2025年11月14日，廣東省半導(dǎo)體裝備及零部件學(xué)會(huì)2025年學(xué)術(shù)會(huì)議暨半導(dǎo)體裝備及零部件產(chǎn)業(yè)鏈合作發(fā)展論壇在佛山舉辦。學(xué)會(huì)理事單位、國內(nèi)MEMS智能傳感器與半導(dǎo)體零部件領(lǐng)域的國家級(jí)專精特新“小巨人”企業(yè)廣州奧松電子股份有限公司，憑借《基于MEMS的高精度氣體質(zhì)量流量控制器關(guān)鍵技術(shù)及產(chǎn)業(yè)化》項(xiàng)目榮獲2025年度廣東省半導(dǎo)體裝備及零部件學(xué)會(huì)科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)。同時(shí)，由奧松研發(fā)團(tuán)隊(duì)撰寫的學(xué)術(shù)論文《高可靠性電容薄膜真空計(jì)膜片材料的耐腐蝕性能研究》榮獲會(huì)議優(yōu)秀論文。兩項(xiàng)榮譽(yù)展現(xiàn)奧松在半導(dǎo)體核心零部件與前沿材料研究領(lǐng)域的科研成果達(dá)到了新高度。

大會(huì)盛況：協(xié)同創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展

本次會(huì)議由廣東省半導(dǎo)體裝備及零部件學(xué)會(huì)與季華實(shí)驗(yàn)室聯(lián)合主辦，以“協(xié)同創(chuàng)新，驅(qū)動(dòng)產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展”為主題，匯聚了來自國內(nèi)半導(dǎo)體裝備與零部件領(lǐng)域的權(quán)威專家、學(xué)者及產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)代表。會(huì)議設(shè)有主論壇及三大專題分會(huì)場，圍繞先進(jìn)裝備、制程工藝、新一代材料等方向展開深度交流。

季華實(shí)驗(yàn)室理事長、主任曹健林在題為《發(fā)展新質(zhì)生產(chǎn)力，為高質(zhì)量發(fā)展作出新貢獻(xiàn)》的報(bào)告中指出，要造出能用、好用且有競爭力的超精密裝備，需要“用裝備的隊(duì)伍”“造裝備的隊(duì)伍”“關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)隊(duì)伍”三支隊(duì)伍的密切配合。高端裝備是當(dāng)前中國制造業(yè)面臨的關(guān)鍵挑戰(zhàn)，制造業(yè)升級(jí)需依靠生產(chǎn)企業(yè)、專家與專業(yè)研究所三者長期穩(wěn)定協(xié)同。

中國集成電路零部件創(chuàng)新聯(lián)盟理事長雷震霖在題為《我國集成電路裝備及零部件產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀分析與建議》的報(bào)告中，系統(tǒng)分析了全球集成電路產(chǎn)業(yè)格局、AI+時(shí)代下面臨的機(jī)遇與挑戰(zhàn)，以及國內(nèi)裝備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展瓶頸，并提出系列發(fā)展建議。

技術(shù)突破：實(shí)現(xiàn)高精度氣體質(zhì)量流量控制國產(chǎn)化

由廣州奧松電子股份有限公司牽頭，聯(lián)合中微半導(dǎo)體設(shè)備（廣州）有限公司、廣東工業(yè)大學(xué)共同完成的“基于MEMS的高精度氣體質(zhì)量流量控制器關(guān)鍵技術(shù)及產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目，聚焦半導(dǎo)體制造、精密化工等領(lǐng)域?qū)怏w流量控制的極高精度與穩(wěn)定性需求，突破了MEMS傳感芯片設(shè)計(jì)等關(guān)鍵技術(shù)，成功實(shí)現(xiàn)了高性能氣體質(zhì)量流量控制器的自主研發(fā)與批量生產(chǎn)，有效解決了我國在半導(dǎo)體關(guān)鍵零部件領(lǐng)域長期依賴進(jìn)口的“卡脖子”問題，為產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈自主可控提供了重要支撐。

優(yōu)秀論文：攻克真空計(jì)膜片材料腐蝕防護(hù)難題

同時(shí)，由奧松研發(fā)團(tuán)隊(duì)撰寫的學(xué)術(shù)論文《高可靠性電容薄膜真空計(jì)膜片材料的耐腐蝕性能研究》榮獲會(huì)議優(yōu)秀論文。論文系統(tǒng)研究了通過離子注入技術(shù)對鎳基合金進(jìn)行鈮元素表面改性的工藝路徑，顯著提升了膜片材料在含鹵素腐蝕環(huán)境中的耐久性與可靠性。該研究為解決半導(dǎo)體制造過程中真空計(jì)量元件在苛刻工況下的壽命與穩(wěn)定性問題，提供了新材料路徑與實(shí)驗(yàn)依據(jù)。

創(chuàng)新為本，賦能產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展

作為深耕半導(dǎo)體傳感器與關(guān)鍵零部件領(lǐng)域的高新技術(shù)企業(yè)，奧松始終堅(jiān)持以技術(shù)創(chuàng)新為引擎，聚焦行業(yè)痛點(diǎn)，持續(xù)推進(jìn)產(chǎn)學(xué)研協(xié)同與成果轉(zhuǎn)化。此次獎(jiǎng)項(xiàng)的獲得，是對奧松研發(fā)實(shí)力與技術(shù)前瞻性的高度認(rèn)可。未來，奧松將繼續(xù)秉持“專業(yè)、專注、自主、創(chuàng)新”的發(fā)展理念，攜手產(chǎn)業(yè)鏈伙伴，共同推動(dòng)我國半導(dǎo)體裝備及零部件產(chǎn)業(yè)邁向更高水平，為實(shí)現(xiàn)科技自立自強(qiáng)和行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展持續(xù)貢獻(xiàn)力量。