一、引言

機(jī)器學(xué)習(xí)（ML）在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的應(yīng)用，正面臨傳統(tǒng)算法難以突破的核心瓶頸。盡管行業(yè)能產(chǎn)生海量生產(chǎn)數(shù)據(jù)，但兩大關(guān)鍵問題始終未能有效解決：一是極端類別不平衡，二是初始生產(chǎn)階段訓(xùn)練數(shù)據(jù)集匱乏。這兩個(gè)問題在半導(dǎo)體測(cè)試環(huán)節(jié)尤為突出 —— 該環(huán)節(jié)芯片故障率常低于 0.5%，且新產(chǎn)品需在歷史數(shù)據(jù)極少的情況下，實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)質(zhì)量預(yù)測(cè)。

這一問題的影響極為深遠(yuǎn)：若有缺陷的芯片（die）在早期晶圓分選測(cè)試中未被檢出，會(huì)流入后續(xù)高成本加工流程（封裝、最終測(cè)試），最終仍會(huì)失效，不僅造成巨額成本損失，還會(huì)導(dǎo)致工期延誤，而更高效的早期檢測(cè)算法本可完全規(guī)避此類問題；反之，若合格芯片在晶圓分選階段被誤判為不合格，也會(huì)直接造成成本浪費(fèi)與產(chǎn)能損耗。

近期研究表明，專用機(jī)器學(xué)習(xí)方法已能突破上述限制 ——即便訓(xùn)練數(shù)據(jù)嚴(yán)重不足，仍能實(shí)現(xiàn)顯著的性能提升。其核心在于兩點(diǎn)：一是選擇專為制造場(chǎng)景設(shè)計(jì)的算法，二是采用貼合實(shí)際部署場(chǎng)景的評(píng)估方法。

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二、類別不平衡挑戰(zhàn)深度解析

（一）制造數(shù)據(jù)不平衡的極端性

在工業(yè)領(lǐng)域，半導(dǎo)體制造是類別不平衡問題最嚴(yán)峻的場(chǎng)景之一。高良率生產(chǎn)環(huán)境下，芯片故障率通常低于 1%，部分產(chǎn)品甚至低至 0.5%；若通過軟分箱（soft bin）分類法分析特定失效模式，不平衡問題會(huì)進(jìn)一步加劇 —— 部分失效類型在初始數(shù)據(jù)集中完全沒有樣本記錄。

這種極端的數(shù)據(jù)偏差會(huì)直接導(dǎo)致傳統(tǒng)機(jī)器學(xué)習(xí)算法 “失效”：傳統(tǒng)模型以 “整體準(zhǔn)確率” 為核心優(yōu)化目標(biāo)，若分類器對(duì)所有樣本一概預(yù)測(cè) “合格”，雖能實(shí)現(xiàn) 99% 以上的準(zhǔn)確率，但二類錯(cuò)誤（Type II Error，俗稱 “漏檢缺陷”）率會(huì)飆升至 100%，這類模型對(duì)實(shí)際缺陷識(shí)別毫無實(shí)用價(jià)值。

（二）制造時(shí)序的制約

半導(dǎo)體數(shù)據(jù)收集的 “時(shí)序性”，進(jìn)一步放大了類別不平衡問題。生產(chǎn)數(shù)據(jù)需數(shù)月時(shí)間才能逐步積累（積累速度取決于生產(chǎn)爬坡率與實(shí)際產(chǎn)量），而在初始生產(chǎn)階段，制造商亟需預(yù)測(cè)模型支撐質(zhì)量決策，但此時(shí)往往缺乏足夠的歷史數(shù)據(jù)，根本無法訓(xùn)練傳統(tǒng)機(jī)器學(xué)習(xí)系統(tǒng)。

這便形成了典型的 “雞生蛋” 困境：制造商需要預(yù)測(cè)模型優(yōu)化早期生產(chǎn)流程，而傳統(tǒng)機(jī)器學(xué)習(xí)方法又依賴大規(guī)模均衡數(shù)據(jù)集 —— 但這類數(shù)據(jù)集在早期關(guān)鍵階段完全不存在。

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三、制造場(chǎng)景專用算法方案

（一）算法選擇標(biāo)準(zhǔn)

研究團(tuán)隊(duì)針對(duì) 59 個(gè)生產(chǎn)批次（每批次含 25 片晶圓，單顆芯片的測(cè)試參數(shù)約 17500 項(xiàng)），開展了系統(tǒng)評(píng)估，最終鎖定 3 類算法方案。選擇核心聚焦兩點(diǎn)：一是能有效處理類別不平衡問題，二是具備適配制造環(huán)境的計(jì)算效率。

