電子發(fā)燒友網(wǎng)報(bào)道（文/吳子鵬）從傳感器到高端顯微鏡，從測(cè)量系統(tǒng)到機(jī)器視覺，基恩士的產(chǎn)品不僅覆蓋工業(yè)自動(dòng)化的各個(gè)環(huán)節(jié)，更通過持續(xù)的技術(shù)革新和全方位的服務(wù)，在半導(dǎo)體這一高壁壘行業(yè)中占據(jù)重要地位，助力半導(dǎo)體制造行業(yè)破解 “行業(yè)空間受限、穩(wěn)定性不足、檢測(cè)效率低” 等核心痛點(diǎn)。

近日，在基恩士媒體交流日活動(dòng)上，作為傳感器、測(cè)量系統(tǒng)、激光刻印機(jī)、顯微系統(tǒng)及單機(jī)式影像系統(tǒng)的國(guó)際化綜合供應(yīng)商，基恩士向媒體展示了其在半導(dǎo)體行業(yè)的一系列尖端產(chǎn)品，彰顯出在該領(lǐng)域的深厚實(shí)力與創(chuàng)新精神。

基恩士市場(chǎng)總監(jiān) Avy Ruan 首先對(duì)公司進(jìn)行整體介紹。基恩士成立于 1974 年，總部位于日本大阪，是一家無工廠型企業(yè)，全球員工超 1.2 萬(wàn)人，均為研發(fā)、銷售及技術(shù)人員。2024 年，基恩士全球營(yíng)收為10591.45億日元，市值在日本上市公司中排名第三，全球排名前 100?；魇渴冀K堅(jiān)持產(chǎn)品革新與服務(wù)進(jìn)化，每年推出大量新產(chǎn)品，其中 70% 采用突破性技術(shù)，例如數(shù)碼顯微鏡平臺(tái)化產(chǎn)品、針對(duì)大型工廠節(jié)能減排數(shù)字化需求的氣體探測(cè)與泄漏監(jiān)測(cè)產(chǎn)品、激光補(bǔ)盲設(shè)備，以及適用于半導(dǎo)體真空及帶溫環(huán)境的傳感器等。此外，基恩士的直銷網(wǎng)絡(luò)、當(dāng)日出貨能力與全球支持體系，使其能快速響應(yīng)客戶需求，為客戶提供優(yōu)質(zhì)服務(wù)。

在半導(dǎo)體領(lǐng)域，Avy Ruan 認(rèn)為基恩士主要具備以下三項(xiàng)優(yōu)勢(shì)：其一，擁有專業(yè)服務(wù)團(tuán)隊(duì)，2024 年該公司針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)的客戶訪問量超三萬(wàn)次，可深入了解客戶需求與痛點(diǎn)，更高效地服務(wù)客戶；其二，精準(zhǔn)把握行業(yè)know-how，清晰知曉何種產(chǎn)品能匹配客戶需求；其三，注重對(duì)客戶的 “陪伴式服務(wù)”—— 與客戶共同開展產(chǎn)品測(cè)試，協(xié)助客戶構(gòu)思解決方案。

精密測(cè)量：為半導(dǎo)體制造提供可靠的測(cè)量方案

基恩士精密測(cè)量部門的 Dopa Zhao，重點(diǎn)介紹了彩色激光同軸移位計(jì) CL-3000 系列與分光干涉式晶片厚度計(jì) SI-F8-R。

其中，CL-3000 系列是針對(duì)半導(dǎo)體客戶對(duì) “高精度、高速測(cè)量及設(shè)備稼動(dòng)率提升” 的需求所開發(fā)，具備 “小體積、省空間”“支持超高真空與 200℃耐熱環(huán)境”“亞微米級(jí)高精度檢測(cè)” 三大核心特點(diǎn)。該產(chǎn)品采用分體式設(shè)計(jì)，將感測(cè)頭與控制器分離，確保感測(cè)頭在特殊環(huán)境下仍能穩(wěn)定工作；同時(shí)使用基于激光熒光效應(yīng)的激光光源，相較于傳統(tǒng)白光 LED 光源，亮度與穩(wěn)定性更高，可實(shí)現(xiàn)更高精度的檢測(cè)。其獨(dú)特的光學(xué)設(shè)計(jì)與測(cè)量原理，使其能適配不同材料的測(cè)量需求，即便在高溫、真空等惡劣環(huán)境中，仍能保持高精度與穩(wěn)定性，為半導(dǎo)體制造過程中的關(guān)鍵測(cè)量環(huán)節(jié)提供可靠解決方案。

SI-F8-R 則是基恩士專為半導(dǎo)體行業(yè)開發(fā)的晶片厚度測(cè)量傳感器，采用近紅外 SLD 光源，可穿透硅、碳化硅、砷化鎵等多種半導(dǎo)體材料；25 微米的超小光點(diǎn)能有效避開晶圓表面電路圖案的干擾，采樣速度達(dá) 5000 次 / 秒，最高精度可達(dá) 60 納米。在 CMP（化學(xué)機(jī)械拋光）設(shè)備中，該傳感器可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)晶圓背面減薄厚度（NCG 功能），同時(shí)也適用于掩膜版定位與晶圓平坦度測(cè)量場(chǎng)景。

