在半導(dǎo)體制造的前道工藝中，晶圓傳輸?shù)男屎涂煽啃灾苯佑绊懮a(chǎn)良率與設(shè)備利用率。EFEM（設(shè)備前端模塊）作為晶圓廠與工藝設(shè)備之間的智能接口，承擔(dān)著晶圓潔凈傳輸、精準(zhǔn)定位與高效調(diào)度的核心任務(wù)。其性能的優(yōu)劣，很大程度上取決于內(nèi)部運(yùn)動(dòng)控制核心——直線電機(jī)平臺(tái)的精度與穩(wěn)定性。這正是我們深耕13年的領(lǐng)域。

實(shí)力：專注沉淀，定制化基因深厚
13年如一日聚焦于非標(biāo)定制直線電機(jī)平臺(tái)及精密傳動(dòng)控制解決方案的研發(fā)與制造。積累了服務(wù)超500家各行業(yè)客戶的豐富經(jīng)驗(yàn)，漢諾深刻理解不同應(yīng)用場(chǎng)景的獨(dú)特需求，尤其在半導(dǎo)體設(shè)備這類對(duì)潔凈度、精度、可靠性要求嚴(yán)苛的領(lǐng)域。漢諾提供全面的非標(biāo)定制化設(shè)計(jì)方案服務(wù)，并歡迎潛在客戶實(shí)地考察同行業(yè)成功案例，親身體驗(yàn)設(shè)備運(yùn)行效果，為技術(shù)選型提供直觀依據(jù)。

高精度驅(qū)動(dòng)：EFEM高效傳輸?shù)幕?br /> EFEM的核心功能要求其內(nèi)部的晶圓搬運(yùn)機(jī)械手（Wafer Handler）和預(yù)對(duì)準(zhǔn)器（Pre-Aligner）必須實(shí)現(xiàn)高速、平穩(wěn)、無(wú)振動(dòng)的納米級(jí)重復(fù)定位精度。直線電機(jī)平臺(tái)憑借其技術(shù)特點(diǎn)，成為滿足這些嚴(yán)苛要求的理想選擇：

精準(zhǔn)定位與高速響應(yīng)： 直線電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)，無(wú)中間傳動(dòng)環(huán)節(jié)，消除了背隙和摩擦，確保機(jī)械手拾取、放置晶圓以及預(yù)對(duì)準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)時(shí)達(dá)到微米乃至納米級(jí)的重復(fù)定位精度，并實(shí)現(xiàn)毫秒級(jí)的快速響應(yīng)，顯著提升EFEM的Throughput（吞吐量）。

潔凈無(wú)污染： 非接觸式驅(qū)動(dòng)方式，無(wú)傳統(tǒng)絲杠、齒輪帶來(lái)的磨損顆粒和潤(rùn)滑油脂污染風(fēng)險(xiǎn)，符合半導(dǎo)體制造對(duì)Class 1甚至更高潔凈等級(jí)的嚴(yán)苛要求，保障晶圓在傳輸過(guò)程中的潔凈度。

平穩(wěn)低噪運(yùn)行： 優(yōu)異的控制算法和結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，使運(yùn)動(dòng)過(guò)程平滑順暢，大幅降低振動(dòng)和噪音，減少對(duì)精密晶圓的潛在物理?yè)p傷風(fēng)險(xiǎn)，提升系統(tǒng)長(zhǎng)期運(yùn)行的穩(wěn)定性。

信任之選：知名企業(yè)合作的實(shí)力背書
技術(shù)實(shí)力和產(chǎn)品可靠性，已獲得眾多在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域擁有良好聲譽(yù)的裝備制造商的認(rèn)可。公司成功為多家知名半導(dǎo)體設(shè)備商提供了定制化的高精度直線電機(jī)平臺(tái)，應(yīng)用于其先進(jìn)的EFEM系統(tǒng)中。這些持續(xù)的合作關(guān)系，是對(duì)漢諾研發(fā)設(shè)計(jì)能力、規(guī)?；a(chǎn)品控、以及按時(shí)交付能力的有效驗(yàn)證。

堅(jiān)實(shí)后盾：整機(jī)質(zhì)保1年與無(wú)憂售后
深知半導(dǎo)體設(shè)備對(duì)連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行的極致要求，為其直線電機(jī)平臺(tái)鄭重提供整機(jī)質(zhì)保1年的承諾，這源于對(duì)自身產(chǎn)品品質(zhì)的充分信心。完善的售后服務(wù)體系覆蓋全國(guó)，專業(yè)工程師團(tuán)隊(duì)提供快速響應(yīng)與持續(xù)的技術(shù)支持，確?？蛻粼O(shè)備在生命周期內(nèi)的高效穩(wěn)定運(yùn)行，有效降低維護(hù)成本和停機(jī)風(fēng)險(xiǎn)。無(wú)論是安裝調(diào)試、日常維護(hù)還是故障排查，漢諾都能提供及時(shí)可靠的保障。

結(jié)語(yǔ)
EFEM晶圓傳輸系統(tǒng)的卓越性能，離不開其核心驅(qū)動(dòng)部件——高精度直線電機(jī)平臺(tái)的強(qiáng)力支撐。憑借13年專注非標(biāo)定制的深厚積淀、超500家客戶驗(yàn)證的豐富經(jīng)驗(yàn)、經(jīng)知名半導(dǎo)體設(shè)備商認(rèn)可的技術(shù)實(shí)力，以及包含整機(jī)質(zhì)保1年在內(nèi)的完善售后體系，為國(guó)產(chǎn)及國(guó)際領(lǐng)先的EFEM設(shè)備制造商提供值得信賴的高精度運(yùn)動(dòng)控制解決方案。欲了解更多關(guān)于直線電機(jī)平臺(tái)如何賦能您的EFEM系統(tǒng)，或預(yù)約參觀行業(yè)應(yīng)用實(shí)例，敬請(qǐng)咨詢http://www.hanocn.com/product/

審核編輯 黃宇