕度 45%±5%。若溫濕度超出范圍，需暫停檢測(cè)，待環(huán)境恢復(fù)后 30 分鐘重新采樣，避免因氣流紊亂導(dǎo)致粒子濃度波動(dòng)。

1. 氣流速度與均勻性

采用熱球式風(fēng)速儀在 HEPA 出風(fēng)口下方 30cm 處檢測(cè)，風(fēng)速需保持在 0.45±0.05m/s，且同一截面各點(diǎn)風(fēng)速偏差≤10%。若氣流不均勻，可能導(dǎo)致局部粒子積聚，需調(diào)整 FFU 風(fēng)機(jī)運(yùn)行參數(shù)后重新檢測(cè)。

四、動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)與記錄

1. 檢測(cè)時(shí)機(jī)

需在以下節(jié)點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè)：

1. 作業(yè)前 30 分鐘（基礎(chǔ)潔凈度確認(rèn)）；

1. 銑孔完成后立即檢測(cè)（評(píng)估作業(yè)過(guò)程污染情況）；

1. 清潔處理后 30 分鐘（驗(yàn)證清潔效果）；

1. 防震基座安裝前 10 分鐘（最終確認(rèn)）。

1. 數(shù)據(jù)追溯

所有檢測(cè)數(shù)據(jù)需記錄在《潔凈度檢測(cè)記錄表》中，包括檢測(cè)時(shí)間、采樣點(diǎn)位置、粒子濃度值、溫濕度、操作人員等信息，附粒子計(jì)數(shù)器打印報(bào)告，存檔至少 3 年。若后續(xù)發(fā)現(xiàn)設(shè)備異常，可通過(guò)記錄追溯潔凈度關(guān)聯(lián)問(wèn)題。

通過(guò)以上方法，可全面判定銑孔作業(yè)區(qū)潔凈等級(jí)是否達(dá)標(biāo)。實(shí)際操作中，需注意檢測(cè)人員需穿戴全套 Class 100 級(jí)無(wú)塵服，避免檢測(cè)過(guò)程引入新污染，確保數(shù)據(jù)真實(shí)可靠。