何謂Hold Lot？

　　答：芯片需要停下來做實驗或產(chǎn)品有問題需工程師判斷時的短暫停止則需HOLD LOT;帳點上的狀態(tài)為Hold，如此除非解決hold住的原因否則無法繼續(xù)run貨

　　PN（Production Note，制造通報）的目的？

　　答：（1） 為公布FAB內(nèi)生產(chǎn)管理的條例。（2） 闡述不清楚和不完善的操作規(guī)則。

　　PN的范圍？

　　答：（1） 強調(diào)O.I.或TECN之規(guī)定， 未改變（2） 更新制造通報內(nèi)容（3） 請生產(chǎn)線協(xié)助搜集數(shù)據(jù)（4） O.I.未規(guī)定或未限制， 且不改變RECIPE、SPEC及操作程序

　　何謂MONITOR？

　　答：對機臺進行定期的檢測或是隨產(chǎn)品出機臺時的檢測稱之為MONITOR，如測微粒子、厚度等

　　機臺的MONITOR項目暫時變更時要填何種文件？

　　答：Tempory Engineering Change Notice （TECN，暫時工程變更）

　　暫時性的MONITOR頻率增加時可用何種表格發(fā)布至線上？

　　答：Production Note（PN，制造通知）

　　新機臺RELEASE但是OI尚未生效時應填具何種表格發(fā)布線上？

　　答：Tempory Engineering Change Notice （TECN，暫時工程變更）

　　控片的目的是什幺？（Control wafer）

　　答：為了解機臺未來的run貨結(jié)果是否在規(guī)格內(nèi)，必須使用控片去試run，并量測所得結(jié)果如厚度，平坦度，微粒數(shù)…控片使用一次就要進入回收流程。

　　擋片（Dummy wafer）的目的是什幺？

　　答：用途有2種：（1） 暖機 （2） 補足機臺內(nèi)應擺芯片而未擺的空位置。擋片可重復使用到限定的時間﹝RUN數(shù)、厚度…﹞后，再送去回收。例如可以同時run150片wafer的爐管，若不足150片時必須以擋片補足，否則可能影響制程平坦度等…; High current 機臺每次可同時run17片，若不足亦須以擋片補足擋片的

　　Raw wafer（原物料wafer）有不同的阻值范圍嗎？

　　答：是的;阻值范圍愈緊的，成本愈貴;例如8~12歐姆用于當產(chǎn)品的原物料，0~100的可能只能用當監(jiān)控機臺微塵的控片

　　機臺狀態(tài)的作用？

　　答：為能清楚地評量機臺效率，並告訴線上人員機臺當時的狀況

　　機臺狀態(tài)可分為那兩大類？

　　答：（1） UP（2） Down

　　機臺狀態(tài)定義為availabe可用的狀態(tài)有那些？

　　答：RUN ： 機臺正常，正在使用中BKUP ： 機臺正常，幫其它廠RUN貨IDLE ： 機臺正常，待料或缺人手TEST ： 機臺正常，借工程師做工程實驗或調(diào)整RECIPETEST_CW ： 機臺正常，正在RUN 控檔片

　　機臺狀態(tài)定義為SCHEDULE NON-AVAILABLE的有那些？

　　答：MON_R ： 機臺正常，依據(jù)OI規(guī)定進行檢查，如每shift/daily/monthlyMON_PM ： 機臺正常，機臺定期維護后的檢查PM ： OI規(guī)定之例行維修時機及項目;如汽車5000KM保養(yǎng)HOLD_ENG ： 機臺正常，制程工程師澄清與確認產(chǎn)品異常原因，停止機臺RUN LOT

　　在機臺當機處理完后;交回制造部時應掛何種STATUS？

　　答：WAIT_MFG

　　在工程師借機檢查機臺調(diào)整RECIPE時應掛何種STATUS？

　　答：TEST

　　若是機臺MONITOR異常工程師借機檢查機臺時應掛何種STATUS？

　　答：DOWN

　　線上發(fā)現(xiàn)機臺異常時通知工程師時應掛何種STATUS？

　　答：WAIT_ENG

　　線上在要將機臺交給工程師做PM前等待工程師的時間應掛何種STATUS？

　　答：WAIT_ENG

　　工程在將機臺修復后交給制造部等制造部處的這段時間應掛何種STATUS？

　　答：WAIT_MFG

　　年度維修時應掛何種STATUS？

　　答：OFF

　　Muti-Chamber的機臺有一個Chamber異常時制造部因為派工ISSUE無法交出Chamber該掛何種STATUS？

　　答：HOLD_MFG

　　制程工程師澄清或確認產(chǎn)品異常原因停止機臺RUN貨時應掛何種STATUS？

　　答：HOLD_ENG

　　因工程部ISSUE而成機臺不能正常RUN貨時應掛何種STATUS？

　　答：HOLD_ENG

　　MES或電腦等自動化系統(tǒng)相關(guān)問題造成死機要掛何種STATUS？

　　答：CIM

　　因為廠務水電氣的問題而造成機臺死機的問題要掛何種STATUS？

　　答：FAC

　　生產(chǎn)線因電力壓降、不穩(wěn)定造成生產(chǎn)中斷時，機臺狀態(tài)應掛為？

　　答：FAC

　　生產(chǎn)線因MES中斷或EAP連線中斷而造成生產(chǎn)停止，此時機臺將態(tài)為何？

　　答：CIM

　　機臺狀態(tài)EQ status定義的真正用意何在？

　　答：（1） 機臺非常貴重，所以必須知道時間都用到何處了，最好是24小時都用來生產(chǎn)賣錢的產(chǎn)品;能清楚知道時間用到何處，就能進行改善（2） 責任區(qū)分，各個狀態(tài)都有不同的責任單位，如制造部/設(shè)備工程師/制程工程師…等

　　什幺是 T/R？

　　答：Turn Ratio， 芯片之移動速度; 即1天內(nèi)移動了幾個制程stage