評(píng)估框架采用雙重方法設(shè)計(jì)：一是 “時(shí)間驗(yàn)證法”（模擬真實(shí)生產(chǎn)場(chǎng)景下的模型重訓(xùn)過程，貼合實(shí)際運(yùn)維需求），二是傳統(tǒng)的 5 折交叉驗(yàn)證（用于客觀評(píng)估模型基準(zhǔn)性能）。這種雙重評(píng)估模式既確保了算法的落地實(shí)用性，又保障了評(píng)估方法的科學(xué)嚴(yán)謹(jǐn)性。

（二）現(xiàn)有基準(zhǔn)分類器特性

作為基準(zhǔn)的現(xiàn)有分類器（Incumbent Classifier），通過集成提升（boosting）技術(shù)，能夠高效應(yīng)對(duì)大規(guī)模數(shù)據(jù)集、數(shù)據(jù)缺失值與異常值問題。該方法能有效降低模型偏差，并支持增量學(xué)習(xí) —— 這一特性對(duì)數(shù)據(jù)持續(xù)積累的制造環(huán)境至關(guān)重要（畢竟生產(chǎn)數(shù)據(jù)是實(shí)時(shí)新增的）。

但 boosting 算法也存在明顯短板：在小數(shù)據(jù)集上極易出現(xiàn)過擬合現(xiàn)象，且訓(xùn)練過程需消耗大量計(jì)算資源，對(duì)制造場(chǎng)景的硬件配置有一定要求。

其核心性能指標(biāo)如下：

具備分布式計(jì)算能力，可隨生產(chǎn)規(guī)模擴(kuò)展

支持增量學(xué)習(xí)，能實(shí)時(shí)整合新增生產(chǎn)數(shù)據(jù)

對(duì)數(shù)據(jù)缺失值和異常值的處理能力較強(qiáng)

訓(xùn)練階段的計(jì)算成本相對(duì)較高

（三）基于采樣的高級(jí)分類器（Classifier-A）

專用算法（分類器 A，Classifier-A）在核心架構(gòu)中，創(chuàng)新性整合了對(duì)多數(shù)類（合格芯片樣本）的隨機(jī)下采樣策略與少數(shù)類（缺陷芯片樣本）的過采樣策略。該設(shè)計(jì)專門針對(duì)半導(dǎo)體測(cè)試數(shù)據(jù)的極端類別不平衡問題，同時(shí)還能保持對(duì)數(shù)據(jù)異常值的魯棒性，無需額外增加數(shù)據(jù)預(yù)處理步驟。

其核心性能優(yōu)勢(shì)具體體現(xiàn)在：

通過自動(dòng)化采樣實(shí)現(xiàn)訓(xùn)練數(shù)據(jù)內(nèi)部平衡，全程無需人工干預(yù)，降低運(yùn)維成本

借助隨機(jī)特征選擇降低模型方差，減少 “個(gè)別異常數(shù)據(jù)影響整體預(yù)測(cè)” 的情況

內(nèi)置正則化機(jī)制，增強(qiáng)對(duì)數(shù)據(jù)異常值的抗干擾能力，適配制造場(chǎng)景的復(fù)雜數(shù)據(jù)環(huán)境

大幅減少人工超參數(shù)調(diào)優(yōu)工作量，從 “反復(fù)試錯(cuò)” 變?yōu)?“開箱即用”，加速部署節(jié)奏

該算法通過集成技術(shù)聚焦方差優(yōu)化，能顯著提升模型整體準(zhǔn)確率，尤其適配制造早期階段的小數(shù)據(jù)集場(chǎng)景 —— 正好解決了 “初始生產(chǎn)沒數(shù)據(jù)” 的痛點(diǎn)。

（四）傳統(tǒng)局部信息分類器（Classifier-B）

傳統(tǒng)機(jī)器學(xué)習(xí)方法（分類器 B，Classifier-B）依賴數(shù)據(jù)點(diǎn)周圍的局部信息做預(yù)測(cè)決策。盡管這類方法訓(xùn)練速度快，且支持增量學(xué)習(xí)，但存在兩大致命局限：一是處理高維測(cè)試數(shù)據(jù)時(shí)性能明顯下滑（半導(dǎo)體測(cè)試參數(shù)多達(dá)上萬項(xiàng)，正好命中短板），二是對(duì)數(shù)據(jù)噪聲和異常值高度敏感—— 這些缺陷在制造環(huán)境中會(huì)直接導(dǎo)致測(cè)試準(zhǔn)確率大幅下降，難以落地實(shí)用。

