一、引言

TFT-LCD液晶面板的暗點(diǎn)缺陷多由薄膜晶體管（TFT）斷路、液晶盒內(nèi)異物殘留、電極接觸不良等因素導(dǎo)致，表現(xiàn)為像素區(qū)域無法正常透光，破壞畫面均勻性。暗點(diǎn)化激光修復(fù)是通過精準(zhǔn)調(diào)控激光能量，將無法修復(fù)的亮點(diǎn)缺陷或難以根除的暗點(diǎn)缺陷轉(zhuǎn)化為視覺不可感知的暗點(diǎn)，或直接修復(fù)暗點(diǎn)恢復(fù)像素功能的核心技術(shù)，其核心優(yōu)勢在于非接觸、高精度、熱影響區(qū)小，可在保障周邊正常像素不受損傷的前提下，顯著提升面板良率。該技術(shù)廣泛應(yīng)用于Cell、Module等制程階段，對(duì)降低生產(chǎn)成本、推動(dòng)顯示產(chǎn)業(yè)提質(zhì)增效具有重要現(xiàn)實(shí)意義。

二、TFT-LCD面板暗點(diǎn)化激光修復(fù)主流方法

亮點(diǎn)產(chǎn)生的核心原因包括兩方面：一是薄膜晶體管（TFT）短路失效，Array制程中光刻精度偏差、金屬雜質(zhì)殘留或靜電損傷，易導(dǎo)致TFT源漏極之間形成異常導(dǎo)通通道，使像素電極持續(xù)帶電，液晶分子無法正常扭轉(zhuǎn)，背光持續(xù)穿透像素形成亮點(diǎn)；二是彩色濾光片（CF）損傷或漏光，Cell制程中濾光片貼合時(shí)的摩擦、異物碰撞會(huì)造成濾光片針孔、劃傷，或黑色矩陣涂布不均，導(dǎo)致背光未經(jīng)過濾直接穿透，形成漏光型亮點(diǎn)。

暗點(diǎn)產(chǎn)生的主要原因有三類：一是TFT斷路失效，刻蝕工藝過度、膜層附著力不足導(dǎo)致TFT半導(dǎo)體層或電極線路斷裂，無法控制像素電極帶電狀態(tài)，液晶分子始終處于關(guān)閉狀態(tài)，背光無法穿透形成暗點(diǎn)；二是液晶盒內(nèi)異物殘留，Cell制程中環(huán)境潔凈度不達(dá)標(biāo)，微小粉塵、雜質(zhì)混入液晶盒內(nèi)，遮擋液晶分子偏轉(zhuǎn)，導(dǎo)致局部透光異常，形成暗點(diǎn)；三是背光模組局部故障，Module制程中背光LED燈珠損壞、導(dǎo)光板局部缺陷，會(huì)導(dǎo)致對(duì)應(yīng)區(qū)域光線無法正常傳輸，表現(xiàn)為暗點(diǎn)。

暗點(diǎn)化激光修復(fù)方法需根據(jù)缺陷成因精準(zhǔn)適配，核心分為“功能修復(fù)型”與“缺陷轉(zhuǎn)化型”兩類，分別針對(duì)可恢復(fù)性暗點(diǎn)與不可恢復(fù)性亮點(diǎn)，具體如下：

（一）功能修復(fù)型：激光退火修復(fù)法

該方法適用于TFT斷路、電極接觸不良導(dǎo)致的可恢復(fù)性暗點(diǎn)。選用波長355~532nm的脈沖激光，以低能量密度（0.3~0.5 J/cm2）、長脈沖寬度（20~30ns）精準(zhǔn)聚焦于TFT半導(dǎo)體層或電極接觸界面。通過激光熱效應(yīng)，改善非晶硅半導(dǎo)體層的晶體結(jié)構(gòu)，提升載流子傳輸效率，修復(fù)斷路的TFT開關(guān)功能；或加熱電極界面，消除接觸電阻異常，恢復(fù)像素電極的正常驅(qū)動(dòng)能力。修復(fù)后液晶分子可響應(yīng)驅(qū)動(dòng)信號(hào)正常扭轉(zhuǎn)，背光順利穿透像素，實(shí)現(xiàn)暗點(diǎn)功能修復(fù)，修復(fù)成功率可達(dá)92%以上。