智能傳感器：專注高效與精準(zhǔn)

基恩士智能傳感器部門的 Daniel Li，介紹了多款智能傳感器產(chǎn)品及其在半導(dǎo)體設(shè)備中的應(yīng)用，覆蓋靜電消除、晶圓定位、溫度監(jiān)測(cè)等全場(chǎng)景。

具體來看，AI 圖像識(shí)別傳感器 IV4 系列可用于識(shí)別晶圓上的字符，確認(rèn)晶圓批次與加工步驟；對(duì)射式光幕傳感器IG系列能測(cè)量 PCB 板的高度；ESD 靜電解決方案包含風(fēng)扇、離子風(fēng)棒、噴槍等設(shè)備，可針對(duì)性解決生產(chǎn)中的靜電問題；測(cè)量傳感器涵蓋接觸式測(cè)筆、單點(diǎn)式激光位移傳感器、激光對(duì)射傳感器等，可檢測(cè)真空設(shè)備位移量、透明或不透明玻璃厚度等；數(shù)據(jù)采集設(shè)備則能采集溫度、電流、電壓等關(guān)鍵生產(chǎn)數(shù)據(jù)。

Daniel Li 重點(diǎn)提及 IG系列對(duì)射式光幕傳感器：該產(chǎn)品通過對(duì)射光幕采集晶圓邊緣數(shù)據(jù)，4 秒內(nèi)可完成 8 英寸平邊晶圓的定位，X/Y 方向精度＜1 毫米，角度精度＜0.1 度，可適配鍍膜、離子注入等設(shè)備的晶圓粗定位需求。

這些智能傳感器產(chǎn)品通過精確測(cè)量與智能識(shí)別，為半導(dǎo)體制造過程中的質(zhì)量控制、設(shè)備定位、靜電消除等環(huán)節(jié)提供高效、精準(zhǔn)的解決方案，有效提升生產(chǎn)效率與產(chǎn)品質(zhì)量。

流量傳感器：外夾式創(chuàng)新，適配半導(dǎo)體 “液體全流程監(jiān)測(cè)”

基恩士流量傳感器部門的 Marcia Zhao，主要介紹了夾鉗式超聲波流量計(jì) FDX 系列。該產(chǎn)品通過 “外夾式” 設(shè)計(jì)顛覆傳統(tǒng)流量計(jì)形態(tài)，成為晶圓廠液體監(jiān)測(cè)的核心選擇。

對(duì)比傳統(tǒng)四大類流量計(jì) —— 電磁式（無法測(cè)量不導(dǎo)電液體）、卡門渦流式（存在壓力損失）、浮子式（測(cè)量精度差）、科里奧利式（成本高），F(xiàn)D-X 系列的核心優(yōu)勢(shì)顯著：無需切割管道，直接外夾安裝，無壓力損失；采用雙路超聲波發(fā)射設(shè)計(jì)，其氣泡檢測(cè)功能（可檢測(cè) Φ1-3 毫米氣泡）與高重復(fù)精度，進(jìn)一步提升測(cè)量的可靠性與準(zhǔn)確性，為半導(dǎo)體制造過程中的液體流量監(jiān)測(cè)提供精準(zhǔn)保障；同時(shí)，F(xiàn)D-X 系列流量計(jì)具備優(yōu)異的耐藥性與高溫性能，經(jīng)嚴(yán)格測(cè)試驗(yàn)證，可在強(qiáng)酸強(qiáng)堿與高溫環(huán)境下穩(wěn)定工作。

選型適配方面，F(xiàn)D-X 系列提供 PFA 管 / 金屬管專用支架，搭配 FD-XA1/XA5 控制器可支持?jǐn)?shù)字 / 模擬信號(hào)輸出；加裝 NU 模塊后，可兼容四種工業(yè)通訊協(xié)議；最小適配管徑為 2.7 毫米，最大可覆蓋 8 英寸（220 毫米）的廠務(wù)管道。

視覺系統(tǒng)：小型化 + 穩(wěn)定性，破解核心痛點(diǎn)

基恩士視覺市場(chǎng)部門的 Tiffany 莫，闡述了視覺系統(tǒng)在半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)的應(yīng)用。她指出，半導(dǎo)體視覺檢測(cè)的核心痛點(diǎn)集中在 “安裝空間窄、設(shè)備穩(wěn)定性差、數(shù)據(jù)難管理”，基恩士通過針對(duì)性的視覺產(chǎn)品給出了完整解決方案。