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四、性能分析與實(shí)驗(yàn)結(jié)果

（一）AUC-ROC 性能對(duì)比

在模擬小數(shù)據(jù)集的時(shí)序驗(yàn)證場(chǎng)景下（還原初始生產(chǎn)階段的數(shù)據(jù)狀態(tài)），基于采樣的專用分類器（Classifier-A）表現(xiàn)始終最優(yōu)：當(dāng)使用前 10 個(gè)批次的數(shù)據(jù)訓(xùn)練時(shí)，其中位 AUC-ROC 得分比現(xiàn)有基準(zhǔn)分類器高約 2 個(gè)百分點(diǎn)，缺陷識(shí)別能力顯著更強(qiáng)。

前 10 批次中位 AUC 值均值對(duì)比表（數(shù)據(jù)來源：研究實(shí)驗(yàn)）

更關(guān)鍵的是，在訓(xùn)練初期（數(shù)據(jù)量最少的時(shí)候），專用算法的性能優(yōu)勢(shì)更為顯著 —— 正好匹配 “初始生產(chǎn)階段最缺數(shù)據(jù)、最需要精準(zhǔn)模型” 的場(chǎng)景。隨著訓(xùn)練數(shù)據(jù)逐步增加，各算法的性能差距會(huì)有所縮小，但專用算法的優(yōu)勢(shì)始終穩(wěn)定保持，不會(huì)出現(xiàn) “數(shù)據(jù)多了反而不準(zhǔn)” 的情況。

（二）計(jì)算效率權(quán)衡

運(yùn)行時(shí)間分析結(jié)果顯示，算法的訓(xùn)練速度與推理性能之間存在明顯的權(quán)衡關(guān)系，具體表現(xiàn)為：

Classifier-B：訓(xùn)練速度最快，但推理速度最慢（每秒處理的芯片測(cè)試量少），難以適配半導(dǎo)體測(cè)試的實(shí)時(shí)性需求（生產(chǎn)線不能等模型“慢慢算”）；

現(xiàn)有基準(zhǔn)分類器：推理速度略優(yōu)于Classifier-A，在對(duì)實(shí)時(shí)性要求極高的場(chǎng)景（如高速晶圓測(cè)試線）中具備一定優(yōu)勢(shì)；

Classifier-A：推理耗時(shí)約為現(xiàn)有基準(zhǔn)分類器的 3 倍，但從實(shí)際價(jià)值看，2個(gè)百分點(diǎn)的 AUC 提升能大幅減少漏檢缺陷，避免的下游成本損失，遠(yuǎn)超過推理環(huán)節(jié)的計(jì)算開銷。

簡(jiǎn)單說：多花一點(diǎn)計(jì)算時(shí)間，能省一大筆返工成本，這筆 “賬” 對(duì)制造商來說很劃算。

（三）統(tǒng)計(jì)顯著性與穩(wěn)定性

為了驗(yàn)證算法性能的可靠性，時(shí)序驗(yàn)證過程中，研究團(tuán)隊(duì)通過多組不同隨機(jī)種子的實(shí)驗(yàn)，量化了算法性能的波動(dòng)性。結(jié)果顯示：無論數(shù)據(jù)劃分方式、模型初始化條件如何變化，Classifier-A 的性能優(yōu)勢(shì)均保持一致—— 這說明其性能提升是算法本身的穩(wěn)健性優(yōu)化帶來的，不是 “碰巧選對(duì)了數(shù)據(jù)集”，落地到不同產(chǎn)線、不同產(chǎn)品時(shí)，效果都能穩(wěn)定復(fù)現(xiàn)。

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五、制造場(chǎng)景實(shí)施要點(diǎn)

（一）特征工程與篩選

半導(dǎo)體測(cè)試數(shù)據(jù)具有典型的高維特性（每顆芯片約 17500 個(gè)測(cè)試參數(shù)），其中很多參數(shù)對(duì)缺陷預(yù)測(cè)毫無意義，因此必須構(gòu)建穩(wěn)健的特征篩選流程。有效的實(shí)施需滿足兩大核心目標(biāo)：一是精準(zhǔn)篩選出具有強(qiáng)預(yù)測(cè)信號(hào)的特征（留下 “有用的”），二是嚴(yán)格控制模型計(jì)算復(fù)雜度（去掉 “沒用的”），避免在小數(shù)據(jù)集場(chǎng)景下出現(xiàn)過擬合。

