多晶硅生產(chǎn)的原料是三氯氫硅和氫氣，按照一定的比例計入還原爐內(nèi)進(jìn)行熱分解和還原反應(yīng)產(chǎn)生多晶硅棒。

三氯氫硅是用氯化氫和工業(yè)硅粉在合成爐內(nèi)反應(yīng)生成，氯化氫是用氫氣和氯氣在氯化氫合成爐內(nèi)燃燒生成，氯氣是氯化鈉工業(yè)鹽水通過通電反應(yīng)生成，氫氣即可以用氯化鈉工業(yè)鹽水通過通電反應(yīng)生成。也可以用水通電電解生產(chǎn)。工業(yè)硅粉是用石英礦與碳在通電的情況下還原反應(yīng)生成工業(yè)硅塊，經(jīng)粉碎變成工業(yè)硅粉。

現(xiàn)價段，中國的多晶硅廠家都是直接購進(jìn)三氯氫硅，有合成三氯氫硅工序的很少。因為三氯氫硅的合成是氯氣和硅粉在高壓高溫下反應(yīng)生成，類似于合成氨。所以一方面危險性高，另一方面硅粉分離比較成問題，還有一方面投資也大。本來一個年產(chǎn)300噸多晶硅規(guī)模的不要合成三氯氫硅工序就要投資一億多，所以一般企業(yè)都不上。

多晶硅的生產(chǎn)工藝主要由高純石英（經(jīng)高溫焦碳還原）→工業(yè)硅（酸洗）→硅粉（加HCL）→SiHCL3（經(jīng)過粗餾精餾）→高純SiHCL3（和H2反應(yīng)CVD工藝）→高純多晶硅。