一、引言

液晶面板（TFT-LCD）制程涵蓋Array、Cell、Module等多道精密工序，受異物污染、工藝偏差、靜電損傷等因素影響，極易產(chǎn)生亮點(diǎn)、暗點(diǎn)、線路缺陷等問(wèn)題，其中亮點(diǎn)缺陷是制約產(chǎn)品良率的關(guān)鍵因素之一。亮點(diǎn)缺陷表現(xiàn)為像素區(qū)域持續(xù)發(fā)光，破壞畫(huà)面均勻性，嚴(yán)重影響用戶視覺(jué)體驗(yàn)。在面板量產(chǎn)過(guò)程中，亮點(diǎn)缺陷占比約30%~40%，若缺乏有效修復(fù)手段，將大幅提升生產(chǎn)成本。因此，探索適配制程特點(diǎn)的亮點(diǎn)缺陷修復(fù)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)、高效修復(fù)，對(duì)提升面板良率、降低生產(chǎn)損耗具有重要現(xiàn)實(shí)意義。本文將結(jié)合亮點(diǎn)缺陷成因，系統(tǒng)闡述制程中的主流修復(fù)方法及實(shí)施要點(diǎn)。

二、液晶面板制程中亮點(diǎn)缺陷的成因分類(lèi)

液晶面板制程中亮點(diǎn)缺陷的形成與不同工序的工藝特性密切相關(guān)，主要可分為三類(lèi)：一是Array段TFT器件短路，制程中光刻偏差、雜質(zhì)殘留易導(dǎo)致薄膜晶體管漏電流異常，使像素電極持續(xù)帶電，液晶分子無(wú)法正常扭轉(zhuǎn)，背光持續(xù)穿透形成亮點(diǎn)；二是Cell段彩色濾光片（CF）損傷，貼合過(guò)程中的摩擦、異物碰撞易造成濾光片針孔、劃傷，引發(fā)漏光亮點(diǎn)；三是Cell段液晶盒異物殘留，制程環(huán)境潔凈度不達(dá)標(biāo)會(huì)導(dǎo)致異物混入液晶盒內(nèi)，遮擋液晶分子偏轉(zhuǎn)，造成局部透光異常，形成亮點(diǎn)。不同成因的亮點(diǎn)缺陷需匹配針對(duì)性的修復(fù)技術(shù)，才能保障修復(fù)效果。

三、液晶面板制程中亮點(diǎn)缺陷的主流修復(fù)方法

（一）激光修復(fù)技術(shù)：核心主流修復(fù)方案

激光修復(fù)技術(shù)憑借非接觸、高精準(zhǔn)、熱影響區(qū)小的優(yōu)勢(shì)，成為制程中亮點(diǎn)缺陷修復(fù)的核心方案，主要分為BM修復(fù)與DM修復(fù)兩種路徑。一是BM修復(fù)技術(shù)（黑色矩陣擴(kuò)散法），適配Cell段漏光型亮點(diǎn)（濾光片損傷、液晶盒異物導(dǎo)致）。其操作邏輯為：采用波長(zhǎng)405nm~532nm的脈沖激光，精準(zhǔn)聚焦于缺陷像素的濾光片與玻璃基板界面，激光能量促使界面局部熱膨脹形成納米間隙，同時(shí)使周邊黑色矩陣材料顆?；?，借助熱擴(kuò)散填充間隙形成遮光屏障，阻斷漏光路徑。該技術(shù)修復(fù)溫和，熱影響區(qū)≤5μm，不會(huì)損傷液晶分子，適配中高端面板修復(fù)。二是DM修復(fù)技術(shù)（直接法），適配Array段、Cell段短路型或嚴(yán)重漏光型亮點(diǎn)（TFT短路、濾光片嚴(yán)重?fù)p傷導(dǎo)致）。通過(guò)波長(zhǎng)355nm的紫外脈沖激光，利用高光子能量使缺陷區(qū)域?yàn)V光片或ITO電極碳化、相變，顯著降低透光率，或精準(zhǔn)切割TFT異常漏電路徑，使晶體管恢復(fù)正常關(guān)閉狀態(tài)。其修復(fù)效率高，單像素修復(fù)僅需5~10ms，適配量產(chǎn)快速修復(fù)需求。

（二）輔助修復(fù)手段：制程優(yōu)化與物理干預(yù)

除激光修復(fù)外，制程中還需搭配輔助手段提升修復(fù)效果與效率。一是制程優(yōu)化前置干預(yù)，在Array段加強(qiáng)光刻工藝精度控制，減少雜質(zhì)殘留；Cell段提升環(huán)境潔凈度至Class 10級(jí)，降低異物混入概率，從源頭減少亮點(diǎn)缺陷產(chǎn)生，降低修復(fù)壓力。二是物理干預(yù)輔助修復(fù)，針對(duì)制程中發(fā)現(xiàn)的微小異物型亮點(diǎn)，可通過(guò)高精度真空吸附裝置在貼合前移除異物；對(duì)于輕微濾光片劃傷，可采用專(zhuān)用涂層材料進(jìn)行填補(bǔ)修復(fù)，這類(lèi)方法操作簡(jiǎn)單、成本低，適用于輕度缺陷的快速處理，但精度有限，需與激光修復(fù)配合使用。