在平衡模型復(fù)雜度與可用訓(xùn)練數(shù)據(jù)時(shí)，參數(shù)篩選尤為關(guān)鍵。專用算法（如 Classifier-A）通過內(nèi)置的特征選擇機(jī)制，能自主處理高維特征空間，不用工程師手動(dòng) “一個(gè)個(gè)試參數(shù)”，大幅減輕人工特征工程的工作量，降低部署難度。

（二）超參數(shù)優(yōu)化

傳統(tǒng)機(jī)器學(xué)習(xí)算法需要大量人工調(diào)優(yōu)超參數(shù)（比如學(xué)習(xí)率、正則化系數(shù)），往往要試幾十組甚至上百組參數(shù)才能找到最優(yōu)解，耗時(shí)耗力。而專用分類器（如 Classifier-A）內(nèi)置了方差控制與自動(dòng)化采樣策略，大部分超參數(shù)能 “自動(dòng)適配”，不用工程師反復(fù)調(diào)試，顯著降低部署復(fù)雜度，實(shí)現(xiàn) “快速上線、快速用”。

更重要的是，其內(nèi)置的正則化機(jī)制能同時(shí)實(shí)現(xiàn) “防止過擬合” 與 “保留少數(shù)類（缺陷樣本）模式敏感性”——這一平衡是半導(dǎo)體缺陷檢測(cè)的核心需求：既不能 “把合格的判成缺陷”（過擬合導(dǎo)致誤判），也不能 “把缺陷的當(dāng)成合格”（對(duì)少數(shù)類不敏感導(dǎo)致漏檢）。

（三）與現(xiàn)有系統(tǒng)集成

現(xiàn)代制造場(chǎng)景不是 “重新建一套系統(tǒng)”，而是 “在現(xiàn)有基礎(chǔ)上升級(jí)”，因此算法必須能與現(xiàn)有數(shù)據(jù)處理、決策系統(tǒng)無縫銜接。專用算法支持增量學(xué)習(xí)：隨著生產(chǎn)數(shù)據(jù)的持續(xù)積累，模型能實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)迭代優(yōu)化，不用 “推倒重來” 做全量重訓(xùn)，完全適配制造運(yùn)營(yíng)的時(shí)序需求。

這種特性帶來的好處是：從生產(chǎn)爬坡期到滿產(chǎn)期，模型能跟著數(shù)據(jù) “一起成長(zhǎng)”，不用工程師頻繁停機(jī)更新模型，為 “從生產(chǎn)爬坡到滿產(chǎn)” 的全階段，提供了可持續(xù)的模型維護(hù)方案，不會(huì)影響生產(chǎn)線正常運(yùn)行。

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六、業(yè)務(wù)價(jià)值與成本影響

（一）早期缺陷檢測(cè)的核心價(jià)值

專用算法的核心價(jià)值，在于 “把缺陷檢測(cè)的時(shí)間點(diǎn)提前”—— 在晶圓分選階段（而非最終測(cè)試階段）就精準(zhǔn)識(shí)別潛在失效芯片，避免對(duì)失效芯片進(jìn)行后續(xù)高成本加工（封裝、組裝的成本比晶圓測(cè)試高 10 倍以上）。

考慮到封裝和最終測(cè)試環(huán)節(jié)的高昂成本，即便早期檢測(cè)準(zhǔn)確率僅實(shí)現(xiàn)小幅提升（比如 2 個(gè)百分點(diǎn)），也能為企業(yè)帶來顯著的成本節(jié)約，相當(dāng)于 “花小錢，省大錢”。

（二）縮短投資回報(bào)周期

采用專用類別不平衡算法后，制造商從生產(chǎn)第一天起就能獲得可用的預(yù)測(cè)模型，不用像傳統(tǒng)方法那樣，等數(shù)月積累均衡訓(xùn)練數(shù)據(jù) ——這一特性可即時(shí)為質(zhì)量決策提供支撐，顯著縮短 AI/ML 項(xiàng)目的投資回報(bào)周期（比如從 6 個(gè)月縮短到 1 個(gè)月），讓技術(shù)投入更快看到收益。

