整個半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)設(shè)備市場中，80%份額為晶圓處理設(shè)備，在此環(huán)節(jié)中，清洗步驟約占整體步驟的33%，清洗設(shè)備對生產(chǎn)線的良率和經(jīng)濟效益均起著至關(guān)重要的的影響。

作為國產(chǎn)半導(dǎo)體清洗設(shè)備“三劍客”之一，至純科技受到了投資機構(gòu)的關(guān)注，日前迎來了浙商證券、海富通基金、申萬宏源、光大證券等一眾投資機構(gòu)調(diào)研，談及其半導(dǎo)體清洗設(shè)備領(lǐng)域布局。

對標(biāo)國際巨頭 5年目標(biāo)200臺

至純科技成立于2000年，致力于為高端先進制造業(yè)企業(yè)提供高純工藝系統(tǒng)的解決方案，2018年上半年其半導(dǎo)體行業(yè)收入占比為69.4%，客戶包括上海華力、中芯國際、長江存儲、合肥長鑫、士蘭微等企業(yè)。

相較于盛美半導(dǎo)體和北方華創(chuàng)，至純科技涉足半導(dǎo)體清洗設(shè)備領(lǐng)域的時間不算長，據(jù)悉其于2015年開始啟動濕法工藝裝備研發(fā)，2017年底成立獨立的半導(dǎo)體濕法事業(yè)部。

據(jù)至純科技在調(diào)研活動中透露，其濕法事業(yè)部目前共有員工近40人，未來團隊規(guī)模有望達到300~400人。其中，槽式清洗設(shè)備主要引進日本團隊近20人，團隊人員均有國際大廠相關(guān)經(jīng)驗；單片式清洗設(shè)備則與海力士專屬供應(yīng)商——韓國公司MUJIN合作，雙方均貢獻技術(shù)、共享IP。

至純科技表示，目前槽式清洗設(shè)備是在日本制造，將來會放在啟東新廠。據(jù)悉，至純科技啟東新廠占地100畝、規(guī)劃兩期，產(chǎn)能貢獻主要在系統(tǒng)集成和濕法制造，樂觀估計10月份部分交付使用，明年下半年產(chǎn)能有望開始釋放，但達產(chǎn)仍需過程。

啟東基地產(chǎn)能釋放后，至純科技預(yù)計高純系統(tǒng)集成方面的產(chǎn)能將是目前的4~5倍，清洗設(shè)備一期設(shè)計產(chǎn)能則為年產(chǎn)48臺。根據(jù)至純科技2017年年報提出的目標(biāo)，未來5年內(nèi)實現(xiàn)清洗設(shè)備累計銷售200臺。

值得一提的是，目前至純科技濕法槽式清洗設(shè)備已獲得6臺的量產(chǎn)訂單，客戶是中芯國際和萬國半導(dǎo)體，9月下旬交付兩臺，樂觀估計今年第四季度或明年第一季度確認(rèn)收入。根據(jù)自身產(chǎn)能及產(chǎn)業(yè)鏈調(diào)研情況，至純科技認(rèn)為其2019年清洗設(shè)備新增訂單規(guī)模將在20臺水平。

至純科技表示，公司在半導(dǎo)體清洗設(shè)備領(lǐng)域的目標(biāo)很明確——就是做進口替代，對標(biāo)的是國際半導(dǎo)體設(shè)備巨頭Lam Research和DNS，計劃從零配件到整機，從高端產(chǎn)品到全產(chǎn)品覆蓋，逐步實現(xiàn)國產(chǎn)化。

國產(chǎn)清洗設(shè)備與國際的差距

數(shù)據(jù)顯示，2017年全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場規(guī)模為27億美元，隨著工藝節(jié)點的升級以及良率要求提高，清洗設(shè)備用量需求將持續(xù)增加，預(yù)計2020年將達到35-40億美元，其中中國市場有望突破600億元人民幣。

據(jù)悉，清洗設(shè)備在晶圓制造設(shè)備中的采購費用占比約為5%。至純科技指出，從清洗設(shè)備的配備量來看，以4萬片產(chǎn)能的產(chǎn)線為例，一般情況下，8寸線匹配50臺設(shè)備，12寸線國內(nèi)匹配70臺設(shè)備左右，包括槽式和單片，國外有的廠商能夠達到120臺清洗設(shè)備水平。

