導讀：在當今半導體制造業(yè)追求更高精度的趨勢中，光源技術(shù)扮演著至關(guān)重要的角色，其傳輸效率、均勻性與穩(wěn)定性都直接關(guān)系到最終產(chǎn)品的性能與良率。傳統(tǒng)的光纖在應(yīng)對大功率、寬光譜及復雜光路耦合需求時，常面臨效率衰減、耦合復雜和物理損傷等局限。液態(tài)光導（液體光纖/液體光導）借其獨特的光學結(jié)構(gòu)與卓越的物理性能，正成為連接高性能光源與半導體設(shè)備間的有力工具，為提升傳輸效率、確保光照均勻性及優(yōu)化檢測精度提供了創(chuàng)新解決方案。

一、液態(tài)光導：結(jié)構(gòu)組成、傳輸原理及傳統(tǒng)光纖方案優(yōu)勢對比

液態(tài)光導，也被稱為液芯光導或液體光纖，其核心功能與傳統(tǒng)的玻璃光纖束相同，即引導光源從一端高效傳輸至另一端。液態(tài)光導由高折射率液態(tài)光學材料構(gòu)成內(nèi)芯，外部包裹著低折射率的柔性塑料包層管。這種折射率差使得光線在液態(tài)芯與塑料包層的界面上發(fā)生全內(nèi)反射，實現(xiàn)低損耗傳輸。

相較于需要將成百上千根纖細玻璃光纖捆綁成束以實現(xiàn)大通光口徑的傳統(tǒng)方案，單根液態(tài)光導的芯徑可以輕松做到2毫米至10毫。這一設(shè)計從根本上消除了光纖束內(nèi)部不可避免的間隙損耗和復雜的端面粘合工藝，實現(xiàn)了更高的光通量和更簡單的系統(tǒng)集成。

二、五大核心優(yōu)勢拆解：在半導體及其他精密光學領(lǐng)域的多方面優(yōu)勢

高透過率與寬光譜適應(yīng)性：

特制的液態(tài)芯材使其能夠高效傳輸從深紫外（低至220nm）到近紅外（高達2000nm）的廣闊光譜范圍，極大地提高了設(shè)備的靈活性與兼容性。

卓越的均勻性與穩(wěn)定性：

單一大口徑液芯結(jié)構(gòu)輸出的光斑具有極佳的均勻性，對于需要均勻照明的晶圓缺陷檢測或曝光工藝至關(guān)重要。同時，其材料和結(jié)構(gòu)保證了長期使用的光學穩(wěn)定性，工業(yè)壽命可長達十年。

出色的靈活性與耐用性：

液態(tài)光導具有良好的柔韌性，可在一定范圍內(nèi)彎曲而不像玻璃光纖那樣易斷裂，更能耐受高能輻射的LED、汞燈和激光應(yīng)用的環(huán)境。

靈活的長度與耦合配置：液態(tài)光導的長度可根據(jù)實際需求定制，從短至0.23cm的連接器到長達20m的遠距離傳輸線纜。而多極耦合配置允許在單一大口徑端（如8mm）與多個小口徑分支端（如3mm）之間靈活配置光路。既可實現(xiàn)將多路獨立光源（如不同波長的激光）合成一束光源，也可將單一光源高效分光至多個工作點，顯著簡化了復雜光學系統(tǒng)的架構(gòu)。

三、友思特液態(tài)光導產(chǎn)品矩陣：液態(tài)光導關(guān)鍵性能參數(shù)與應(yīng)用場景適配

為滿足半導體制造中不同工藝環(huán)節(jié)的特定需求，友思特液態(tài)光導發(fā)展出多個系列，其關(guān)鍵性能對比如下表所示：

四、半導體制造全流程賦能

液態(tài)光導核心應(yīng)用場景詳解

液態(tài)光導的卓越特性使其能夠滲透到半導體制造流程的多個關(guān)鍵環(huán)節(jié)，從圖形制造到最終檢測，全方位提升工藝水平。

光刻工藝

在光刻工藝中，需要將高功率的紫外或深紫外光（如365nm、248nm、193nm）從光源穩(wěn)定、高效地傳輸至曝光頭。液態(tài)光導，尤其是250系列，因其在深紫外波段的高透過率和穩(wěn)定性，成為連接準分子激光器、高壓汞燈和高功率UVLED的理想選擇。

晶圓邊緣曝光

晶圓邊緣曝光（Wafer Edge Expose, WEE）是清除晶圓邊緣多余光刻膠的關(guān)鍵工藝，可替代傳統(tǒng)的化學去邊法。在此應(yīng)用中，液態(tài)光導負責將特定波長的紫外光源（通常為365nm的UVLED）產(chǎn)生的光束，遠距離、靈活地引導至一個精密的環(huán)形曝光頭。該曝光頭圍繞旋轉(zhuǎn)的晶圓邊緣進行照射。光導的高均勻性和靈活布線性，確保了曝光寬度（通常為3mm至2mm）的精確控制，其微米級的定位精度能有效防止功能區(qū)圖形受損。

缺陷檢測

隨著芯片結(jié)構(gòu)日趨復雜，缺陷檢測和尺寸量測的精度要求水漲船高。液態(tài)光導在此領(lǐng)域大顯身手。通過連接高亮度、多波段的LED或激光光源，為自動光學檢測設(shè)備提供高強度、高度均勻的照明。

紅外檢測與量測

2000系列液態(tài)光導能夠高效傳輸紅外光。紅外光可用于檢測硅材料內(nèi)部的缺陷、測量薄膜厚度或進行芯片封裝內(nèi)部的無損探傷。光導將紅外光源（如鹵鎢燈或半導體激光器）安全、靈活地引入檢測模塊。

顯微照明

在半導體實驗室的失效分析或材料研究中，高倍率顯微鏡（如電子顯微鏡配套的光學定位系統(tǒng)）需要冷光源以避免樣本熱損傷。380系列液態(tài)光導能將鹵素燈或LED白光從遠離顯微鏡的獨立光源處，以“冷光”形式高效導入，為觀察區(qū)域提供明亮、均勻且無熱輻射的照明，保護敏感樣本并提升成像質(zhì)量。

紫外固化

在芯片封裝、微機電系統(tǒng)（MEMS）制造中，常用紫外光固化膠水。液態(tài)光導可將紫外光源（如汞燈）引導至難以直接照射的狹小空間或流水線上的多個工位，實現(xiàn)快速、均勻的固化。

結(jié)論

液態(tài)光導憑借其高均勻、高效率、高穩(wěn)定及靈活配置的核心優(yōu)勢，必將在下一代光刻、先進封裝、芯片級檢測等更多尖端領(lǐng)域，持續(xù)扮演不可或缺的關(guān)鍵角色，貢獻光的力量。

友思特 液態(tài)光導

全波段征服：紫外/可見光/紅外一纖搞定，高達20年的超長壽命

創(chuàng)新技術(shù)結(jié)構(gòu)實現(xiàn)80%超高透過率：內(nèi)部全反射原理，降低能量損失

定制自由無拘束：可選2-10mm大孔徑，尺寸/長度隨心定制

高功率全能選手：4個系列覆蓋主流有效傳輸波長和液體的光學性質(zhì)，復雜場景輕松拿捏

審核編輯 黃宇