四、修復(fù)實(shí)施的關(guān)鍵保障要點(diǎn)

制程中亮點(diǎn)缺陷修復(fù)的精準(zhǔn)高效實(shí)施，需依托三大關(guān)鍵保障：一是高精度缺陷檢測(cè)定位，結(jié)合AI視覺(jué)識(shí)別與高分辨率光學(xué)成像，實(shí)現(xiàn)0.1μm級(jí)缺陷定位，精準(zhǔn)區(qū)分缺陷成因與類(lèi)型，為修復(fù)方案選擇提供依據(jù)；二是動(dòng)態(tài)參數(shù)適配，激光修復(fù)需根據(jù)缺陷類(lèi)型、制程階段調(diào)整激光波長(zhǎng)、能量密度等參數(shù)，物理干預(yù)需匹配異物尺寸、劃傷程度選擇工具與材料；三是制程協(xié)同管控，修復(fù)需嵌入對(duì)應(yīng)工序節(jié)點(diǎn)（Array段修復(fù)TFT缺陷、Cell段修復(fù)漏光缺陷），避免修復(fù)后二次污染，確保修復(fù)后面板性能一致性。

顯示面板激光修復(fù)設(shè)備：精密修復(fù)解決方案?

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新啟航水冷激光修復(fù)設(shè)備搭載NW激光器，整合精密光學(xué)系統(tǒng)、鐳射加工/觀測(cè)專(zhuān)用顯微鏡及光學(xué)物鏡，構(gòu)建起高精度修復(fù)核心架構(gòu)。設(shè)備采用X/Y軸自動(dòng)精細(xì)調(diào)節(jié)、Z軸半自動(dòng)智能調(diào)節(jié)模式，搭配大理石精密光學(xué)基礎(chǔ)載物平臺(tái)，以卓越的穩(wěn)定性和操控性，實(shí)現(xiàn)對(duì)工件特定材質(zhì)層短路缺陷的精準(zhǔn)修補(bǔ)，展現(xiàn)出強(qiáng)大且專(zhuān)業(yè)的鐳射修復(fù)能力。

一、多元適配的應(yīng)用場(chǎng)景?

本設(shè)備專(zhuān)為T(mén)FT-LCD系列液晶面板修復(fù)設(shè)計(jì)，可覆蓋15.6寸至120寸全尺寸范圍，精準(zhǔn)攻克LCD面板常見(jiàn)不良現(xiàn)象。無(wú)論是惱人的亮點(diǎn)、暗點(diǎn)，還是復(fù)雜的斷半線、豎彩線、豎彩黑線、單豎黑線、雙豎黑線及橫網(wǎng)等缺陷，都能通過(guò)先進(jìn)的鐳射修復(fù)技術(shù)快速處理，為液晶面板品質(zhì)提升提供可靠保障。?

二、智能協(xié)同的先進(jìn)控制系統(tǒng)?

設(shè)備采用前沿多線程技術(shù)、COM技術(shù)，深度融合運(yùn)動(dòng)算法與圖像視覺(jué)算法，實(shí)現(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、激光控制系統(tǒng)、圖像識(shí)別系統(tǒng)的高效聯(lián)動(dòng)。憑借微米級(jí)精準(zhǔn)控制能力，可快速、準(zhǔn)確鎖定產(chǎn)品缺陷點(diǎn)。此外，設(shè)備提供全自動(dòng)四孔鼻輪調(diào)焦功能，并支持選配四孔電動(dòng)鼻輪，滿足多樣化使用需求。同時(shí)，簡(jiǎn)潔直觀的操作界面設(shè)計(jì)，大幅降低操作人員的學(xué)習(xí)成本與使用門(mén)檻。?

三、靈活高效的高兼容性軟件系統(tǒng)?

針對(duì)不同型號(hào)激光控制器通訊協(xié)議的差異，本設(shè)備軟件系統(tǒng)進(jìn)行深度優(yōu)化。通過(guò)將多種激光器通訊協(xié)議集成于同一軟件，操作人員僅需通過(guò)簡(jiǎn)單的軟件選項(xiàng)，即可激活當(dāng)前使用的激光器。這種設(shè)計(jì)使激光器對(duì)操作者完全透明，讓操作人員專(zhuān)注于工藝與功能實(shí)現(xiàn)，無(wú)需關(guān)注激光器具體型號(hào)差異，顯著提升工作效率與便捷性。?

審核編輯 黃宇