標準清洗液sc1成分是什么
標準清洗液SC-1是半導體制造中常用的濕法清洗試劑，其核心成分包括以下三種化學物質(zhì)：
氨水（NH?OH）：作為堿性溶液提供氫氧根離子（OH?），使清洗液呈弱堿性環(huán)境。它能夠輕微腐蝕硅片表面的氧化層，并通過電化學作用使顆粒與基底脫離；同時增強對有機物的溶解能力124。
過氧化氫（H?O?）：一種強氧化劑，可將碳化硅表面的顆粒和有機物氧化為水溶性化合物，便于后續(xù)沖洗去除。該成分還能在硅片表面形成臨時氧化膜，輔助剝離污染物并減少損傷風險15。
去離子水（DI Water）：充當溶劑載體，負責稀釋氨水和雙氧水的濃度，控制反應(yīng)速率以避免過度腐蝕。高純度的去離子水確保不會引入新的雜質(zhì)污染晶圓表面24。
這些成分按特定比例混合后協(xié)同作用，通過氧化、腐蝕與靜電排斥機制實現(xiàn)高效去污。例如，典型的體積配比為去離子水:H?O?(30%):NH?OH(29w/w%)=5:1:1，但實際工藝中會根據(jù)清洗對象和設(shè)備條件動態(tài)調(diào)整參數(shù)。SC-1溶液廣泛應(yīng)用于RCA清洗流程的第一步，主要用于去除顆粒、有機物及部分金屬雜質(zhì)，為后續(xù)精密加工提供潔凈基底。
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