高性能MEMS滿足慣性導(dǎo)航和穩(wěn)定性要求
無(wú)人機(jī)和其他無(wú)人應(yīng)用需在惡劣環(huán)境中工作，為了滿足精密穩(wěn)定性和導(dǎo)航要求，能夠抑制振動(dòng)、衝擊和溫度漂移的高性能MEMS必不可少。
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