選擇加速度計時，我們需要注意哪些規(guī)格？

雖然目前沒有任何官方標準可用于振動傳感器的分類，但可以通過這些傳感器的有效分辨率劃分其類別，如圖8所示。很明顯，MEMS加速度計的覆蓋區(qū)域比壓電傳感器更小。MEMS加速度計適用于許多特定應(yīng)用領(lǐng)域，例如安全氣囊碰撞檢測、車輛傾翻檢測、機械臂定位、平臺穩(wěn)定、精確傾斜檢測等等。MEMS制造商在幾年前才開發(fā)出足以與IEPE振動傳感器抗衡的傳感器，因此該技術(shù)仍處于起步階段，有線狀態(tài)監(jiān)測(CbM)裝置的覆蓋范圍較小，如圖8左側(cè)所示。然而，隨著越來越多的MEMS供應(yīng)商投資開發(fā)狀態(tài)監(jiān)測振動傳感器解決方案，預(yù)計未來幾年覆蓋范圍會有所擴增。

MEMS傳感器的很多優(yōu)勢逐漸在振動傳感器領(lǐng)域產(chǎn)生重大影響。例如，市場上絕大多數(shù)MEMS傳感器都具有以下特點：三軸、集成ADC、數(shù)字濾波、出色的線性度、低成本和低重量，并且尺寸小于壓電傳感器或IEPE/ICP傳感器，如表5所示。雖然對于非常關(guān)鍵的設(shè)備仍會繼續(xù)使用IEPE傳感器，但維護和設(shè)施管理人員也在尋求從非關(guān)鍵設(shè)備中獲取更深入的見解，以提高生產(chǎn)力、效率和可持續(xù)性，盡可能地減少計劃外停機時間并延長設(shè)備的使用壽命。在這種情況下，將會使用成本和性能較低的傳感器（無論是MEMS還是IEPE），這就產(chǎn)生了一個問題：具有出色的噪聲和帶寬性能的單軸IEPE傳感器與三軸MEMS傳感器相比，前者是否始終是更好的選擇？

三軸MEMS傳感器與IEPE振動傳感器相比如何？

測試人員對三軸MEMS加速度計以絕對可信度識別特定故障的效果進行了大量測試，通常性能更高的單軸或雙軸IEPE振動傳感器無法檢測到這些特定故障，測試結(jié)果如表6所示。除非在安裝前采取某些措施了解特定異常，否則單軸振動傳感器無法絕對肯定地檢測到軸彎曲、偏心轉(zhuǎn)子、軸承問題和轉(zhuǎn)子翹起等故障。當只有單軸振動傳感器可用時，可能需要使用其他CbM傳感器（例如電機電流或磁場傳感器）來更可靠地識別某些故障。

在具有出色噪聲和帶寬性能的單軸傳感器與三軸傳感之間需要權(quán)衡取舍，這些額外的軸可以緩解安裝位置的難題，因為可以全面檢測到垂直、水平和軸向振動，并提供設(shè)備運作情況的深入洞察。根據(jù)表6中所示的結(jié)果，雖然單軸傳感器與三軸MEMS傳感器相比具有更出色的噪聲和帶寬性能，但如果不重定向和重新測試，也無法可靠地識別大多數(shù)故障。

市場上還有哪些其它振動傳感器產(chǎn)品？它們的比較情況如何？

那么，三軸MEMS傳感器如何適應(yīng)振動傳感器的頻譜呢？圖9顯示了目前市場上的MEMS振動傳感器（基于噪聲與帶寬）概況。其中標出IEPE傳感器以供參考，并且突出顯示MEMS傳感器在振動傳感器頻譜中的確切位置。很明顯，不同類型的MEMS傳感器自然會形成集群，我們可以利用其來分配潛在的用例。例如，將成本最低的傳感器（MEMS三軸）用于關(guān)鍵度較低的設(shè)備，而將成本最高的傳感器(IEPE)用于關(guān)鍵度最高的設(shè)備。單軸IEPE傳感器已投入使用了幾十年，涵蓋從低到高的所有關(guān)鍵應(yīng)用，并且在成本和性能方面都廣為大眾接受，如圖9所示。很容易看出，三軸IEPE傳感器具有與三軸MEMS傳感器相似的性能，但其成本卻高得多。對于低關(guān)鍵度設(shè)備集群，使用成本高昂的三軸IEPE傳感器不太可行，而這進一步體現(xiàn)了一點：三軸MEMS傳感器在噪聲和帶寬性能方面可與某些三軸IEPE傳感器媲美。本文截取自：可部署型10BASE-T1L單對以太網(wǎng)狀態(tài)監(jiān)測振動傳感器設(shè)計