價格方面，市面上最便宜的單片清洗設(shè)備是兩個腔體的50-60萬美元，6-8個腔體的單片式清洗設(shè)備的價值大概300-400萬美元，槽式價格100-200萬美元市場價格，一個Fad廠在清洗設(shè)備上采購費用需要約2億美元。

縱觀全球清洗設(shè)備市場，日系企業(yè)占據(jù)主導(dǎo)地位，DNS、Tokyo Electron分別占據(jù)約60%、30%市場份額，剩下的則由美國Lam Research、韓國SEMES等企業(yè)瓜分，中國企業(yè)與國際水平仍有較大差距。

至純科技表示，目前國外單片式清洗設(shè)備已發(fā)展到12個、16個腔體了，腔體越多、對應(yīng)的附屬設(shè)備的介質(zhì)供應(yīng)也越多，可需要滿足智能化、軟件控制、壓力均等和清洗后的存放等需求。而國產(chǎn)清洗設(shè)備，以種類眾多的濕法清洗設(shè)備為例，從種類和功能上國產(chǎn)設(shè)備目前實現(xiàn)只有其中的10%。

國內(nèi)的清洗設(shè)備企業(yè)除了至純科技外，主要廠商還有盛美半導(dǎo)體和北方華創(chuàng)，這“三劍客”正在通過各自的方式發(fā)展壯大。

盛美半導(dǎo)體成立于1998年，一直主攻單片式清洗設(shè)備，擁有獨創(chuàng)的兆聲波清洗（SAPS）技術(shù)、通電氣泡震蕩兆聲波清洗（TEBO）技術(shù)，是國內(nèi)唯一進入14nm產(chǎn)線驗證的清洗設(shè)備廠商，在技術(shù)上已具備與國際企業(yè)競爭的實力。

在產(chǎn)品上，盛美半導(dǎo)體集中在基于SAPS和TEBO技術(shù)的單片清洗設(shè)備，近三年營收占比均超過70%；客戶方面，盛美半導(dǎo)體與海力士有著長期合作關(guān)系，并已進入長江存儲、中芯國際、華力微電子、長電科技等企業(yè)生產(chǎn)線。

盡管盛美半導(dǎo)體在國內(nèi)清洗設(shè)備產(chǎn)業(yè)處于領(lǐng)先地位，但與國際巨頭相比，其在規(guī)模、產(chǎn)品系列數(shù)、利潤和研發(fā)投入絕對值上尚不在一個量級。

另觀北方華創(chuàng)，與盛美半導(dǎo)體長期通過自主創(chuàng)新主攻單片清洗設(shè)備不同，北方華創(chuàng)作為國內(nèi)擁有最豐富產(chǎn)品線的半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)，其清洗設(shè)備產(chǎn)品覆蓋了單片和槽式。

2017年8月，北方華創(chuàng)以1500萬美元收購了美國半導(dǎo)體清洗設(shè)備企業(yè)Akrion，該交易已于今年1月宣布正式完成交割。Akrion在清洗設(shè)備方面擁有多年的技術(shù)積累和客戶基礎(chǔ)，進一步豐富了北方華創(chuàng)的產(chǎn)品線。

截至目前，北方華創(chuàng)在清洗設(shè)備領(lǐng)域，已經(jīng)形成涵蓋應(yīng)用于集成電路、先輩封裝、功率器件、微機電系統(tǒng)和半導(dǎo)體照明等半導(dǎo)體領(lǐng)域的8-12英寸批式和單片清洗機產(chǎn)品。

盛美半導(dǎo)體走自主創(chuàng)新之路，北方華創(chuàng)結(jié)合創(chuàng)新與吸收、收購，至純科技則基于自身優(yōu)勢與國際廠商合作，三者均已取得一定成績，但總體而言，國內(nèi)清洗設(shè)備國產(chǎn)化仍有很長的路要走。

不過，隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)明顯向中國轉(zhuǎn)移，國產(chǎn)清洗設(shè)備企業(yè)將迎來良好的機遇。至純科技在調(diào)研中提及，其與下游客戶的溝通結(jié)果來看，2018-2019是建廠高峰期，2019-2021是設(shè)備的高峰期，整體行業(yè)正進入清潔設(shè)備采購期。

如此一來，國產(chǎn)清洗設(shè)備企業(yè)有望在這波晶圓建廠浪潮中異軍突起。