對(duì)制造商來說，這意味著 “新產(chǎn)品一投產(chǎn)，AI 就能用”，不用承擔(dān) “等待數(shù)據(jù)期間的質(zhì)量風(fēng)險(xiǎn)”，還能加速技術(shù)價(jià)值轉(zhuǎn)化。

（三）減少下游浪費(fèi)

晶圓分選到最終測(cè)試的預(yù)測(cè)準(zhǔn)確率提升，能直接減少下游加工浪費(fèi)：避免缺陷芯片流入高成本制造環(huán)節(jié)，不用再做 “無用功”。Classifier-A 等專用算法能精準(zhǔn)識(shí)別 “難判樣本”（比如參數(shù)接近合格線的芯片），同時(shí)降低一類錯(cuò)誤（誤拒合格芯片）與二類錯(cuò)誤（漏檢缺陷芯片）的發(fā)生率 ——既不浪費(fèi)好芯片，也不放走壞芯片，工程實(shí)用價(jià)值顯著。

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七、未來方向與可擴(kuò)展性

（一）數(shù)據(jù)增長(zhǎng)與模型演進(jìn)

隨著制造產(chǎn)量的提升、生產(chǎn)數(shù)據(jù)的持續(xù)積累，專用算法的增量學(xué)習(xí)能力可支持模型實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)迭代優(yōu)化，不用全量重訓(xùn)—— 這種模式既能以低成本實(shí)現(xiàn)模型維護(hù)（不用每次都花大量計(jì)算資源訓(xùn)模型），又能保留早期學(xué)習(xí)成果，確保模型性能隨數(shù)據(jù)積累穩(wěn)步提升，不會(huì)出現(xiàn) “數(shù)據(jù)多了性能反而倒退” 的情況。

（二）集成方法探索

當(dāng)前單一專用算法（如 Classifier-A）已展現(xiàn)出顯著的性能優(yōu)勢(shì)，未來可進(jìn)一步探索 “多專用分類器集成” 方案（比如讓 Classifier-A 與其他算法 “協(xié)同工作”）。但需要注意的是：Classifier-A 等專用算法已內(nèi)置集成技術(shù)，外部集成策略可能難以帶來額外的性能增益，后續(xù)需要結(jié)合實(shí)際制造場(chǎng)景（如不同芯片類型、不同測(cè)試設(shè)備）開展驗(yàn)證，不能盲目 “為了集成而集成”。

（三）制造場(chǎng)景 AI 部署優(yōu)化

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八、結(jié)論

半導(dǎo)體行業(yè)的獨(dú)特約束 ——數(shù)據(jù)收集的時(shí)效性（數(shù)據(jù)慢積累）、極端類別不平衡（缺陷太少）、對(duì)預(yù)測(cè)模型的即時(shí)需求（投產(chǎn)就要用）—— 要求行業(yè)必須采用超越傳統(tǒng)算法的專用機(jī)器學(xué)習(xí)方法。研究結(jié)果明確表明：精心選擇的專用算法，即便在訓(xùn)練數(shù)據(jù)嚴(yán)重不足的情況下，仍能實(shí)現(xiàn)顯著的性能提升，不是 “紙上談兵”，而是 “能落地用”。

專用類別不平衡算法帶來的 2 個(gè)百分點(diǎn) AUC 提升，可直接轉(zhuǎn)化為三大核心價(jià)值：制造成本降低（少返工、少浪費(fèi)）、質(zhì)量控制改善（漏檢少、誤判少）、AI 投資回報(bào)加速（早用早收益）。隨著行業(yè)持續(xù)擴(kuò)大人工智能應(yīng)用規(guī)模，這類專用方法將成為突破制造環(huán)境固有數(shù)據(jù)局限性的核心工具，不是 “可選方案”，而是 “必選方案”。

從工程實(shí)踐角度看，半導(dǎo)體制造場(chǎng)景的 AI 應(yīng)用，不能 “照搬互聯(lián)網(wǎng)行業(yè)的模型”，必須跳出傳統(tǒng)機(jī)器學(xué)習(xí)的固有框架，采用專為制造約束設(shè)計(jì)的算法。大量研究證據(jù)表明，在半導(dǎo)體測(cè)試場(chǎng)景中應(yīng)用專用類別不平衡技術(shù)，既能快速創(chuàng)造業(yè)務(wù)價(jià)值（投產(chǎn)就能省成本），又能為后續(xù)數(shù)據(jù)積累后的模型優(yōu)化筑牢基礎(chǔ)，實(shí)現(xiàn) “短期見效、長(zhǎng)期向好” 的目標(biāo)。