首先，硬件創(chuàng)新奠定基礎(chǔ)：其一，推出全長(zhǎng)僅 6 厘米的小型相機(jī)（尺寸相當(dāng)于成人小拇指），可適配工藝腔等空間緊湊的設(shè)備場(chǎng)景；其二，采用獨(dú)立控制器設(shè)計(jì)，避免傳統(tǒng) PC連接型相機(jī)的 “多任務(wù)干擾” 問題，設(shè)備穩(wěn)定性提升 30%；其三，配備數(shù)據(jù)加密狗，支持離線優(yōu)化檢測(cè)程序，無需停機(jī)即可更新檢測(cè)參數(shù)，完美適配晶圓廠（FAB 廠）24 小時(shí)連續(xù)生產(chǎn)的需求。

其次，軟件落地方案覆蓋多核心場(chǎng)景：在定位場(chǎng)景，視覺系統(tǒng)可用于搬送類設(shè)備與工藝腔的晶圓位置檢測(cè)；在外觀檢測(cè)場(chǎng)景，能精準(zhǔn)識(shí)別襯底與工藝片上的顆粒（particles）、劃痕等缺陷；在封邊倒角檢測(cè)場(chǎng)景，通過 2.5D 線掃技術(shù)穩(wěn)定識(shí)別倒角處的封邊質(zhì)量；在防錯(cuò)場(chǎng)景，可應(yīng)用于爐管、濕法等制程，避免因產(chǎn)品種類錯(cuò)放或晶圓碎片導(dǎo)致的生產(chǎn)損失；在追溯場(chǎng)景，OCR（光學(xué)字符識(shí)別）技術(shù)可實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品追溯與工藝優(yōu)化的數(shù)據(jù)支撐。

憑借精準(zhǔn)的檢測(cè)能力、靈活的應(yīng)用方案與強(qiáng)大的數(shù)據(jù)處理功能，基恩士視覺系統(tǒng)為半導(dǎo)體制造的質(zhì)量控制與生產(chǎn)效率提升提供了有力支持。

顯微系統(tǒng)：平臺(tái)化整合，打破功能邊界

基恩士顯微系統(tǒng)部門的 Daly Li，介紹了以 “平臺(tái)化” 為核心優(yōu)勢(shì)的數(shù)碼顯微鏡產(chǎn)品 —— 該產(chǎn)品打破傳統(tǒng)離線檢測(cè)設(shè)備的功能邊界，實(shí)現(xiàn) “觀察 + 測(cè)量 + 元素分析” 一體化。

自 1990 年推出首款數(shù)碼顯微鏡以來，該產(chǎn)品系列已迭代至第六代，累計(jì)推出 27 款型號(hào)。當(dāng)前最新產(chǎn)品的核心優(yōu)勢(shì)可概括為七大方面：其一，低倍率下具備超大景深，可實(shí)現(xiàn) “無需頻繁對(duì)焦” 的便捷觀察；其二，采用手持式設(shè)計(jì)與可傾斜鏡頭角度，方便現(xiàn)場(chǎng)圖片采集與多角度觀察；其三，高倍率下支持景深合成功能 —— 通過電機(jī)帶動(dòng)鏡頭掃描，合成大景深清晰圖像，并結(jié)合算法生成表面輪廓形貌圖，實(shí)現(xiàn)精確三維測(cè)量；其四，具備圖像拼接功能，高倍率下可實(shí)時(shí)拍攝大面積圖像，最大采集像素達(dá) 100 億；其五，支持多元測(cè)量方法，涵蓋二維尺寸測(cè)量、三維形貌測(cè)量，以及顆粒分析、清潔度測(cè)量等定制化模塊；其六，配備一鍵自動(dòng)校準(zhǔn)功能，大幅提升校準(zhǔn)效率與結(jié)果可靠性；其七，首創(chuàng)元素判別模塊 —— 可與顯微鏡聯(lián)動(dòng)，在空氣中快速完成元素判別，顯著降低元素分析的操作門檻。

這些特點(diǎn)使數(shù)碼顯微鏡在半導(dǎo)體行業(yè)的多個(gè)關(guān)鍵場(chǎng)景中發(fā)揮重要作用，包括芯片設(shè)計(jì)驗(yàn)證、晶圓表面缺陷觀察、晶線尺寸測(cè)量、探針測(cè)試結(jié)果記錄，以及異物成分檢測(cè)等，為半導(dǎo)體制造的質(zhì)量檢測(cè)與工藝優(yōu)化提供了高效、精準(zhǔn)的工具。

綜上所述，憑借豐富的產(chǎn)品線與領(lǐng)先的創(chuàng)新技術(shù)，基恩士在半導(dǎo)體行業(yè)中已成為不可或缺的核心力量。從精密測(cè)量的關(guān)鍵數(shù)據(jù)支撐，到智能傳感器的全場(chǎng)景適配；從流量監(jiān)測(cè)的非侵入式革新，到視覺系統(tǒng)的小型化與穩(wěn)定性突破；再到顯微系統(tǒng)的平臺(tái)化一體化解決方案，基恩士的產(chǎn)品已全面覆蓋半導(dǎo)體制造的各個(gè)核心環(huán)節(jié)，為全球半導(dǎo)體客戶提供全方位、高可靠的解決方案。