芯矽科技文章

• 硅片酸洗過(guò)程的化學(xué)原理是什么2025-10-21 14:39

  

  硅片酸洗過(guò)程的化學(xué)原理主要基于酸與硅片表面雜質(zhì)之間的化學(xué)反應(yīng)，通過(guò)特定的酸性溶液溶解或絡(luò)合去除污染物。以下是其核心機(jī)制及典型反應(yīng)：氫氟酸（HF）對(duì)氧化層的腐蝕作用反應(yīng)機(jī)理：HF是唯一能高效蝕刻二氧化硅（SiO?）的試劑，生成揮發(fā)性的四氟化硅和水。若HF過(guò)量，則進(jìn)一步形成六氟合硅酸（H?SiF?）：SiO?+4HF→SiF?↑+2H?OSiO?+6HF→H?S

  硅片 酸洗 243瀏覽量

• 硅片酸洗單元如何保證清洗效果2025-10-21 14:33

  

  硅片酸洗單元保證清洗效果的核心在于精準(zhǔn)控制化學(xué)反應(yīng)過(guò)程、優(yōu)化物理作用機(jī)制以及實(shí)施嚴(yán)格的污染防控。以下是具體實(shí)現(xiàn)路徑：一、化學(xué)反應(yīng)的精確調(diào)控1.配方動(dòng)態(tài)適配性根據(jù)硅片表面污染物類型（如金屬雜質(zhì)、天然氧化層或有機(jī)殘留物），采用分段式混酸配比策略。例如：針對(duì)重金屬污染區(qū)域，局部強(qiáng)化氫氟酸（HF）濃度以加速絡(luò)合反應(yīng)；對(duì)厚氧化層區(qū)域則提高硝酸（HNO?）比例增強(qiáng)氧化剝

  大硅片 硅片 酸洗 187瀏覽量

• SC2溶液可以重復(fù)使用嗎2025-10-20 11:21

  

  SC2溶液通常不建議重復(fù)使用，主要原因如下：污染物累積導(dǎo)致效率下降SC2溶液（典型配方為HCl:H?O?:H?O）在清洗過(guò)程中會(huì)逐漸溶解金屬離子、顆粒物及其他雜質(zhì)。隨著使用次數(shù)增加，溶液中的污染物濃度升高，不僅降低對(duì)新硅片的清洗效果，還可能因飽和而析出沉淀，造成二次污染。例如，溶解的銅離子若達(dá)到一定濃度后，反而可能重新附著在晶圓表面形成缺陷。過(guò)氧化氫分解產(chǎn)物

  晶圓 溶液 285瀏覽量

• 如何選擇合適的SC1溶液來(lái)清洗硅片2025-10-20 11:18

  

  選擇合適的SC1溶液清洗硅片需要綜合考慮多個(gè)因素，以下是具體的方法和要點(diǎn)：明確污染物類型與污染程度有機(jī)物污染為主時(shí)：如果硅片表面主要是光刻膠、油脂等有機(jī)污染物，應(yīng)適當(dāng)增加過(guò)氧化氫（H?O?）的比例。因?yàn)镠?O?作為強(qiáng)氧化劑，能有效分解有機(jī)物分子鏈，將其轉(zhuǎn)化為水溶性物質(zhì)便于清洗。例如，當(dāng)有機(jī)物污染嚴(yán)重時(shí)，可將NH?OH:H?O?:H?O的配比從常規(guī)的1:2:5

  清洗工藝 溶液 319瀏覽量

• 馬蘭戈尼干燥原理如何影響晶圓制造2025-10-15 14:11

  

  馬蘭戈尼干燥原理通過(guò)獨(dú)特的流體力學(xué)機(jī)制顯著提升了晶圓制造過(guò)程中的干燥效率與質(zhì)量，但其應(yīng)用也需精準(zhǔn)調(diào)控以避免潛在缺陷。以下是該技術(shù)對(duì)晶圓制造的具體影響分析：正面影響減少水漬污染與殘留定向回流機(jī)制：利用不同液體間的表面張力梯度（如水的表面張力高于異丙醇IPA），使水分在晶圓表面被主動(dòng)拉回水槽，而非自然晾干或旋轉(zhuǎn)甩干時(shí)的隨機(jī)分布。這種定向流動(dòng)有效消除了傳統(tǒng)方法導(dǎo)致

  晶圓制造 檢測(cè)系統(tǒng) 309瀏覽量

• 晶圓和芯片哪個(gè)更難制造一些2025-10-15 14:04

  