（二）缺陷轉(zhuǎn)化型：激光碳化暗點(diǎn)化法

針對(duì)濾光片嚴(yán)重?fù)p傷、TFT短路無法根除等不可恢復(fù)性亮點(diǎn)缺陷，采用該方法將亮點(diǎn)轉(zhuǎn)化為暗點(diǎn)。選用波長355nm的紫外脈沖激光，利用高光子能量特性，以能量密度0.8~1.2 J/cm2、脈沖寬度5~10ns精準(zhǔn)照射亮點(diǎn)對(duì)應(yīng)的彩色濾光片或ITO透明電極區(qū)域。激光能量引發(fā)材料表面碳化或相變，使目標(biāo)區(qū)域透光率從80%以上降至10%以下，將刺眼的亮點(diǎn)轉(zhuǎn)化為視覺不可感知的暗點(diǎn)，間接消除缺陷影響。該方法操作簡單、修復(fù)效率高，單像素修復(fù)時(shí)間僅需5~10ms，適配量產(chǎn)快速修復(fù)需求。

（三）異物清除型：激光沖擊剝離法

適用于液晶盒內(nèi)異物殘留導(dǎo)致的遮光型暗點(diǎn)。采用短脈沖紫外激光（脈沖寬度≤2ns），以精準(zhǔn)控制的能量密度（0.5~0.7 J/cm2）作用于異物區(qū)域。通過激光的光物理沖擊效應(yīng)，使異物瞬間氣化剝離，同時(shí)嚴(yán)格控制激光能量范圍，避免損傷液晶分子、濾光片及電極結(jié)構(gòu)。異物清除后，液晶分子可正常偏轉(zhuǎn)，背光穿透路徑恢復(fù)暢通，實(shí)現(xiàn)暗點(diǎn)修復(fù)。

顯示面板激光修復(fù)設(shè)備：精密修復(fù)解決方案?

?

新啟航水冷激光修復(fù)設(shè)備搭載NW激光器，整合精密光學(xué)系統(tǒng)、鐳射加工/觀測專用顯微鏡及光學(xué)物鏡，構(gòu)建起高精度修復(fù)核心架構(gòu)。設(shè)備采用X/Y軸自動(dòng)精細(xì)調(diào)節(jié)、Z軸半自動(dòng)智能調(diào)節(jié)模式，搭配大理石精密光學(xué)基礎(chǔ)載物平臺(tái)，以卓越的穩(wěn)定性和操控性，實(shí)現(xiàn)對(duì)工件特定材質(zhì)層短路缺陷的精準(zhǔn)修補(bǔ)，展現(xiàn)出強(qiáng)大且專業(yè)的鐳射修復(fù)能力。

一、多元適配的應(yīng)用場景?

本設(shè)備專為TFT-LCD系列液晶面板修復(fù)設(shè)計(jì)，可覆蓋15.6寸至120寸全尺寸范圍，精準(zhǔn)攻克LCD面板常見不良現(xiàn)象。無論是惱人的亮點(diǎn)、暗點(diǎn)，還是復(fù)雜的斷半線、豎彩線、豎彩黑線、單豎黑線、雙豎黑線及橫網(wǎng)等缺陷，都能通過先進(jìn)的鐳射修復(fù)技術(shù)快速處理，為液晶面板品質(zhì)提升提供可靠保障。?

二、智能協(xié)同的先進(jìn)控制系統(tǒng)?

設(shè)備采用前沿多線程技術(shù)、COM技術(shù)，深度融合運(yùn)動(dòng)算法與圖像視覺算法，實(shí)現(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、激光控制系統(tǒng)、圖像識(shí)別系統(tǒng)的高效聯(lián)動(dòng)。憑借微米級(jí)精準(zhǔn)控制能力，可快速、準(zhǔn)確鎖定產(chǎn)品缺陷點(diǎn)。此外，設(shè)備提供全自動(dòng)四孔鼻輪調(diào)焦功能，并支持選配四孔電動(dòng)鼻輪，滿足多樣化使用需求。同時(shí)，簡潔直觀的操作界面設(shè)計(jì)，大幅降低操作人員的學(xué)習(xí)成本與使用門檻。?

三、靈活高效的高兼容性軟件系統(tǒng)?

針對(duì)不同型號(hào)激光控制器通訊協(xié)議的差異，本設(shè)備軟件系統(tǒng)進(jìn)行深度優(yōu)化。通過將多種激光器通訊協(xié)議集成于同一軟件，操作人員僅需通過簡單的軟件選項(xiàng)，即可激活當(dāng)前使用的激光器。這種設(shè)計(jì)使激光器對(duì)操作者完全透明，讓操作人員專注于工藝與功能實(shí)現(xiàn)，無需關(guān)注激光器具體型號(hào)差異，顯著提升工作效率與便捷性。?

審核編輯 黃宇