  關(guān)于晶圓和芯片哪個(gè)更難制造的問(wèn)題，實(shí)際上兩者都涉及極高的技術(shù)門(mén)檻和復(fù)雜的工藝流程，但它們的難點(diǎn)側(cè)重不同。以下是具體分析：晶圓制造的難度核心材料提純與單晶生長(zhǎng)超高純度要求：電子級(jí)硅需達(dá)到99.999999999%（多個(gè)“9”）的純度，任何微量雜質(zhì)都會(huì)影響半導(dǎo)體特性。從石英砂提煉冶金級(jí)硅后，還需通過(guò)化學(xué)氣相沉積等工藝進(jìn)一步提純，這一過(guò)程能耗巨大且技術(shù)壁壘高3。例

  晶圓 芯片 436瀏覽量

• 晶圓蝕刻用得到硝酸鈉溶液2025-10-14 13:08

  

  晶圓蝕刻過(guò)程中確實(shí)可能用到硝酸鈉溶液，但其應(yīng)用場(chǎng)景較為特定且需嚴(yán)格控制條件。以下是具體分析：潛在作用機(jī)制氧化性輔助清潔：在酸性環(huán)境中（如與氫氟酸或硫酸混合），硝酸鈉釋放的NO??離子可作為強(qiáng)氧化劑，分解有機(jī)污染物（如光刻膠殘留物）或金屬腐蝕產(chǎn)物（如銅氧化物）。例如，在類似SC2清洗液體系中，它可能替代部分鹽酸，通過(guò)氧化反應(yīng)去除金屬雜質(zhì)；緩沖與pH調(diào)節(jié)：作為緩

  晶圓 晶圓蝕刻 133瀏覽量

• 晶圓清洗過(guò)濾的清洗效果如何評(píng)估2025-10-14 11:57

  

  晶圓清洗過(guò)濾的清洗效果評(píng)估是一個(gè)多維度、系統(tǒng)性的過(guò)程，涉及微觀分析、量化檢測(cè)和功能性驗(yàn)證等多個(gè)層面。以下是具體的評(píng)估方法和關(guān)鍵指標(biāo)：1.表面顆粒物檢測(cè)激光散射法：使用高精度激光粒子計(jì)數(shù)器掃描晶圓表面，統(tǒng)計(jì)不同尺寸范圍（如≥0.1μm、≥0.2μm）的顆粒數(shù)量與分布密度。該方法能快速定位熱點(diǎn)區(qū)域，反映清洗對(duì)微塵、磨料殘留等無(wú)機(jī)污染物的去除能力。例如，先進(jìn)制程要

  光刻膠 晶圓 過(guò)濾 181瀏覽量

• sc-1和sc-2能洗掉什么雜質(zhì)2025-10-13 11:03

  

  半導(dǎo)體晶圓清洗工藝中，SC-1與SC-2作為RCA標(biāo)準(zhǔn)的核心步驟，分別承擔(dān)著去除有機(jī)物/顆粒和金屬離子的關(guān)鍵任務(wù)。二者通過(guò)酸堿協(xié)同機(jī)制實(shí)現(xiàn)污染物的分層剝離，其配方設(shè)計(jì)、反應(yīng)原理及工藝參數(shù)直接影響芯片制造良率與電學(xué)性能。本文將深入解析這兩種溶液的作用機(jī)理與應(yīng)用要點(diǎn)。以下是關(guān)于SC-1和SC-2兩種清洗液能去除的雜質(zhì)的詳細(xì)說(shuō)明：SC-1（堿性清洗液）顆粒污染物去

  半導(dǎo)體 濕法 701瀏覽量

• sc-1和sc-2可以一起用嗎2025-10-13 10:57

  

  SC-1和SC-2可以一起使用，但需遵循特定的順序和工藝條件。以下是其協(xié)同應(yīng)用的具體說(shuō)明：分步實(shí)施的邏輯基礎(chǔ)SC-1的核心作用：由氨水（NH?OH）、過(guò)氧化氫（H?O?）和水組成，主要去除硅片表面的有機(jī)物、顆粒污染物及部分金屬雜質(zhì)。其堿性環(huán)境通過(guò)腐蝕氧化層使顆粒脫落，并通過(guò)靜電排斥防止再吸附；同時(shí)H?O?的強(qiáng)氧化性分解有機(jī)物；SC-2的補(bǔ)充功能：含鹽酸（HC

  半導(dǎo)體 清洗機(jī) 濕法 345瀏覽量